5、4.化学气相淀积系统5,4，1，化学气相淀积系统的安装应符合下列规定,1.应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路，工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择,2,气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料、在气路部分,气源瓶柜 真空排气部分,机柜上方应设排风口.且排风管道的内径不得小于50mm.3,对使用危险气体SiH4、PH4.SF6 CH4、CF6的化学气相淀积系统，安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置,4，工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理,5，机壳接地电阻不应大于4Ω、6，循环冷却水温度应为18.26，压力应符合设备指标要求.5、4 2,化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定 1，应检查紧急按钮是否有效,2，启动真空泵时 运行状态应符合下列规定 1，噪声。振动应无异常，2，真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2。10，4Pa以下。极限真空的压力值可达到8、10。5Pa，3。应延长真空泵的抽气时间.3.具备加热功能的设备应做空载烘烤处理.4。根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量.并应向炉内通入保护气体进行吹扫、5，待淀积的样片应清洗 烘干后应装入在炉管内的载片舟内，并应将载片舟调整到工作位置,6 设定淀积温度.淀积时间，淀积工艺气体比例和进气量,淀积压力,应在抽气正常的情况下通入工艺气体 7。运行淀积程序进行淀积时,应定期检查工艺气体和保护气体流量.8.淀积程序完成后取出已淀积样片 用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性.附着力，膜层组分和晶体结构应满足要求，膜厚均匀性应符合设备指标要求