3,4.设备安装3 4，1，本条规定了设备的安装要求。1、为便于操作和维修.并考虑设备周围工作空间 危害与安全等有关的人。机,环境工程方面的要求,设备定位时应预留电气箱全开空间和操作.维修空间.4 微组装生产设备及检测设备多属于精密设备、它们的安装是否采用良好的防微振措施,对它们的性能影响很大 也是能否充分发挥设备所具特性的关键.本款就精密设备的防微振基础和安装要求按近十几年的经验作出基本的规定、3。4、2,3。4 3 微组装生产设备一般不在基础上安装,基本都是在地坪上或台面上直接安装。因此分别对在地坪上安装和在台面上安装的设备提出了必要的要求 3、4。4，为降低设备振动和维持设备精度，需精确调整设备水平 用水平仪调整设备水平的方法如下，1,将水平仪放置于工作台上 待气泡稳定后记录其位置 在原处旋转180、待气泡停止时 与0。时比较 允许误差在1、3格以内，2，移动X Y,Z主轴，使其回归原点,再将X轴 Y轴移至行程中点、3。将水平仪，形放置于工作台中央、4,调整地脚螺栓。将水平气泡调至中间点，5.移动Y轴测量前.后两点，根据两支水平仪的气泡走向调整地脚螺栓,6，顺时针方向调整气泡低处的地脚螺栓.直到前后两点的X。Y Z平面水平仪在1、4格以内.Y.Z平面水平仪在2格以内。7 调整完成后、将Y轴移至行程中央处。X,Z及Y、Z平面上的水平仪气泡应在中央位置.8。移动Y轴前,中.后三点 测量最大差值为2格 9 移动X轴前、中。后三点 测量最大差值为2格 10,固定地脚螺栓上的锁紧螺母 水平调整完毕.3、4,5.为了保证操作时的安全，本条对设备的安全接地作出规定。安全接地与防静电接地不同，对于粘片机 共晶机、键合机等小型手动设备，设备控制台后一般都设有接地接线柱.