5，6。曝,光，机5、6 1。本条规定了曝光机的安装要求。1。设备搬运时下面应垫上软垫，以防止抖动造成玻璃光学系统损坏和位置偏移,2、为保证光刻时光刻强度有较高的均匀性,且光刻版和基片紧密接触。无任何缝隙。设备安装时承片台应水平、3.激光光路及曝光光源必须装有防护门。罩等保护装置，以免对操作人员的眼睛和皮肤造成损害，本款为强制性条款.设备操作人员必须严格执行