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- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 条文说明
- 1 总 则
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 6.1 一般规定
- 6.2 芯片粘片机
- 6.3 芯片共晶焊机
- 6.4 共 晶 炉
- 6.5 引线键合机
- 6.6 倒装焊机
- 6.8 选择性涂覆机
- 6.9 平行缝焊机
- 6.11 激光焊机
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 8 工程验收
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6 9、平行缝焊机6、9.2，本条规定了平行缝焊机的调试及试运行要求、3 在开启真空泵后干燥箱内的气体压力会迅速下降、在大气压力下干燥箱的密封门会紧紧贴在干燥箱的密封法兰上，真空计也会有明显的示值变化,若在开启真空泵一分钟后发现真空计的示值仍在大气压力附近.干燥箱的密封门能够轻松打开,请立即关闭真空泵.并检查真空系统密封的可靠性、然后与供应商联系 在没有确认故障已得到可靠排除之前不要尝试再次开启真空泵,否则会造成真空泵长时间在大气压附近超负荷工作而缩短真空泵的寿命。4.烘烤温度不可过高,否则可能造成密封圈热损伤。影响密封效果、