5，7、显、影.台5。7 1。显影台的安装应符合下列规定.1 搬运时应防撞防抖，不得直接拖动，2，应通过调节四个地脚高度、使得真空吸盘呈水平状态,并应用水平仪进行测试和确认、3,显影 清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接。4、应接入压缩空气.氮气及真空三种气路。冲洗用纯水压力应为0.13MPa.0,35MPa 5。设备的排液管必须接入废液管道,废液管道必须通向废液处理池。6。存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液，7 应核查设备的氮气欠压保护.真空保护.设备急停报警功能是否正常、承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa。5 7、2。显影台的调试及试运行应符合下列规定，1.应先连接好显影液供应管道、去离子水管道、2、开机后设置好工艺液体的温度.液体温度应在10.30、间可调。应调节好喷头喷溅压力、其调节范围应在0.14 7。104Pa间.3、应设定好真空口及盘旋转速度、显影时间.漂洗时间、冲洗时间以及主轴转速,并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤、4、应将已曝光的基片放入片盒 然后将片盒放入片盒卡槽位置 5 应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的，启动，按钮.系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影、清洗操作 6 进行显影 漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护 工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干。7、机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片 8,设备运行时应无振动和噪声 9.设备显影 漂洗后应进行烘干处理,温度控制范围宜在60.180,控温精度应为 2。10、结束后应对基片进行目检。整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥。应无微粒。污点或瑕疵、显影合格的基片应均匀 线条应整齐。应无残胶，无毛刺