3.基本规定3。1。施工条件3,1 1。微组装设备安装前，洁净厂房应符合下列规定、1,应空态验收合格，净化空调系统应连续正常运行24h以上，2，温度宜为20 26 3,相对湿度宜为30.70。4.地坪承载能力应满足设备承载要求.5 净空高度应满足设备安装要求，6,厂房入口的人身净化设施应已启用.7.应具备设备搬入口。8。消防设施应已通过专项验收，可以启用,9。防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收,10 应有符合要求的电源,气源、水源和接地端子，11，应设置员工安全疏散通道，3。1、2。微组装设备安装应具备下列技术文件。1,设备安装平面图.2。设备装箱清单，3.设备制造商提供的设备安装.运行.维护技术文件及安装技术参数 3 1.3.进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证。特殊工种应按有关规定持证上岗.3、1、4.设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范、GB 50472的有关规定、3 1，5.施工用的机具应符合现行国家标准,微电子生产设备安装工程施工及验收规范，GB，50467的有关规定、