5 4,化学气相淀积系统5。4,1,化学气相淀积系统的安装应符合下列规定，1，应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路，工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择，2.气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料，在气路部分。气源瓶柜 真空排气部分，机柜上方应设排风口。且排风管道的内径不得小于50mm、3.对使用危险气体SiH4、PH4、SF6、CH4.CF6的化学气相淀积系统、安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置 4。工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理。5、机壳接地电阻不应大于4Ω，6,循环冷却水温度应为18。26 压力应符合设备指标要求，5、4.2，化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定,1.应检查紧急按钮是否有效。2、启动真空泵时，运行状态应符合下列规定.1、噪声 振动应无异常.2，真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2.10.4Pa以下。极限真空的压力值可达到8 10 5Pa,3 应延长真空泵的抽气时间.3,具备加热功能的设备应做空载烘烤处理、4,根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量。并应向炉内通入保护气体进行吹扫,5、待淀积的样片应清洗。烘干后应装入在炉管内的载片舟内,并应将载片舟调整到工作位置，6,设定淀积温度.淀积时间,淀积工艺气体比例和进气量、淀积压力、应在抽气正常的情况下通入工艺气体.7，运行淀积程序进行淀积时.应定期检查工艺气体和保护气体流量.8 淀积程序完成后取出已淀积样片，用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性,附着力,膜层组分和晶体结构应满足要求、膜厚均匀性应符合设备指标要求,