5。7 显，影 台5.7.1。显影台的安装应符合下列规定.1 搬运时应防撞防抖，不得直接拖动。2,应通过调节四个地脚高度 使得真空吸盘呈水平状态.并应用水平仪进行测试和确认.3。显影,清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接.4.应接入压缩空气、氮气及真空三种气路、冲洗用纯水压力应为0，13MPa、0.35MPa.5，设备的排液管必须接入废液管道。废液管道必须通向废液处理池.6，存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液,7 应核查设备的氮气欠压保护 真空保护。设备急停报警功能是否正常、承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa，5.7,2.显影台的调试及试运行应符合下列规定.1.应先连接好显影液供应管道.去离子水管道 2 开机后设置好工艺液体的温度。液体温度应在10。30。间可调.应调节好喷头喷溅压力,其调节范围应在0.14.7。104Pa间.3，应设定好真空口及盘旋转速度.显影时间,漂洗时间、冲洗时间以及主轴转速,并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤、4。应将已曝光的基片放入片盒,然后将片盒放入片盒卡槽位置，5.应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的,启动 按钮，系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影，清洗操作、6,进行显影。漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护 工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干。7.机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片,8,设备运行时应无振动和噪声。9 设备显影.漂洗后应进行烘干处理，温度控制范围宜在60。180，控温精度应为 2,10,结束后应对基片进行目检 整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥 应无微粒。污点或瑕疵，显影合格的基片应均匀、线条应整齐、应无残胶.无毛刺.