5 7，显.影,台5.7,1。显影台属于大型精密微组装设备。体积大、质量重.室内搬运就位应使用载量足够的叉车,搬运气垫等机械设施。不得仅依靠人力,以免造成人身或设备损伤、1.搬运时防撞防抖。不能直接拖动、以防止部件损坏、2 为保证显影的均匀性。安装时真空吸盘应呈水平状态,3。由专业人员为显影、清洗腔安装排风系统，防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响、5,设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放.工艺污水可能带有腐蚀性,为避免污水对周围环境造成污染。或是对操作人员造成伤害。设备必须接好通向废液处理池的管道。并将设备的排液管路可靠地接入废液管道，本款为强制性条款。设备安装人员必须严格执行 6.为避免造成污染和设备损伤,储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液。5、7，2，本条规定了显影台的调试及试运行要求.2.对于负胶显影。显影液 漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上。对于正胶显影，显影液.漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上。7,设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片.否则会造成基片和机械手损坏，