5，3,真空蒸发镀膜机5,3，1，真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定、1，设备的主泵为扩散泵时、应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井.2，在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片，3.真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理.4。应装好真空测量规管且与真空计连接好 5。设备接地电阻应小于4Ω.5。3,2,真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定 1,应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的应先空载烘烤.2,应核查设备机械真空泵 分子泵、低温泵等是否运转正常，应检测极限真空。漏气率是否满足要求，3，应检查紧急按钮是否有效.4,制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象。5、应将待镀工件清洗干净，烘干.装在机内的载片台上,应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料 6，关上镀膜室大门启动真空泵时.运行状态应符合下列规定.1 噪声 振动应无异常、2 真空室真空度可在规定时间内降到规定值 本底真空的压力值应控制在2，10 4Pa以下、极限真空的压力值可达到2、10、5Pa 3.应延长真空泵的抽气时间,7。应通过变频器调频将工件架调节转速,8.应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度，运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力.9,应调整电子枪的阴极电流,先预熔镀膜材料，当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流。10,应设置蒸发工艺参数 镀膜开始时.应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板。然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零.11.在工件加热烘烤过程中、设备传动部分应运转自如，应无卡滞，松动现象、12，取出工件后，测试膜层的厚度及均匀性。膜层附着力应满足设备指标要求,