5.3.真空蒸发镀膜机5，3.1、真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定 1，设备的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井、2.在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片、3,真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理。4 应装好真空测量规管且与真空计连接好.5，设备接地电阻应小于4Ω，5,3.2,真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1、应检测设备管路接口是否漏气、具备加热功能的应先空载烘烤 2 应核查设备机械真空泵，分子泵.低温泵等是否运转正常，应检测极限真空，漏气率是否满足要求。3。应检查紧急按钮是否有效。4 制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象.5，应将待镀工件清洗干净。烘干，装在机内的载片台上，应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料 6、关上镀膜室大门启动真空泵时、运行状态应符合下列规定、1、噪声。振动应无异常 2，真空室真空度可在规定时间内降到规定值.本底真空的压力值应控制在2 10 4Pa以下、极限真空的压力值可达到2，10 5Pa 3,应延长真空泵的抽气时间,7、应通过变频器调频将工件架调节转速 8.应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度.运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力，9，应调整电子枪的阴极电流 先预熔镀膜材料.当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流，10，应设置蒸发工艺参数.镀膜开始时。应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板、然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零，11。在工件加热烘烤过程中 设备传动部分应运转自如 应无卡滞。松动现象 12。取出工件后 测试膜层的厚度及均匀性 膜层附着力应满足设备指标要求，