5.3，真空蒸发镀膜机5,3.1，真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定，1.设备的主泵为扩散泵时 应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井。2。在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片.3,真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理 4，应装好真空测量规管且与真空计连接好，5。设备接地电阻应小于4Ω、5。3、2,真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1 应检测设备管路接口是否漏气。具备加热功能的应先空载烘烤。2,应核查设备机械真空泵，分子泵,低温泵等是否运转正常，应检测极限真空 漏气率是否满足要求。3,应检查紧急按钮是否有效,4 制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象。5,应将待镀工件清洗干净，烘干 装在机内的载片台上、应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料，6、关上镀膜室大门启动真空泵时,运行状态应符合下列规定。1、噪声，振动应无异常 2，真空室真空度可在规定时间内降到规定值,本底真空的压力值应控制在2，10.4Pa以下，极限真空的压力值可达到2、10,5Pa 3.应延长真空泵的抽气时间。7、应通过变频器调频将工件架调节转速。8、应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度，运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力 9。应调整电子枪的阴极电流,先预熔镀膜材料,当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流,10,应设置蒸发工艺参数，镀膜开始时,应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板.然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零，11 在工件加热烘烤过程中，设备传动部分应运转自如,应无卡滞、松动现象 12,取出工件后，测试膜层的厚度及均匀性,膜层附着力应满足设备指标要求、