3.4 设备安装3 4.1 微组装设备的安装应符合下列规定，1,设备定位时应预留电气箱全开空间和操作、维修空间,2.电源，气源，水源和接地端子一次配管配线应已到位,3。安装时应保护设备表面，密封面不应被损伤,划伤，设备的安装应牢固，可靠 沉头螺钉安装后不应突出被连接件表面，4。设备有防微振控制或特别承重要求时,应采取对应的防微振或提高承载能力的措施.5、应根据设备技术要求由专业人员完成设备的二次配管配线.接入设备的真空管路宜采用SS316L不锈钢管道。纯水.压缩空气等的配管与设备连接宜采用聚四氟乙烯。聚氨酯软管连接 3，4。2，在地坪上直接安装微组装设备应符合下列规定、1、应先在地面放置基础垫片，并应确认基础垫片能均匀支撑设备。2,操作时不得将手放置于基础垫片上方，3 若设备配置有地脚螺栓。则应使每一支地脚螺栓正确装入其螺孔中,移动设备时应使用气垫搬运、4.应通过调节地脚螺栓的支撑长度或基础垫片的有效厚度逐步调平设备，并应确保锁紧螺母无间隙。且每一个地脚都落实在地板的对应基础垫片上,3 4。3,在台面上直接安装微组装设备应符合下列规定、1、安装设备的工作台面应水平，平稳、牢固,2，台面上应铺有防静电材料，并与厂房防静电接地系统有效连接，3,4,4.设备的水平调整宜采用框式水平仪进行测量、精度要求高的设备可使用两支架式水平仪 3、4、5，微组装设备的接地应有效可靠 接地引出端应与厂房接地系统稳固连接.设备接地电阻不应大于4Ω。接地系统应符合现行国家标准、电气装置安装工程接地装置施工及验收规范。GB,50169的有关规定,3，4、6，设备就位后应由技术人员核查设备的动力配置.3，4。7.设备安装完毕后应填写安装工程记录，内容及格式应符合本规范表A，0。2的规定,