5.4.化学气相淀积系统5 4,1，化学气相淀积系统的安装应符合下列规定,1.应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路。工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择.2 气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料。在气路部分,气源瓶柜 真空排气部分、机柜上方应设排风口、且排风管道的内径不得小于50mm 3,对使用危险气体SiH4,PH4、SF6.CH4、CF6的化学气相淀积系统。安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置，4,工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理,5.机壳接地电阻不应大于4Ω。6，循环冷却水温度应为18。26,压力应符合设备指标要求,5。4。2。化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定.1 应检查紧急按钮是否有效,2,启动真空泵时,运行状态应符合下列规定。1,噪声.振动应无异常、2。真空室真空度可在规定时间内降到规定值、本底真空的压力值应控制在2，10，4Pa以下。极限真空的压力值可达到8 10 5Pa。3。应延长真空泵的抽气时间、3 具备加热功能的设备应做空载烘烤处理,4，根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量。并应向炉内通入保护气体进行吹扫 5 待淀积的样片应清洗 烘干后应装入在炉管内的载片舟内、并应将载片舟调整到工作位置。6 设定淀积温度.淀积时间 淀积工艺气体比例和进气量 淀积压力、应在抽气正常的情况下通入工艺气体.7。运行淀积程序进行淀积时 应定期检查工艺气体和保护气体流量 8,淀积程序完成后取出已淀积样片 用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性.附着力.膜层组分和晶体结构应满足要求。膜厚均匀性应符合设备指标要求，