5。3，真空蒸发镀膜机5 3。1 真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定 1。设备的主泵为扩散泵时 应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井.2，在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片.3，真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理，4，应装好真空测量规管且与真空计连接好.5.设备接地电阻应小于4Ω、5，3、2.真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1、应检测设备管路接口是否漏气.具备加热功能的应先空载烘烤 2，应核查设备机械真空泵。分子泵，低温泵等是否运转正常,应检测极限真空.漏气率是否满足要求。3、应检查紧急按钮是否有效、4.制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象、5.应将待镀工件清洗干净 烘干、装在机内的载片台上，应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料,6、关上镀膜室大门启动真空泵时,运行状态应符合下列规定、1，噪声 振动应无异常.2、真空室真空度可在规定时间内降到规定值、本底真空的压力值应控制在2、10、4Pa以下。极限真空的压力值可达到2 10 5Pa,3,应延长真空泵的抽气时间,7，应通过变频器调频将工件架调节转速 8 应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度 运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力.9.应调整电子枪的阴极电流,先预熔镀膜材料。当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流。10、应设置蒸发工艺参数、镀膜开始时、应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板、然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零 11.在工件加热烘烤过程中 设备传动部分应运转自如，应无卡滞。松动现象,12.取出工件后 测试膜层的厚度及均匀性。膜层附着力应满足设备指标要求.