6,7.等离子清洗机6。7。1。等离子清洗机的安装应符合下列规定 1.设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上、并应配有衬垫。2、应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座,6.7,2.等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定、1.启动真空泵。运行时噪声。振动应符合要求，腔体真空度可在规定时间内降到规定值,2 箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品 3,接入各种工作气体，并应按设备的要求调节气压并试触发，电离时工作气体的颜色应符合要求、4.应设置清洗功率，清洗时间。清洗顺序。5.应使用不同的工作气体对样品进行清洗,再取出样品进行清洗效果检定，应满足要求、