"大量文字复制"等功能仅限VIP会员使用，您可以选择以下方式解决：
1、选择少量文本，重新进行复制操作
2、开通VIP，享受下载海量资源、文字任意复制等特权
- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 条文说明
- 1 总 则
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5.1 一般规定
- 5.2 磁控溅射镀膜机
- 5.3 真空蒸发镀膜机
- 5.4 化学气相淀积系统
- 5.5 旋涂及热板系统
- 5.6 曝 光 机
- 5.7 显 影 台
- 5.8 反应离子刻蚀机
- 5.9 化学机械抛光机
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 8 工程验收
热门资源
更多>
- 钢制衬氟塑料闸阀 JB/T 11488-2013
- 蒸馏法海水淡化工程设计规范 HY/T 115-2008
- 镍及镍合金制压力容器 JB/T 4756-2006
- 气体疏液阀 JB/T 13599-2018
- 货用施工升降机 第1部分：运载装置可进人的升降机 GB/T 10054.1-2021
- 起重机械安全规程 第1部分：总则 GB/T 6067.1-2010
- 民用运输机场应急救护设施设备配备 GB 18040-2019
- 氟塑料衬里压力容器 通用技术条件 GB/T 26501-2011
- 烧结机械设备安装规范[附条文说明] GB 50723-2011
- 承压设备损伤模式识别 GB/T 30579-2022
5。5，旋涂及热板系统5。5 1、本条规定了旋涂及热板系统的安装要求，1.设备的水平直接影响到高速旋盘能否稳定运转以及涂胶的厚度均匀性。因此匀胶承片台的水平至关重要、3，为阻止胶液飞溅到设备外。高速旋盘上方应安装可靠的防护罩 6、设备应具有断电保护装置,防止因失电造成基片飞出等故障、