4.13,激光调阻机4。13，1。激光调阻机的安装应符合下列规定，1,应通过调节地脚螺栓逐步调平调阻机内的大理石平台、2、调试安全保护门应以输出激光调阻时能可靠关闭为合格，4 13.2、激光调阻机的调试及试运行应符合下列规定、1.应备好待调阻的样品基板及相应探针卡.2，开机后应运行调阻软件，系统应能通过自检.X.Y精密工作台和Z轴升降机构应运行平稳,无晃动,无噪声 3.激光输出应稳定。并可受控、4.激光刻缝应干净,应无电阻材料残留物、边缘应整齐。缝宽不应大于25μm.5、用数字多用表测量微调后的电阻值时,阻值应符合设备指标要求。