5.7，显，影.台5 7 1、显影台的安装应符合下列规定,1、搬运时应防撞防抖,不得直接拖动 2,应通过调节四个地脚高度。使得真空吸盘呈水平状态,并应用水平仪进行测试和确认。3.显影.清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接，4。应接入压缩空气、氮气及真空三种气路 冲洗用纯水压力应为0,13MPa 0、35MPa、5,设备的排液管必须接入废液管道 废液管道必须通向废液处理池.6。存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液.7 应核查设备的氮气欠压保护，真空保护.设备急停报警功能是否正常，承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa,5.7、2,显影台的调试及试运行应符合下列规定.1,应先连接好显影液供应管道,去离子水管道.2 开机后设置好工艺液体的温度,液体温度应在10、30.间可调、应调节好喷头喷溅压力,其调节范围应在0,14.7、104Pa间,3,应设定好真空口及盘旋转速度、显影时间、漂洗时间，冲洗时间以及主轴转速.并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤、4 应将已曝光的基片放入片盒、然后将片盒放入片盒卡槽位置,5,应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的 启动,按钮。系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影，清洗操作.6、进行显影,漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护、工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干、7，机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片 8。设备运行时应无振动和噪声.9，设备显影。漂洗后应进行烘干处理、温度控制范围宜在60,180,控温精度应为。2、10.结束后应对基片进行目检.整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥 应无微粒 污点或瑕疵，显影合格的基片应均匀、线条应整齐、应无残胶、无毛刺,