5，7，显 影、台5.7,1 显影台的安装应符合下列规定、1 搬运时应防撞防抖,不得直接拖动、2、应通过调节四个地脚高度,使得真空吸盘呈水平状态.并应用水平仪进行测试和确认、3.显影，清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接.4，应接入压缩空气。氮气及真空三种气路，冲洗用纯水压力应为0。13MPa。0,35MPa,5、设备的排液管必须接入废液管道,废液管道必须通向废液处理池，6，存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液。7。应核查设备的氮气欠压保护,真空保护.设备急停报警功能是否正常，承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa,5，7，2，显影台的调试及试运行应符合下列规定,1 应先连接好显影液供应管道。去离子水管道、2、开机后设置好工艺液体的温度 液体温度应在10 30.间可调。应调节好喷头喷溅压力 其调节范围应在0,14。7、104Pa间。3,应设定好真空口及盘旋转速度.显影时间.漂洗时间。冲洗时间以及主轴转速。并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤 4.应将已曝光的基片放入片盒 然后将片盒放入片盒卡槽位置 5.应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的。启动、按钮 系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影、清洗操作。6.进行显影.漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护。工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干。7 机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片.8.设备运行时应无振动和噪声,9、设备显影.漂洗后应进行烘干处理，温度控制范围宜在60。180.控温精度应为.2。10，结束后应对基片进行目检,整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥，应无微粒,污点或瑕疵,显影合格的基片应均匀,线条应整齐 应无残胶 无毛刺。