5、4.化学气相淀积系统5 4，1.本条规定了化学气相淀积系统的安装要求、1，目前主流的化学气相淀积技术有常压化学气相淀积、低压化学气相淀积.等离子体增强化学气相淀积。金属氧化物化学气相淀积等.不同的淀积技术对工艺气体的组分要求有所不同，3、由于化学气相淀积系统工艺要使用到SiH4.PH4、SF6、CH4。CF6等易燃、易爆或对人体有毒的危险性气体，为保证设备使用安全和人身安全、安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置 本款为强制性条款.设备安装人员必须严格执行。5.为了保证操作时的安全、机壳应良好接地、5,4。2，本条规定了化学气相淀积系统的调试及试运行要求 2，应尽量延长真空泵的抽气时间 以便尽可能地抽除炉体内的残余气体，8,不同的膜种类，如多晶硅。氧化硅，氮化硅等 其片内 片间.批间的均匀性、淀积速率有所不同