5 7.显、影、台5，7.1、显影台属于大型精密微组装设备 体积大 质量重,室内搬运就位应使用载量足够的叉车。搬运气垫等机械设施。不得仅依靠人力，以免造成人身或设备损伤,1.搬运时防撞防抖 不能直接拖动.以防止部件损坏、2 为保证显影的均匀性。安装时真空吸盘应呈水平状态.3、由专业人员为显影 清洗腔安装排风系统、防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响、5,设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放 工艺污水可能带有腐蚀性 为避免污水对周围环境造成污染.或是对操作人员造成伤害、设备必须接好通向废液处理池的管道、并将设备的排液管路可靠地接入废液管道、本款为强制性条款。设备安装人员必须严格执行 6,为避免造成污染和设备损伤.储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液，5、7.2，本条规定了显影台的调试及试运行要求、2、对于负胶显影,显影液.漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上.对于正胶显影。显影液。漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上。7。设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片 否则会造成基片和机械手损坏。