5，4 化学气相淀积系统5，4,1 化学气相淀积系统的安装应符合下列规定,1。应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路。工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择 2 气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料、在气路部分。气源瓶柜.真空排气部分,机柜上方应设排风口.且排风管道的内径不得小于50mm 3,对使用危险气体SiH4、PH4，SF6,CH4 CF6的化学气相淀积系统,安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置.4。工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理，5、机壳接地电阻不应大于4Ω、6、循环冷却水温度应为18、26 压力应符合设备指标要求 5.4、2,化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定。1 应检查紧急按钮是否有效.2 启动真空泵时、运行状态应符合下列规定。1。噪声。振动应无异常，2.真空室真空度可在规定时间内降到规定值.本底真空的压力值应控制在2.10。4Pa以下、极限真空的压力值可达到8,10.5Pa、3，应延长真空泵的抽气时间，3.具备加热功能的设备应做空载烘烤处理.4。根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量。并应向炉内通入保护气体进行吹扫,5.待淀积的样片应清洗。烘干后应装入在炉管内的载片舟内，并应将载片舟调整到工作位置.6.设定淀积温度,淀积时间,淀积工艺气体比例和进气量,淀积压力.应在抽气正常的情况下通入工艺气体，7 运行淀积程序进行淀积时、应定期检查工艺气体和保护气体流量，8。淀积程序完成后取出已淀积样片,用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性。附着力 膜层组分和晶体结构应满足要求.膜厚均匀性应符合设备指标要求、