7，3.声学扫描检测系统7、3。1。声学扫描检测系统的安装应配置抽水泵、30μm级过滤器,盛液容器底部液体应能彻底排干 7,3.2,声学扫描检测系统的调试及试运行应符合下列规定 1,应向盛液容器中加入无气泡的纯水、并应确认水深在规定范围内。2,应安装好CCD超声探头.输入正确的用户名和密码 进入程序初始化界面、3 在主操作界面检测各机械运动部件运行状态及运行范围。应全部达到要求 4，应将待测样品放入水槽的底部平台上 合理设置工艺参数并对样品分别完成B超扫描，C超扫描.TAMI扫描，相位扫描，获取清晰扫描图像,5.当使用线宽和间距为10μm的测试样件、100MHz探头进行扫描成像时 图像应能够清楚地分辨样品的线条。