5，4、化学气相淀积系统5,4，1，化学气相淀积系统的安装应符合下列规定。1.应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路.工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择。2、气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料、在气路部分.气源瓶柜.真空排气部分,机柜上方应设排风口.且排风管道的内径不得小于50mm 3、对使用危险气体SiH4，PH4、SF6 CH4,CF6的化学气相淀积系统、安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置，4，工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理,5,机壳接地电阻不应大于4Ω、6,循环冷却水温度应为18.26,压力应符合设备指标要求。5.4,2.化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定、1,应检查紧急按钮是否有效，2.启动真空泵时。运行状态应符合下列规定。1.噪声 振动应无异常,2 真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2，10，4Pa以下 极限真空的压力值可达到8、10.5Pa 3，应延长真空泵的抽气时间 3，具备加热功能的设备应做空载烘烤处理，4、根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量。并应向炉内通入保护气体进行吹扫.5，待淀积的样片应清洗。烘干后应装入在炉管内的载片舟内，并应将载片舟调整到工作位置.6 设定淀积温度。淀积时间，淀积工艺气体比例和进气量。淀积压力，应在抽气正常的情况下通入工艺气体,7。运行淀积程序进行淀积时.应定期检查工艺气体和保护气体流量.8。淀积程序完成后取出已淀积样片,用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性，附着力。膜层组分和晶体结构应满足要求,膜厚均匀性应符合设备指标要求.