5.7 显。影。台5、7.1。显影台属于大型精密微组装设备、体积大，质量重.室内搬运就位应使用载量足够的叉车。搬运气垫等机械设施。不得仅依靠人力，以免造成人身或设备损伤,1，搬运时防撞防抖 不能直接拖动,以防止部件损坏.2,为保证显影的均匀性.安装时真空吸盘应呈水平状态，3 由专业人员为显影、清洗腔安装排风系统、防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响,5。设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放，工艺污水可能带有腐蚀性、为避免污水对周围环境造成污染，或是对操作人员造成伤害,设备必须接好通向废液处理池的管道，并将设备的排液管路可靠地接入废液管道 本款为强制性条款 设备安装人员必须严格执行。6.为避免造成污染和设备损伤，储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液，5。7、2。本条规定了显影台的调试及试运行要求，2，对于负胶显影,显影液、漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上、对于正胶显影 显影液.漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上.7、设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片.否则会造成基片和机械手损坏、