3，基本规定3。1 施工条件3,1、1.微组装设备安装前 洁净厂房应符合下列规定。1,应空态验收合格.净化空调系统应连续正常运行24h以上，2、温度宜为20。26 3。相对湿度宜为30、70.4,地坪承载能力应满足设备承载要求 5.净空高度应满足设备安装要求 6 厂房入口的人身净化设施应已启用.7 应具备设备搬入口.8 消防设施应已通过专项验收，可以启用。9，防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收。10.应有符合要求的电源，气源 水源和接地端子，11.应设置员工安全疏散通道，3，1、2。微组装设备安装应具备下列技术文件.1,设备安装平面图，2、设备装箱清单 3，设备制造商提供的设备安装 运行 维护技术文件及安装技术参数，3,1、3。进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证，特殊工种应按有关规定持证上岗、3。1。4.设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准、电子工业洁净厂房设计规范,GB，50472的有关规定、3,1.5 施工用的机具应符合现行国家标准、微电子生产设备安装工程施工及验收规范 GB,50467的有关规定