5，6、曝,光、机5，6、1.本条规定了曝光机的安装要求,1，设备搬运时下面应垫上软垫,以防止抖动造成玻璃光学系统损坏和位置偏移,2 为保证光刻时光刻强度有较高的均匀性 且光刻版和基片紧密接触、无任何缝隙。设备安装时承片台应水平.3、激光光路及曝光光源必须装有防护门。罩等保护装置 以免对操作人员的眼睛和皮肤造成损害、本款为强制性条款.设备操作人员必须严格执行.