5.3、真空蒸发镀膜机5、3 1、真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定,1。设备的主泵为扩散泵时 应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井，2 在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片 3.真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理、4 应装好真空测量规管且与真空计连接好。5。设备接地电阻应小于4Ω、5、3 2 真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1 应检测设备管路接口是否漏气.具备加热功能的应先空载烘烤 2。应核查设备机械真空泵,分子泵、低温泵等是否运转正常 应检测极限真空。漏气率是否满足要求、3,应检查紧急按钮是否有效.4，制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象,5。应将待镀工件清洗干净.烘干、装在机内的载片台上 应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料.6。关上镀膜室大门启动真空泵时，运行状态应符合下列规定、1.噪声。振动应无异常、2，真空室真空度可在规定时间内降到规定值。本底真空的压力值应控制在2.10。4Pa以下,极限真空的压力值可达到2,10。5Pa、3。应延长真空泵的抽气时间、7.应通过变频器调频将工件架调节转速。8、应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度.运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力、9。应调整电子枪的阴极电流，先预熔镀膜材料、当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流.10 应设置蒸发工艺参数。镀膜开始时,应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板、然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零、11、在工件加热烘烤过程中.设备传动部分应运转自如 应无卡滞,松动现象、12，取出工件后、测试膜层的厚度及均匀性。膜层附着力应满足设备指标要求。