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- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 7.1 一般规定
- 7.2 飞针测试系统
- 7.3 声学扫描检测系统
- 7.4 3D光学测量仪
- 7.5 自动光学检查仪
- 7.6 激光测厚仪
- 7.7 X射线检查仪
- 7.8 芯片剪切力／引线拉力测试仪
- 8 工程验收
- 附录A 微组装生产线工艺设备安装工程验收记录用表
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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7 3。声学扫描检测系统7，3 1 声学扫描检测系统的安装应配置抽水泵,30μm级过滤器。盛液容器底部液体应能彻底排干。7。3.2、声学扫描检测系统的调试及试运行应符合下列规定、1.应向盛液容器中加入无气泡的纯水，并应确认水深在规定范围内.2 应安装好CCD超声探头、输入正确的用户名和密码,进入程序初始化界面,3。在主操作界面检测各机械运动部件运行状态及运行范围，应全部达到要求、4,应将待测样品放入水槽的底部平台上，合理设置工艺参数并对样品分别完成B超扫描。C超扫描,TAMI扫描.相位扫描,获取清晰扫描图像,5、当使用线宽和间距为10μm的测试样件、100MHz探头进行扫描成像时。图像应能够清楚地分辨样品的线条.