3,基本规定3、1，施工条件3,1,1.微组装设备安装前 洁净厂房应符合下列规定。1。应空态验收合格，净化空调系统应连续正常运行24h以上，2 温度宜为20、26,3.相对湿度宜为30、70。4，地坪承载能力应满足设备承载要求 5,净空高度应满足设备安装要求,6,厂房入口的人身净化设施应已启用,7，应具备设备搬入口。8、消防设施应已通过专项验收，可以启用.9、防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收。10，应有符合要求的电源，气源，水源和接地端子。11。应设置员工安全疏散通道。3。1、2 微组装设备安装应具备下列技术文件、1，设备安装平面图。2.设备装箱清单。3 设备制造商提供的设备安装、运行。维护技术文件及安装技术参数、3.1、3，进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证.特殊工种应按有关规定持证上岗 3、1,4 设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范,GB 50472的有关规定，3,1。5，施工用的机具应符合现行国家标准 微电子生产设备安装工程施工及验收规范,GB,50467的有关规定.