5，7,显，影.台5。7、1.显影台的安装应符合下列规定 1 搬运时应防撞防抖.不得直接拖动,2，应通过调节四个地脚高度.使得真空吸盘呈水平状态，并应用水平仪进行测试和确认 3 显影。清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接.4、应接入压缩空气。氮气及真空三种气路 冲洗用纯水压力应为0。13MPa,0,35MPa 5，设备的排液管必须接入废液管道、废液管道必须通向废液处理池,6，存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液，7 应核查设备的氮气欠压保护。真空保护，设备急停报警功能是否正常,承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa。5 7。2、显影台的调试及试运行应符合下列规定,1.应先连接好显影液供应管道 去离子水管道,2.开机后设置好工艺液体的温度、液体温度应在10.30，间可调、应调节好喷头喷溅压力、其调节范围应在0、14，7,104Pa间 3，应设定好真空口及盘旋转速度 显影时间、漂洗时间。冲洗时间以及主轴转速,并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤，4.应将已曝光的基片放入片盒 然后将片盒放入片盒卡槽位置,5，应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的，启动，按钮、系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影、清洗操作,6，进行显影。漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护,工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干.7，机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片，8,设备运行时应无振动和噪声。9、设备显影.漂洗后应进行烘干处理。温度控制范围宜在60，180.控温精度应为.2 10，结束后应对基片进行目检,整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥。应无微粒,污点或瑕疵 显影合格的基片应均匀，线条应整齐。应无残胶 无毛刺