3，基本规定3。1、施工条件3、1，1、微组装设备安装前、洁净厂房应符合下列规定。1，应空态验收合格.净化空调系统应连续正常运行24h以上。2 温度宜为20。26 3,相对湿度宜为30、70 4 地坪承载能力应满足设备承载要求 5、净空高度应满足设备安装要求 6、厂房入口的人身净化设施应已启用、7。应具备设备搬入口、8、消防设施应已通过专项验收，可以启用,9 防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收,10 应有符合要求的电源 气源,水源和接地端子 11,应设置员工安全疏散通道,3.1，2。微组装设备安装应具备下列技术文件,1、设备安装平面图,2.设备装箱清单,3。设备制造商提供的设备安装、运行 维护技术文件及安装技术参数，3,1。3.进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证 特殊工种应按有关规定持证上岗、3、1、4.设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范.GB,50472的有关规定.3。1、5。施工用的机具应符合现行国家标准。微电子生产设备安装工程施工及验收规范.GB。50467的有关规定