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- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 条文说明
- 1 总 则
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5.1 一般规定
- 5.2 磁控溅射镀膜机
- 5.3 真空蒸发镀膜机
- 5.4 化学气相淀积系统
- 5.5 旋涂及热板系统
- 5.6 曝 光 机
- 5.7 显 影 台
- 5.8 反应离子刻蚀机
- 5.9 化学机械抛光机
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 8 工程验收
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5 3。真空蒸发镀膜机5，3,2、本条规定了真空蒸发镀膜机的调试及试运行要求.6 应尽量延长真空泵的抽气时间,以便尽可能地抽除镀膜室内的残余气体，9 10 真空蒸发镀膜机按蒸发加热方式可分为电阻加热,电子束加热。电阻和电子束加热,感应加热.激光加热等.电子束蒸发是目前的主流技术、近年来随着技术的发展出现了离子束辅助蒸发技术，这两款是针对电子束蒸发镀膜设备来进行规定的.