5。7，显 影、台5,7,1。显影台属于大型精密微组装设备,体积大 质量重、室内搬运就位应使用载量足够的叉车.搬运气垫等机械设施。不得仅依靠人力 以免造成人身或设备损伤、1 搬运时防撞防抖,不能直接拖动、以防止部件损坏，2.为保证显影的均匀性,安装时真空吸盘应呈水平状态.3、由专业人员为显影.清洗腔安装排风系统,防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响,5,设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放。工艺污水可能带有腐蚀性 为避免污水对周围环境造成污染.或是对操作人员造成伤害.设备必须接好通向废液处理池的管道 并将设备的排液管路可靠地接入废液管道,本款为强制性条款。设备安装人员必须严格执行,6、为避免造成污染和设备损伤 储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液.5。7、2,本条规定了显影台的调试及试运行要求.2。对于负胶显影。显影液，漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上 对于正胶显影，显影液，漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上，7 设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片。否则会造成基片和机械手损坏