5,7。显。影 台5.7，1.显影台的安装应符合下列规定.1、搬运时应防撞防抖.不得直接拖动，2。应通过调节四个地脚高度、使得真空吸盘呈水平状态 并应用水平仪进行测试和确认，3 显影。清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接。4，应接入压缩空气。氮气及真空三种气路,冲洗用纯水压力应为0 13MPa.0,35MPa，5，设备的排液管必须接入废液管道 废液管道必须通向废液处理池 6、存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液,7。应核查设备的氮气欠压保护，真空保护.设备急停报警功能是否正常 承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa,5.7,2、显影台的调试及试运行应符合下列规定，1 应先连接好显影液供应管道，去离子水管道.2，开机后设置好工艺液体的温度 液体温度应在10,30、间可调.应调节好喷头喷溅压力 其调节范围应在0。14、7,104Pa间，3、应设定好真空口及盘旋转速度 显影时间，漂洗时间。冲洗时间以及主轴转速.并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤,4.应将已曝光的基片放入片盒,然后将片盒放入片盒卡槽位置，5.应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的、启动.按钮。系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影,清洗操作.6 进行显影 漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护 工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干 7.机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片 8.设备运行时应无振动和噪声 9.设备显影.漂洗后应进行烘干处理.温度控制范围宜在60 180、控温精度应为、2 10.结束后应对基片进行目检,整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥 应无微粒 污点或瑕疵、显影合格的基片应均匀、线条应整齐，应无残胶 无毛刺