6，7，等离子清洗机6。7 1,等离子清洗机的安装应符合下列规定。1，设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上。并应配有衬垫，2、应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座、6。7,2。等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定 1,启动真空泵。运行时噪声.振动应符合要求。腔体真空度可在规定时间内降到规定值 2，箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品、3 接入各种工作气体 并应按设备的要求调节气压并试触发.电离时工作气体的颜色应符合要求,4、应设置清洗功率 清洗时间,清洗顺序,5,应使用不同的工作气体对样品进行清洗，再取出样品进行清洗效果检定、应满足要求、