6、7,等离子清洗机6，7，1,等离子清洗机的安装应符合下列规定 1 设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上。并应配有衬垫、2 应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座，6，7、2 等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定 1，启动真空泵 运行时噪声、振动应符合要求，腔体真空度可在规定时间内降到规定值 2，箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品。3。接入各种工作气体，并应按设备的要求调节气压并试触发 电离时工作气体的颜色应符合要求、4，应设置清洗功率.清洗时间,清洗顺序.5 应使用不同的工作气体对样品进行清洗.再取出样品进行清洗效果检定、应满足要求。