5 7、显。影，台5.7，1、显影台属于大型精密微组装设备、体积大，质量重 室内搬运就位应使用载量足够的叉车，搬运气垫等机械设施，不得仅依靠人力.以免造成人身或设备损伤,1.搬运时防撞防抖,不能直接拖动,以防止部件损坏,2、为保证显影的均匀性.安装时真空吸盘应呈水平状态.3 由专业人员为显影、清洗腔安装排风系统、防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响、5。设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放.工艺污水可能带有腐蚀性、为避免污水对周围环境造成污染 或是对操作人员造成伤害，设备必须接好通向废液处理池的管道 并将设备的排液管路可靠地接入废液管道 本款为强制性条款，设备安装人员必须严格执行,6.为避免造成污染和设备损伤，储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液 5。7。2、本条规定了显影台的调试及试运行要求 2 对于负胶显影 显影液,漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上,对于正胶显影 显影液，漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上。7、设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片，否则会造成基片和机械手损坏、