4，13。激光调阻机4、13，1,激光调阻机的安装应符合下列规定，1,应通过调节地脚螺栓逐步调平调阻机内的大理石平台,2、调试安全保护门应以输出激光调阻时能可靠关闭为合格 4，13 2 激光调阻机的调试及试运行应符合下列规定，1、应备好待调阻的样品基板及相应探针卡 2 开机后应运行调阻软件。系统应能通过自检。X,Y精密工作台和Z轴升降机构应运行平稳。无晃动,无噪声 3。激光输出应稳定,并可受控.4 激光刻缝应干净 应无电阻材料残留物.边缘应整齐。缝宽不应大于25μm，5。用数字多用表测量微调后的电阻值时、阻值应符合设备指标要求。