5.7,显、影 台5、7,1、显影台属于大型精密微组装设备 体积大、质量重.室内搬运就位应使用载量足够的叉车。搬运气垫等机械设施 不得仅依靠人力，以免造成人身或设备损伤。1,搬运时防撞防抖。不能直接拖动、以防止部件损坏，2 为保证显影的均匀性 安装时真空吸盘应呈水平状态、3,由专业人员为显影、清洗腔安装排风系统 防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响.5.设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放、工艺污水可能带有腐蚀性，为避免污水对周围环境造成污染，或是对操作人员造成伤害、设备必须接好通向废液处理池的管道，并将设备的排液管路可靠地接入废液管道，本款为强制性条款。设备安装人员必须严格执行.6.为避免造成污染和设备损伤。储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液。5，7 2 本条规定了显影台的调试及试运行要求，2、对于负胶显影。显影液。漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上,对于正胶显影、显影液，漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上。7，设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片、否则会造成基片和机械手损坏