5。7，显,影,台5,7 1，显影台的安装应符合下列规定,1。搬运时应防撞防抖,不得直接拖动。2.应通过调节四个地脚高度。使得真空吸盘呈水平状态,并应用水平仪进行测试和确认,3、显影.清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接 4。应接入压缩空气 氮气及真空三种气路，冲洗用纯水压力应为0。13MPa,0，35MPa。5，设备的排液管必须接入废液管道.废液管道必须通向废液处理池，6、存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液.7、应核查设备的氮气欠压保护，真空保护 设备急停报警功能是否正常、承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa，5。7 2 显影台的调试及试运行应符合下列规定，1.应先连接好显影液供应管道.去离子水管道,2 开机后设置好工艺液体的温度,液体温度应在10 30，间可调 应调节好喷头喷溅压力 其调节范围应在0。14。7,104Pa间.3。应设定好真空口及盘旋转速度 显影时间 漂洗时间,冲洗时间以及主轴转速，并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤.4 应将已曝光的基片放入片盒.然后将片盒放入片盒卡槽位置，5 应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的。启动.按钮，系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影 清洗操作、6，进行显影.漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护、工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干 7、机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片，8.设备运行时应无振动和噪声。9。设备显影，漂洗后应进行烘干处理 温度控制范围宜在60.180 控温精度应为，2、10。结束后应对基片进行目检，整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥，应无微粒,污点或瑕疵,显影合格的基片应均匀,线条应整齐、应无残胶，无毛刺