5 3，真空蒸发镀膜机5。3。2 本条规定了真空蒸发镀膜机的调试及试运行要求.6,应尽量延长真空泵的抽气时间.以便尽可能地抽除镀膜室内的残余气体.9。10。真空蒸发镀膜机按蒸发加热方式可分为电阻加热 电子束加热,电阻和电子束加热，感应加热.激光加热等，电子束蒸发是目前的主流技术 近年来随着技术的发展出现了离子束辅助蒸发技术、这两款是针对电子束蒸发镀膜设备来进行规定的。