5，3。真空蒸发镀膜机5 3。1,真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定。1.设备的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井,2,在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片，3，真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理 4 应装好真空测量规管且与真空计连接好、5。设备接地电阻应小于4Ω、5。3、2，真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1。应检测设备管路接口是否漏气,具备加热功能的应先空载烘烤,2,应核查设备机械真空泵、分子泵。低温泵等是否运转正常。应检测极限真空 漏气率是否满足要求.3。应检查紧急按钮是否有效.4，制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象。5，应将待镀工件清洗干净.烘干.装在机内的载片台上.应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料、6。关上镀膜室大门启动真空泵时.运行状态应符合下列规定、1，噪声。振动应无异常，2，真空室真空度可在规定时间内降到规定值、本底真空的压力值应控制在2.10.4Pa以下、极限真空的压力值可达到2、10，5Pa 3,应延长真空泵的抽气时间、7,应通过变频器调频将工件架调节转速。8、应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度,运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力。9 应调整电子枪的阴极电流，先预熔镀膜材料。当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流，10 应设置蒸发工艺参数 镀膜开始时 应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板.然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零，11,在工件加热烘烤过程中.设备传动部分应运转自如。应无卡滞，松动现象，12 取出工件后 测试膜层的厚度及均匀性 膜层附着力应满足设备指标要求