6，7.等离子清洗机6,7、1、等离子清洗机的安装应符合下列规定，1。设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上，并应配有衬垫。2，应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座。6、7.2，等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定 1.启动真空泵,运行时噪声 振动应符合要求 腔体真空度可在规定时间内降到规定值,2.箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品,3。接入各种工作气体,并应按设备的要求调节气压并试触发，电离时工作气体的颜色应符合要求，4、应设置清洗功率。清洗时间，清洗顺序、5、应使用不同的工作气体对样品进行清洗.再取出样品进行清洗效果检定,应满足要求,