5。7 显。影,台5，7 1,显影台的安装应符合下列规定、1、搬运时应防撞防抖。不得直接拖动。2、应通过调节四个地脚高度。使得真空吸盘呈水平状态、并应用水平仪进行测试和确认.3 显影,清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接，4.应接入压缩空气、氮气及真空三种气路。冲洗用纯水压力应为0,13MPa.0,35MPa,5，设备的排液管必须接入废液管道。废液管道必须通向废液处理池、6、存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液,7.应核查设备的氮气欠压保护、真空保护、设备急停报警功能是否正常，承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa、5.7，2.显影台的调试及试运行应符合下列规定 1.应先连接好显影液供应管道。去离子水管道。2，开机后设置好工艺液体的温度.液体温度应在10.30,间可调、应调节好喷头喷溅压力,其调节范围应在0.14、7 104Pa间.3。应设定好真空口及盘旋转速度，显影时间,漂洗时间,冲洗时间以及主轴转速。并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤。4 应将已曝光的基片放入片盒 然后将片盒放入片盒卡槽位置.5。应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的,启动.按钮、系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影，清洗操作,6 进行显影 漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护 工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干，7.机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片，8 设备运行时应无振动和噪声，9 设备显影、漂洗后应进行烘干处理 温度控制范围宜在60，180,控温精度应为、2,10。结束后应对基片进行目检,整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥。应无微粒 污点或瑕疵，显影合格的基片应均匀。线条应整齐。应无残胶、无毛刺。