5。5。旋涂及热板系统5 5 1 旋涂及热板系统的安装应符合下列规定。1.应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平，2 应设置与工艺线排风管道口相连接的接口 3。高速旋盘上方应安装可靠的防护罩，4，工作台应设有减振装置,5，自动滴胶系统应由专业人员安装好。储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求、6,断电保护装置应运行正常 5。5，2,旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定。1.应准备好光刻胶.基片等材料及必要的工具，2，待旋涂基片平整度应小于0，05mm。3 运行设备。设备自动开合旋涂盖功能,涂胶单元真空吸附功能。旋转涂胶功能.顶针上下运动功能 加热部件真空吸附功能应正常，涂胶台应润滑良好。4.应将吸管插入光刻胶瓶中、并将光刻胶放入设备自带化学品柜内.并应设置好胶阀压力、滴胶时间 旋涂转速 旋涂时间和热板温度,5,应分别设定烘烤温度为60 120 和180。待温度稳定后、应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴.Y轴相交的四点等五处进行温度测量.然后计算平均值.所测各点的温度值与平均值相比较时、允许偏差应为、1,5。6,应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作。其他参数应保持一致，每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤.7、应用膜厚测量仪测量基片的上。下,左,右.中五个点的光刻胶厚度,片内和片间厚度允许偏差应为,5、