3 基本规定3.1,施工条件3.1.1.微组装设备安装前,洁净厂房应符合下列规定 1、应空态验收合格.净化空调系统应连续正常运行24h以上、2。温度宜为20,26、3、相对湿度宜为30、70。4.地坪承载能力应满足设备承载要求。5，净空高度应满足设备安装要求.6，厂房入口的人身净化设施应已启用。7，应具备设备搬入口,8.消防设施应已通过专项验收、可以启用.9，防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收、10.应有符合要求的电源，气源 水源和接地端子。11 应设置员工安全疏散通道 3、1。2 微组装设备安装应具备下列技术文件，1、设备安装平面图,2、设备装箱清单。3。设备制造商提供的设备安装，运行.维护技术文件及安装技术参数，3 1、3，进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证.特殊工种应按有关规定持证上岗.3.1,4.设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范.GB，50472的有关规定 3、1.5.施工用的机具应符合现行国家标准 微电子生产设备安装工程施工及验收规范,GB。50467的有关规定。