3、基本规定3.1，施工条件3,1，1,微组装设备安装前 洁净厂房应符合下列规定,1,应空态验收合格，净化空调系统应连续正常运行24h以上,2 温度宜为20,26、3,相对湿度宜为30。70，4.地坪承载能力应满足设备承载要求 5、净空高度应满足设备安装要求.6，厂房入口的人身净化设施应已启用。7 应具备设备搬入口.8、消防设施应已通过专项验收.可以启用，9,防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收 10.应有符合要求的电源,气源。水源和接地端子、11，应设置员工安全疏散通道,3,1 2。微组装设备安装应具备下列技术文件,1,设备安装平面图,2、设备装箱清单.3，设备制造商提供的设备安装。运行、维护技术文件及安装技术参数。3，1.3、进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证、特殊工种应按有关规定持证上岗，3、1 4。设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范，GB.50472的有关规定、3，1.5 施工用的机具应符合现行国家标准,微电子生产设备安装工程施工及验收规范 GB 50467的有关规定、