微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 [附条文说明] GB51037-2014 建标库

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7。3。声学扫描检测系统7,3、1。声学扫描检测系统的安装应配置抽水泵。30μm级过滤器盛液容器底部液体应能彻底排干 7,3.2、声学扫描检测系统的调试及试运行应符合下列规定.1。应向盛液容器中加入无气泡的纯水.并应确认水深在规定范围内，2，应安装好CCD超声探头、输入正确的用户名和密码、进入程序初始化界面、3.在主操作界面检测各机械运动部件运行状态及运行范围,应全部达到要求，4。应将待测样品放入水槽的底部平台上合理设置工艺参数并对样品分别完成B超扫描.C超扫描.TAMI扫描,相位扫描，获取清晰扫描图像,5 当使用线宽和间距为10μm的测试样件。100MHz探头进行扫描成像时，图像应能够清楚地分辨样品的线条、