6，7,等离子清洗机6,7 1，等离子清洗机的安装应符合下列规定.1 设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上，并应配有衬垫、2 应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座,6,7。2,等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定,1,启动真空泵.运行时噪声 振动应符合要求 腔体真空度可在规定时间内降到规定值.2.箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品 3.接入各种工作气体。并应按设备的要求调节气压并试触发，电离时工作气体的颜色应符合要求 4 应设置清洗功率.清洗时间 清洗顺序，5。应使用不同的工作气体对样品进行清洗,再取出样品进行清洗效果检定.应满足要求，