6.7、等离子清洗机6，7,1，等离子清洗机的安装应符合下列规定.1。设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上.并应配有衬垫.2 应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座,6。7 2.等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定、1.启动真空泵、运行时噪声，振动应符合要求、腔体真空度可在规定时间内降到规定值.2、箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品，3 接入各种工作气体 并应按设备的要求调节气压并试触发 电离时工作气体的颜色应符合要求。4，应设置清洗功率。清洗时间。清洗顺序、5.应使用不同的工作气体对样品进行清洗 再取出样品进行清洗效果检定,应满足要求。