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- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 条文说明
- 1 总 则
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 7.1 一般规定
- 7.2 飞针测试系统
- 7.3 声学扫描检测系统
- 7.6 激光测厚仪
- 7.7 X射线检查仪
- 8 工程验收
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7，3,声学扫描检测系统7 3、1。抽水泵可根据设备来配置。一般来说是必须的 可看作是设备的一部分、因为该设备操作时 样品是置于水中的，反过来说,只要方便换水,没有抽水泵也可以.