5、3,真空蒸发镀膜机5 3，1、真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定。1、设备的主泵为扩散泵时、应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井,2 在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片，3,真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理、4 应装好真空测量规管且与真空计连接好，5 设备接地电阻应小于4Ω.5,3。2 真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1.应检测设备管路接口是否漏气。具备加热功能的应先空载烘烤 2 应核查设备机械真空泵 分子泵,低温泵等是否运转正常、应检测极限真空.漏气率是否满足要求。3，应检查紧急按钮是否有效。4，制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象、5,应将待镀工件清洗干净，烘干 装在机内的载片台上。应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料,6 关上镀膜室大门启动真空泵时。运行状态应符合下列规定、1 噪声 振动应无异常、2，真空室真空度可在规定时间内降到规定值、本底真空的压力值应控制在2，10 4Pa以下 极限真空的压力值可达到2.10 5Pa。3 应延长真空泵的抽气时间 7,应通过变频器调频将工件架调节转速 8,应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度，运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力、9。应调整电子枪的阴极电流,先预熔镀膜材料,当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流、10.应设置蒸发工艺参数,镀膜开始时.应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板,然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零、11,在工件加热烘烤过程中 设备传动部分应运转自如。应无卡滞,松动现象，12、取出工件后 测试膜层的厚度及均匀性.膜层附着力应满足设备指标要求。