5、7,显 影。台5，7 1、显影台属于大型精密微组装设备.体积大，质量重.室内搬运就位应使用载量足够的叉车，搬运气垫等机械设施、不得仅依靠人力，以免造成人身或设备损伤，1。搬运时防撞防抖，不能直接拖动.以防止部件损坏,2,为保证显影的均匀性。安装时真空吸盘应呈水平状态 3，由专业人员为显影 清洗腔安装排风系统。防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响.5,设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放，工艺污水可能带有腐蚀性.为避免污水对周围环境造成污染，或是对操作人员造成伤害.设备必须接好通向废液处理池的管道,并将设备的排液管路可靠地接入废液管道、本款为强制性条款，设备安装人员必须严格执行、6。为避免造成污染和设备损伤 储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液.5，7、2。本条规定了显影台的调试及试运行要求、2.对于负胶显影、显影液、漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上,对于正胶显影.显影液 漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上,7，设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片、否则会造成基片和机械手损坏,