5.4、化学气相淀积系统5,4,1 化学气相淀积系统的安装应符合下列规定。1，应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路，工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择，2 气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料、在气路部分，气源瓶柜 真空排气部分,机柜上方应设排风口，且排风管道的内径不得小于50mm 3、对使用危险气体SiH4、PH4 SF6，CH4，CF6的化学气相淀积系统。安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置、4。工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理,5,机壳接地电阻不应大于4Ω,6，循环冷却水温度应为18 26 压力应符合设备指标要求 5,4。2.化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定，1、应检查紧急按钮是否有效 2 启动真空泵时、运行状态应符合下列规定、1、噪声、振动应无异常,2 真空室真空度可在规定时间内降到规定值、本底真空的压力值应控制在2.10，4Pa以下 极限真空的压力值可达到8，10.5Pa,3。应延长真空泵的抽气时间.3,具备加热功能的设备应做空载烘烤处理 4。根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量 并应向炉内通入保护气体进行吹扫 5 待淀积的样片应清洗、烘干后应装入在炉管内的载片舟内,并应将载片舟调整到工作位置,6.设定淀积温度，淀积时间 淀积工艺气体比例和进气量.淀积压力,应在抽气正常的情况下通入工艺气体。7.运行淀积程序进行淀积时.应定期检查工艺气体和保护气体流量,8、淀积程序完成后取出已淀积样片,用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性。附着力、膜层组分和晶体结构应满足要求.膜厚均匀性应符合设备指标要求,