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3、基本规定3,1.施工条件3。1.1.微组装设备安装前,洁净厂房应符合下列规定,1。应空态验收合格、净化空调系统应连续正常运行24h以上,2。温度宜为20。26。3 相对湿度宜为30、70 4.地坪承载能力应满足设备承载要求,5。净空高度应满足设备安装要求.6,厂房入口的人身净化设施应已启用 7.应具备设备搬入口、8 消防设施应已通过专项验收.可以启用.9.防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收 10。应有符合要求的电源 气源、水源和接地端子、11。应设置员工安全疏散通道。3,1。2 微组装设备安装应具备下列技术文件 1、设备安装平面图,2、设备装箱清单.3。设备制造商提供的设备安装.运行、维护技术文件及安装技术参数.3,1 3,进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证,特殊工种应按有关规定持证上岗,3.1,4。设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准。电子工业洁净厂房设计规范 GB,50472的有关规定、3,1、5 施工用的机具应符合现行国家标准,微电子生产设备安装工程施工及验收规范,GB。50467的有关规定,
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