5、7,显 影.台5.7.1、显影台的安装应符合下列规定。1。搬运时应防撞防抖，不得直接拖动,2.应通过调节四个地脚高度,使得真空吸盘呈水平状态，并应用水平仪进行测试和确认,3,显影、清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接、4.应接入压缩空气,氮气及真空三种气路。冲洗用纯水压力应为0、13MPa,0、35MPa,5.设备的排液管必须接入废液管道 废液管道必须通向废液处理池。6。存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液,7.应核查设备的氮气欠压保护，真空保护.设备急停报警功能是否正常.承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa.5，7。2 显影台的调试及试运行应符合下列规定,1，应先连接好显影液供应管道 去离子水管道，2 开机后设置好工艺液体的温度。液体温度应在10,30.间可调、应调节好喷头喷溅压力 其调节范围应在0.14，7,104Pa间.3，应设定好真空口及盘旋转速度。显影时间,漂洗时间,冲洗时间以及主轴转速,并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤,4，应将已曝光的基片放入片盒,然后将片盒放入片盒卡槽位置、5，应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的 启动,按钮 系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影.清洗操作 6，进行显影 漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护.工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干、7 机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片、8。设备运行时应无振动和噪声,9 设备显影、漂洗后应进行烘干处理 温度控制范围宜在60、180.控温精度应为、2 10.结束后应对基片进行目检 整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥,应无微粒,污点或瑕疵,显影合格的基片应均匀。线条应整齐.应无残胶，无毛刺，