5，7,显 影，台5，7，1,显影台属于大型精密微组装设备 体积大，质量重，室内搬运就位应使用载量足够的叉车，搬运气垫等机械设施，不得仅依靠人力。以免造成人身或设备损伤 1,搬运时防撞防抖 不能直接拖动 以防止部件损坏,2、为保证显影的均匀性。安装时真空吸盘应呈水平状态，3。由专业人员为显影，清洗腔安装排风系统、防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响，5,设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放 工艺污水可能带有腐蚀性.为避免污水对周围环境造成污染、或是对操作人员造成伤害 设备必须接好通向废液处理池的管道 并将设备的排液管路可靠地接入废液管道 本款为强制性条款、设备安装人员必须严格执行 6。为避免造成污染和设备损伤 储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液。5。7,2 本条规定了显影台的调试及试运行要求、2、对于负胶显影，显影液 漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上 对于正胶显影。显影液 漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上，7、设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片、否则会造成基片和机械手损坏,