5.7,显,影 台5,7、1、显影台的安装应符合下列规定.1、搬运时应防撞防抖,不得直接拖动,2.应通过调节四个地脚高度，使得真空吸盘呈水平状态.并应用水平仪进行测试和确认，3、显影 清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接。4.应接入压缩空气。氮气及真空三种气路。冲洗用纯水压力应为0,13MPa，0 35MPa 5 设备的排液管必须接入废液管道。废液管道必须通向废液处理池，6。存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液,7 应核查设备的氮气欠压保护、真空保护、设备急停报警功能是否正常 承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa。5、7.2,显影台的调试及试运行应符合下列规定。1、应先连接好显影液供应管道 去离子水管道，2、开机后设置好工艺液体的温度,液体温度应在10,30.间可调 应调节好喷头喷溅压力.其调节范围应在0,14,7 104Pa间、3、应设定好真空口及盘旋转速度,显影时间.漂洗时间，冲洗时间以及主轴转速.并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤。4 应将已曝光的基片放入片盒。然后将片盒放入片盒卡槽位置.5。应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的。启动.按钮,系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影，清洗操作、6.进行显影，漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护.工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干。7、机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片,8、设备运行时应无振动和噪声，9、设备显影。漂洗后应进行烘干处理。温度控制范围宜在60 180。控温精度应为,2、10，结束后应对基片进行目检,整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥,应无微粒。污点或瑕疵 显影合格的基片应均匀.线条应整齐。应无残胶、无毛刺。