5 6,曝、光 机5，6 1,本条规定了曝光机的安装要求,1 设备搬运时下面应垫上软垫、以防止抖动造成玻璃光学系统损坏和位置偏移,2、为保证光刻时光刻强度有较高的均匀性 且光刻版和基片紧密接触、无任何缝隙.设备安装时承片台应水平，3 激光光路及曝光光源必须装有防护门，罩等保护装置.以免对操作人员的眼睛和皮肤造成损害 本款为强制性条款 设备操作人员必须严格执行.