6，7、等离子清洗机6 7.1 等离子清洗机的安装应符合下列规定。1，设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上，并应配有衬垫。2 应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座，6，7.2，等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定、1，启动真空泵,运行时噪声 振动应符合要求，腔体真空度可在规定时间内降到规定值 2.箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品。3，接入各种工作气体、并应按设备的要求调节气压并试触发,电离时工作气体的颜色应符合要求，4。应设置清洗功率，清洗时间 清洗顺序 5、应使用不同的工作气体对样品进行清洗，再取出样品进行清洗效果检定 应满足要求.