3、基本规定3,1 施工条件3,1 1，微组装设备安装前 洁净厂房应符合下列规定,1,应空态验收合格、净化空调系统应连续正常运行24h以上,2,温度宜为20.26，3.相对湿度宜为30.70。4，地坪承载能力应满足设备承载要求,5、净空高度应满足设备安装要求、6.厂房入口的人身净化设施应已启用、7、应具备设备搬入口。8.消防设施应已通过专项验收。可以启用，9 防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收，10.应有符合要求的电源.气源 水源和接地端子、11 应设置员工安全疏散通道,3。1，2.微组装设备安装应具备下列技术文件 1 设备安装平面图。2，设备装箱清单。3.设备制造商提供的设备安装、运行。维护技术文件及安装技术参数、3,1，3 进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证，特殊工种应按有关规定持证上岗,3,1、4,设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范,GB、50472的有关规定。3,1，5,施工用的机具应符合现行国家标准.微电子生产设备安装工程施工及验收规范。GB，50467的有关规定。