3。基本规定3,1.施工条件3、1，1。微组装设备安装前。洁净厂房应符合下列规定、1 应空态验收合格.净化空调系统应连续正常运行24h以上。2,温度宜为20 26、3，相对湿度宜为30.70。4。地坪承载能力应满足设备承载要求 5，净空高度应满足设备安装要求.6。厂房入口的人身净化设施应已启用、7.应具备设备搬入口、8、消防设施应已通过专项验收,可以启用,9 防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收，10.应有符合要求的电源、气源。水源和接地端子、11 应设置员工安全疏散通道。3。1.2。微组装设备安装应具备下列技术文件,1 设备安装平面图，2。设备装箱清单，3 设备制造商提供的设备安装、运行,维护技术文件及安装技术参数,3，1.3,进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证、特殊工种应按有关规定持证上岗,3、1,4 设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范,GB 50472的有关规定、3,1,5 施工用的机具应符合现行国家标准，微电子生产设备安装工程施工及验收规范 GB.50467的有关规定