5。7.显 影 台5.7.1 显影台属于大型精密微组装设备.体积大、质量重 室内搬运就位应使用载量足够的叉车 搬运气垫等机械设施.不得仅依靠人力。以免造成人身或设备损伤 1、搬运时防撞防抖、不能直接拖动，以防止部件损坏。2、为保证显影的均匀性，安装时真空吸盘应呈水平状态，3.由专业人员为显影 清洗腔安装排风系统,防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响 5.设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放。工艺污水可能带有腐蚀性.为避免污水对周围环境造成污染、或是对操作人员造成伤害.设备必须接好通向废液处理池的管道、并将设备的排液管路可靠地接入废液管道,本款为强制性条款 设备安装人员必须严格执行.6、为避免造成污染和设备损伤。储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液 5.7，2、本条规定了显影台的调试及试运行要求 2.对于负胶显影.显影液,漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上，对于正胶显影，显影液、漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上，7、设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片,否则会造成基片和机械手损坏。