微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 [附条文说明] GB51037-2014 建标库

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7,3，声学扫描检测系统7，3 1,声学扫描检测系统的安装应配置抽水泵，30μm级过滤器，盛液容器底部液体应能彻底排干,7，3 2。声学扫描检测系统的调试及试运行应符合下列规定,1，应向盛液容器中加入无气泡的纯水并应确认水深在规定范围内，2，应安装好CCD超声探头，输入正确的用户名和密码,进入程序初始化界面，3.在主操作界面检测各机械运动部件运行状态及运行范围。应全部达到要求、4,应将待测样品放入水槽的底部平台上。合理设置工艺参数并对样品分别完成B超扫描.C超扫描.TAMI扫描,相位扫描,获取清晰扫描图像，5、当使用线宽和间距为10μm的测试样件、100MHz探头进行扫描成像时,图像应能够清楚地分辨样品的线条,