"大量文字复制"等功能仅限VIP会员使用，您可以选择以下方式解决：
1、选择少量文本，重新进行复制操作
2、开通VIP，享受下载海量资源、文字任意复制等特权
- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5.1 一般规定
- 5.2 磁控溅射镀膜机
- 5.3 真空蒸发镀膜机
- 5.4 化学气相淀积系统
- 5.5 旋涂及热板系统
- 5.6 曝 光 机
- 5.7 显 影 台
- 5.8 反应离子刻蚀机
- 5.9 化学机械抛光机
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 8 工程验收
- 附录A 微组装生产线工艺设备安装工程验收记录用表
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
热门资源
更多>
- 混凝土抗冻试验设备 JG/T 243-2009
- 炼钢机械设备安装规范[附条文说明] GB 50742-2012
- 铁合金工艺及设备设计规范[附条文说明] GB 50735-2011
- 汽车转向系 基本要求 GB 17675-2021
- 高效空气过滤器 GB/T 13554-2020
- 混凝土抗渗仪 JG/T 249-2009
- 手夹快换接头 JB/T 7850-2007
- 过滤机 安全要求 GB 40161-2021
- 钢制球形储罐（含第1号修改单） GB/T 12337-2014
- V型球阀 JB/T 13517-2018
5、薄膜基板制造工艺设备安装，调试及试运行5,1 一般规定5,1、1 薄膜基板制造工艺设备主要应包括磁控溅射镀膜机 真空蒸发镀膜机 化学气相淀积系统,旋涂及热板系统,曝光机 显影台.反应离子刻蚀机.化学机械抛光机。5，1。2。薄膜基板制造工艺设备应满足工艺线联线要求、并可通过薄膜标准测试版产品的生产和膜层性能指标的测试来验证薄膜关键工艺设备组线时的相关性能指标，5，1,3。旋涂及热板系统。显影台，曝光机应置于相对湿度45。5，温度22 2,洁净度6级或优于6级净化并用黄光照明的环境中 其他薄膜基板制造工艺设备应安装在洁净度6级或优于6级净化的洁净间中.温度宜为18,25,相对湿度宜为40、60.