5.4,化学气相淀积系统5,4、1，化学气相淀积系统的安装应符合下列规定、1。应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路.工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择。2.气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料、在气路部分、气源瓶柜，真空排气部分、机柜上方应设排风口,且排风管道的内径不得小于50mm 3、对使用危险气体SiH4、PH4 SF6.CH4。CF6的化学气相淀积系统、安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置,4，工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理,5，机壳接地电阻不应大于4Ω.6、循环冷却水温度应为18。26.压力应符合设备指标要求。5,4,2 化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定,1,应检查紧急按钮是否有效，2 启动真空泵时。运行状态应符合下列规定。1,噪声，振动应无异常。2.真空室真空度可在规定时间内降到规定值.本底真空的压力值应控制在2 10、4Pa以下,极限真空的压力值可达到8.10，5Pa,3、应延长真空泵的抽气时间 3.具备加热功能的设备应做空载烘烤处理 4 根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量,并应向炉内通入保护气体进行吹扫、5.待淀积的样片应清洗 烘干后应装入在炉管内的载片舟内。并应将载片舟调整到工作位置，6，设定淀积温度、淀积时间。淀积工艺气体比例和进气量.淀积压力、应在抽气正常的情况下通入工艺气体，7.运行淀积程序进行淀积时 应定期检查工艺气体和保护气体流量，8、淀积程序完成后取出已淀积样片，用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性、附着力.膜层组分和晶体结构应满足要求 膜厚均匀性应符合设备指标要求，