5 4 化学气相淀积系统5,4。1.本条规定了化学气相淀积系统的安装要求。1.目前主流的化学气相淀积技术有常压化学气相淀积、低压化学气相淀积、等离子体增强化学气相淀积.金属氧化物化学气相淀积等,不同的淀积技术对工艺气体的组分要求有所不同 3.由于化学气相淀积系统工艺要使用到SiH4、PH4,SF6、CH4.CF6等易燃、易爆或对人体有毒的危险性气体。为保证设备使用安全和人身安全 安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置 本款为强制性条款.设备安装人员必须严格执行。5 为了保证操作时的安全.机壳应良好接地。5，4。2、本条规定了化学气相淀积系统的调试及试运行要求 2.应尽量延长真空泵的抽气时间、以便尽可能地抽除炉体内的残余气体.8、不同的膜种类。如多晶硅、氧化硅,氮化硅等.其片内，片间，批间的均匀性.淀积速率有所不同，