3。基本规定3，1，施工条件3。1。1 微组装设备安装前,洁净厂房应符合下列规定.1.应空态验收合格.净化空调系统应连续正常运行24h以上。2。温度宜为20,26。3,相对湿度宜为30、70,4、地坪承载能力应满足设备承载要求，5 净空高度应满足设备安装要求.6。厂房入口的人身净化设施应已启用 7 应具备设备搬入口、8、消防设施应已通过专项验收.可以启用,9,防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收,10 应有符合要求的电源,气源，水源和接地端子 11、应设置员工安全疏散通道,3、1。2.微组装设备安装应具备下列技术文件 1、设备安装平面图,2 设备装箱清单、3、设备制造商提供的设备安装。运行 维护技术文件及安装技术参数.3，1，3,进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证，特殊工种应按有关规定持证上岗、3、1，4 设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范，GB.50472的有关规定.3。1,5.施工用的机具应符合现行国家标准.微电子生产设备安装工程施工及验收规范.GB,50467的有关规定、