5.4、化学气相淀积系统5 4 1、化学气相淀积系统的安装应符合下列规定.1.应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路，工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择，2，气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料,在气路部分、气源瓶柜.真空排气部分，机柜上方应设排风口。且排风管道的内径不得小于50mm，3,对使用危险气体SiH4，PH4，SF6、CH4,CF6的化学气相淀积系统 安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置.4.工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理,5.机壳接地电阻不应大于4Ω，6、循环冷却水温度应为18。26.压力应符合设备指标要求。5.4.2、化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定.1。应检查紧急按钮是否有效、2.启动真空泵时。运行状态应符合下列规定,1、噪声,振动应无异常，2、真空室真空度可在规定时间内降到规定值 本底真空的压力值应控制在2、10、4Pa以下，极限真空的压力值可达到8、10 5Pa 3。应延长真空泵的抽气时间。3.具备加热功能的设备应做空载烘烤处理,4.根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量,并应向炉内通入保护气体进行吹扫，5 待淀积的样片应清洗,烘干后应装入在炉管内的载片舟内。并应将载片舟调整到工作位置、6,设定淀积温度 淀积时间,淀积工艺气体比例和进气量.淀积压力。应在抽气正常的情况下通入工艺气体 7、运行淀积程序进行淀积时,应定期检查工艺气体和保护气体流量、8，淀积程序完成后取出已淀积样片。用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性。附着力 膜层组分和晶体结构应满足要求,膜厚均匀性应符合设备指标要求，