5、4、化学气相淀积系统5。4，1、本条规定了化学气相淀积系统的安装要求、1 目前主流的化学气相淀积技术有常压化学气相淀积.低压化学气相淀积。等离子体增强化学气相淀积 金属氧化物化学气相淀积等、不同的淀积技术对工艺气体的组分要求有所不同，3 由于化学气相淀积系统工艺要使用到SiH4,PH4,SF6，CH4.CF6等易燃，易爆或对人体有毒的危险性气体。为保证设备使用安全和人身安全。安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置,本款为强制性条款 设备安装人员必须严格执行。5 为了保证操作时的安全、机壳应良好接地、5。4，2.本条规定了化学气相淀积系统的调试及试运行要求,2、应尽量延长真空泵的抽气时间。以便尽可能地抽除炉体内的残余气体。8 不同的膜种类。如多晶硅,氧化硅，氮化硅等，其片内 片间 批间的均匀性、淀积速率有所不同，