5、3，真空蒸发镀膜机5.3,1 真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定 1 设备的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井 2。在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片 3 真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理,4，应装好真空测量规管且与真空计连接好、5 设备接地电阻应小于4Ω，5、3、2，真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定 1.应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的应先空载烘烤.2 应核查设备机械真空泵.分子泵 低温泵等是否运转正常 应检测极限真空、漏气率是否满足要求。3.应检查紧急按钮是否有效。4,制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象 5、应将待镀工件清洗干净。烘干 装在机内的载片台上、应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料、6 关上镀膜室大门启动真空泵时.运行状态应符合下列规定，1 噪声，振动应无异常，2。真空室真空度可在规定时间内降到规定值,本底真空的压力值应控制在2 10。4Pa以下，极限真空的压力值可达到2，10。5Pa,3、应延长真空泵的抽气时间,7。应通过变频器调频将工件架调节转速，8 应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度,运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力。9 应调整电子枪的阴极电流,先预熔镀膜材料、当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流、10、应设置蒸发工艺参数.镀膜开始时、应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板。然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零、11.在工件加热烘烤过程中,设备传动部分应运转自如、应无卡滞 松动现象 12、取出工件后，测试膜层的厚度及均匀性.膜层附着力应满足设备指标要求.