5，4，化学气相淀积系统5。4、1.本条规定了化学气相淀积系统的安装要求。1.目前主流的化学气相淀积技术有常压化学气相淀积。低压化学气相淀积，等离子体增强化学气相淀积、金属氧化物化学气相淀积等、不同的淀积技术对工艺气体的组分要求有所不同，3.由于化学气相淀积系统工艺要使用到SiH4,PH4.SF6,CH4、CF6等易燃，易爆或对人体有毒的危险性气体 为保证设备使用安全和人身安全.安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置、本款为强制性条款，设备安装人员必须严格执行 5 为了保证操作时的安全。机壳应良好接地。5,4,2、本条规定了化学气相淀积系统的调试及试运行要求.2，应尽量延长真空泵的抽气时间，以便尽可能地抽除炉体内的残余气体,8，不同的膜种类 如多晶硅。氧化硅.氮化硅等。其片内，片间。批间的均匀性 淀积速率有所不同、