5,3.真空蒸发镀膜机5。3、1，真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定.1.设备的主泵为扩散泵时 应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井，2。在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片。3、真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理 4,应装好真空测量规管且与真空计连接好，5，设备接地电阻应小于4Ω。5,3 2、真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1、应检测设备管路接口是否漏气.具备加热功能的应先空载烘烤 2。应核查设备机械真空泵,分子泵 低温泵等是否运转正常,应检测极限真空，漏气率是否满足要求 3。应检查紧急按钮是否有效 4、制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象.5 应将待镀工件清洗干净 烘干。装在机内的载片台上。应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料，6 关上镀膜室大门启动真空泵时、运行状态应符合下列规定。1，噪声.振动应无异常.2 真空室真空度可在规定时间内降到规定值.本底真空的压力值应控制在2、10、4Pa以下。极限真空的压力值可达到2。10 5Pa。3、应延长真空泵的抽气时间.7。应通过变频器调频将工件架调节转速,8。应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度.运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力，9、应调整电子枪的阴极电流.先预熔镀膜材料，当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流，10,应设置蒸发工艺参数。镀膜开始时 应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板。然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零,11，在工件加热烘烤过程中。设备传动部分应运转自如,应无卡滞、松动现象,12 取出工件后，测试膜层的厚度及均匀性，膜层附着力应满足设备指标要求