5 7 显 影。台5，7.1.显影台的安装应符合下列规定、1、搬运时应防撞防抖 不得直接拖动，2.应通过调节四个地脚高度。使得真空吸盘呈水平状态.并应用水平仪进行测试和确认 3，显影，清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接,4、应接入压缩空气、氮气及真空三种气路。冲洗用纯水压力应为0,13MPa 0.35MPa。5,设备的排液管必须接入废液管道。废液管道必须通向废液处理池。6 存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液，7，应核查设备的氮气欠压保护，真空保护，设备急停报警功能是否正常 承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa,5、7，2,显影台的调试及试运行应符合下列规定，1。应先连接好显影液供应管道。去离子水管道，2,开机后设置好工艺液体的温度，液体温度应在10 30、间可调、应调节好喷头喷溅压力,其调节范围应在0、14、7,104Pa间，3、应设定好真空口及盘旋转速度、显影时间.漂洗时间 冲洗时间以及主轴转速,并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤，4,应将已曝光的基片放入片盒。然后将片盒放入片盒卡槽位置。5。应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的、启动，按钮.系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影 清洗操作。6，进行显影，漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护,工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干 7。机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片、8，设备运行时应无振动和噪声.9 设备显影 漂洗后应进行烘干处理，温度控制范围宜在60.180，控温精度应为，2。10.结束后应对基片进行目检,整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥。应无微粒 污点或瑕疵、显影合格的基片应均匀.线条应整齐。应无残胶。无毛刺、