5。3 真空蒸发镀膜机5、3 1.真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定，1,设备的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井,2、在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片，3，真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理 4,应装好真空测量规管且与真空计连接好 5 设备接地电阻应小于4Ω.5。3。2。真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定 1、应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的应先空载烘烤 2。应核查设备机械真空泵 分子泵.低温泵等是否运转正常 应检测极限真空，漏气率是否满足要求.3,应检查紧急按钮是否有效、4,制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象.5.应将待镀工件清洗干净。烘干 装在机内的载片台上,应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料、6 关上镀膜室大门启动真空泵时。运行状态应符合下列规定.1 噪声 振动应无异常、2,真空室真空度可在规定时间内降到规定值 本底真空的压力值应控制在2 10。4Pa以下、极限真空的压力值可达到2,10。5Pa,3。应延长真空泵的抽气时间,7，应通过变频器调频将工件架调节转速,8 应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度、运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力、9 应调整电子枪的阴极电流,先预熔镀膜材料 当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流，10.应设置蒸发工艺参数、镀膜开始时，应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板，然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零.11、在工件加热烘烤过程中 设备传动部分应运转自如，应无卡滞，松动现象。12 取出工件后，测试膜层的厚度及均匀性 膜层附着力应满足设备指标要求