5,3 真空蒸发镀膜机5，3,1，真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定,1.设备的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井，2,在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片。3.真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理.4、应装好真空测量规管且与真空计连接好.5，设备接地电阻应小于4Ω 5。3，2.真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定。1,应检测设备管路接口是否漏气,具备加热功能的应先空载烘烤，2 应核查设备机械真空泵，分子泵，低温泵等是否运转正常、应检测极限真空 漏气率是否满足要求,3，应检查紧急按钮是否有效，4、制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象.5,应将待镀工件清洗干净，烘干。装在机内的载片台上，应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料、6 关上镀膜室大门启动真空泵时，运行状态应符合下列规定、1,噪声，振动应无异常,2、真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2,10，4Pa以下,极限真空的压力值可达到2 10.5Pa.3 应延长真空泵的抽气时间 7,应通过变频器调频将工件架调节转速 8 应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度,运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力 9.应调整电子枪的阴极电流、先预熔镀膜材料，当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流，10、应设置蒸发工艺参数 镀膜开始时 应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板,然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零.11,在工件加热烘烤过程中。设备传动部分应运转自如，应无卡滞.松动现象.12。取出工件后，测试膜层的厚度及均匀性 膜层附着力应满足设备指标要求.