微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 [附条文说明] GB51037-2014 建标库

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5。2 磁控溅射镀膜机5.2。1、本条规定了磁控溅射镀膜机的安装要求.1 磁控溅射设备按设备原理可分为直流磁控溅射设备.射频磁控溅射设备和等离子体溅射设备，5,2，2，本条规定了磁控溅射镀膜机的调试及试运行要求.4.磁控溅射设备按溅射靶的结构形状可分为平面靶溅射设备、同轴靶溅射设备圆锥靶,S型枪，溅射设备，12.用圆形靶和锥形靶溅射时，当基片直径小于或等于100mm时。其膜厚均匀性不应大于。3。当基片直径大于100mm或用矩形靶和同轴靶溅射时.其膜厚均匀性应在设备使用说明书中具体规定,