5、5 旋涂及热板系统5。5.1，旋涂及热板系统的安装应符合下列规定，1,应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平，2 应设置与工艺线排风管道口相连接的接口,3，高速旋盘上方应安装可靠的防护罩 4。工作台应设有减振装置,5.自动滴胶系统应由专业人员安装好，储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求,6，断电保护装置应运行正常.5.5 2，旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定，1、应准备好光刻胶.基片等材料及必要的工具、2,待旋涂基片平整度应小于0、05mm。3、运行设备,设备自动开合旋涂盖功能,涂胶单元真空吸附功能,旋转涂胶功能，顶针上下运动功能,加热部件真空吸附功能应正常.涂胶台应润滑良好、4，应将吸管插入光刻胶瓶中.并将光刻胶放入设备自带化学品柜内 并应设置好胶阀压力。滴胶时间。旋涂转速、旋涂时间和热板温度，5。应分别设定烘烤温度为60，120。和180。待温度稳定后.应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴.Y轴相交的四点等五处进行温度测量,然后计算平均值。所测各点的温度值与平均值相比较时、允许偏差应为,1 5，6，应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作，其他参数应保持一致 每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤.7，应用膜厚测量仪测量基片的上，下,左,右,中五个点的光刻胶厚度，片内和片间厚度允许偏差应为 5