微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 [附条文说明] GB51037-2014 建标库

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5 6、曝。光，机5、6.1、本条规定了曝光机的安装要求，1，设备搬运时下面应垫上软垫。以防止抖动造成玻璃光学系统损坏和位置偏移,2 为保证光刻时光刻强度有较高的均匀性、且光刻版和基片紧密接触无任何缝隙，设备安装时承片台应水平,3，激光光路及曝光光源必须装有防护门.罩等保护装置。以免对操作人员的眼睛和皮肤造成损害.本款为强制性条款,设备操作人员必须严格执行、