5 7,显 影，台5。7 1，显影台属于大型精密微组装设备 体积大。质量重，室内搬运就位应使用载量足够的叉车。搬运气垫等机械设施。不得仅依靠人力，以免造成人身或设备损伤，1 搬运时防撞防抖，不能直接拖动,以防止部件损坏 2、为保证显影的均匀性、安装时真空吸盘应呈水平状态、3、由专业人员为显影，清洗腔安装排风系统、防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响 5。设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放,工艺污水可能带有腐蚀性.为避免污水对周围环境造成污染、或是对操作人员造成伤害 设备必须接好通向废液处理池的管道.并将设备的排液管路可靠地接入废液管道.本款为强制性条款。设备安装人员必须严格执行、6，为避免造成污染和设备损伤.储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液，5、7。2。本条规定了显影台的调试及试运行要求。2，对于负胶显影 显影液.漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上，对于正胶显影，显影液、漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上、7,设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片，否则会造成基片和机械手损坏.