5 4，化学气相淀积系统5。4、1。化学气相淀积系统的安装应符合下列规定、1.应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路，工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择。2，气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料 在气路部分。气源瓶柜 真空排气部分.机柜上方应设排风口,且排风管道的内径不得小于50mm 3、对使用危险气体SiH4。PH4,SF6.CH4.CF6的化学气相淀积系统。安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置 4、工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理。5、机壳接地电阻不应大于4Ω，6,循环冷却水温度应为18。26。压力应符合设备指标要求.5。4。2 化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定。1 应检查紧急按钮是否有效、2，启动真空泵时 运行状态应符合下列规定，1。噪声，振动应无异常.2,真空室真空度可在规定时间内降到规定值,本底真空的压力值应控制在2,10,4Pa以下，极限真空的压力值可达到8、10.5Pa、3 应延长真空泵的抽气时间。3 具备加热功能的设备应做空载烘烤处理。4.根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量.并应向炉内通入保护气体进行吹扫.5.待淀积的样片应清洗.烘干后应装入在炉管内的载片舟内，并应将载片舟调整到工作位置.6,设定淀积温度,淀积时间、淀积工艺气体比例和进气量.淀积压力,应在抽气正常的情况下通入工艺气体,7。运行淀积程序进行淀积时。应定期检查工艺气体和保护气体流量。8。淀积程序完成后取出已淀积样片。用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性.附着力，膜层组分和晶体结构应满足要求,膜厚均匀性应符合设备指标要求、