5、6。曝，光,机5。6,1 本条规定了曝光机的安装要求 1，设备搬运时下面应垫上软垫,以防止抖动造成玻璃光学系统损坏和位置偏移.2，为保证光刻时光刻强度有较高的均匀性 且光刻版和基片紧密接触，无任何缝隙，设备安装时承片台应水平 3.激光光路及曝光光源必须装有防护门、罩等保护装置。以免对操作人员的眼睛和皮肤造成损害、本款为强制性条款,设备操作人员必须严格执行。