5，5。旋涂及热板系统5,5。1、旋涂及热板系统的安装应符合下列规定。1 应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平，2、应设置与工艺线排风管道口相连接的接口 3、高速旋盘上方应安装可靠的防护罩、4、工作台应设有减振装置 5、自动滴胶系统应由专业人员安装好.储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求,6，断电保护装置应运行正常 5.5，2、旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定、1，应准备好光刻胶、基片等材料及必要的工具,2 待旋涂基片平整度应小于0，05mm.3、运行设备.设备自动开合旋涂盖功能,涂胶单元真空吸附功能,旋转涂胶功能。顶针上下运动功能，加热部件真空吸附功能应正常。涂胶台应润滑良好，4、应将吸管插入光刻胶瓶中,并将光刻胶放入设备自带化学品柜内.并应设置好胶阀压力，滴胶时间，旋涂转速,旋涂时间和热板温度 5，应分别设定烘烤温度为60,120 和180,待温度稳定后,应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴。Y轴相交的四点等五处进行温度测量。然后计算平均值。所测各点的温度值与平均值相比较时,允许偏差应为、1.5.6，应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作、其他参数应保持一致，每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤、7。应用膜厚测量仪测量基片的上，下 左,右。中五个点的光刻胶厚度、片内和片间厚度允许偏差应为.5，