5 7,显。影.台5，7、1,显影台的安装应符合下列规定，1、搬运时应防撞防抖、不得直接拖动.2,应通过调节四个地脚高度.使得真空吸盘呈水平状态,并应用水平仪进行测试和确认。3、显影、清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接。4,应接入压缩空气,氮气及真空三种气路,冲洗用纯水压力应为0，13MPa.0,35MPa,5、设备的排液管必须接入废液管道。废液管道必须通向废液处理池、6.存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液，7 应核查设备的氮气欠压保护。真空保护.设备急停报警功能是否正常.承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa 5.7。2 显影台的调试及试运行应符合下列规定、1，应先连接好显影液供应管道。去离子水管道 2.开机后设置好工艺液体的温度。液体温度应在10,30，间可调、应调节好喷头喷溅压力，其调节范围应在0.14。7.104Pa间，3,应设定好真空口及盘旋转速度,显影时间。漂洗时间.冲洗时间以及主轴转速，并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤。4.应将已曝光的基片放入片盒.然后将片盒放入片盒卡槽位置.5。应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的 启动。按钮 系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影，清洗操作.6 进行显影,漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护、工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干，7、机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片，8、设备运行时应无振动和噪声 9,设备显影 漂洗后应进行烘干处理。温度控制范围宜在60 180.控温精度应为 2、10。结束后应对基片进行目检。整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥、应无微粒.污点或瑕疵,显影合格的基片应均匀.线条应整齐。应无残胶，无毛刺,