5、3。真空蒸发镀膜机5 3 1.真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定 1，设备的主泵为扩散泵时、应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井,2。在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片，3、真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理,4。应装好真空测量规管且与真空计连接好，5.设备接地电阻应小于4Ω,5,3,2.真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定、1，应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的应先空载烘烤，2，应核查设备机械真空泵，分子泵,低温泵等是否运转正常，应检测极限真空,漏气率是否满足要求，3、应检查紧急按钮是否有效。4 制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象.5,应将待镀工件清洗干净。烘干,装在机内的载片台上 应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料 6、关上镀膜室大门启动真空泵时，运行状态应符合下列规定.1.噪声,振动应无异常，2,真空室真空度可在规定时间内降到规定值,本底真空的压力值应控制在2,10,4Pa以下 极限真空的压力值可达到2 10 5Pa，3 应延长真空泵的抽气时间。7，应通过变频器调频将工件架调节转速，8，应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度，运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力,9、应调整电子枪的阴极电流 先预熔镀膜材料.当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流.10.应设置蒸发工艺参数。镀膜开始时 应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板，然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零,11,在工件加热烘烤过程中.设备传动部分应运转自如。应无卡滞,松动现象，12,取出工件后。测试膜层的厚度及均匀性、膜层附着力应满足设备指标要求、