6、7、等离子清洗机6,7、1 等离子清洗机的安装应符合下列规定、1.设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上.并应配有衬垫，2 应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座。6,7.2.等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定、1、启动真空泵,运行时噪声 振动应符合要求 腔体真空度可在规定时间内降到规定值、2。箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品.3，接入各种工作气体。并应按设备的要求调节气压并试触发。电离时工作气体的颜色应符合要求。4。应设置清洗功率，清洗时间,清洗顺序 5。应使用不同的工作气体对样品进行清洗、再取出样品进行清洗效果检定、应满足要求.