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- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 条文说明
- 1 总 则
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5.1 一般规定
- 5.2 磁控溅射镀膜机
- 5.3 真空蒸发镀膜机
- 5.4 化学气相淀积系统
- 5.5 旋涂及热板系统
- 5.6 曝 光 机
- 5.7 显 影 台
- 5.8 反应离子刻蚀机
- 5.9 化学机械抛光机
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 8 工程验收
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5。5,旋涂及热板系统5.5.1.本条规定了旋涂及热板系统的安装要求.1,设备的水平直接影响到高速旋盘能否稳定运转以及涂胶的厚度均匀性 因此匀胶承片台的水平至关重要。3.为阻止胶液飞溅到设备外.高速旋盘上方应安装可靠的防护罩，6.设备应具有断电保护装置、防止因失电造成基片飞出等故障、