5、5、旋涂及热板系统5、5、1.旋涂及热板系统的安装应符合下列规定,1，应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平,2。应设置与工艺线排风管道口相连接的接口 3.高速旋盘上方应安装可靠的防护罩。4,工作台应设有减振装置、5.自动滴胶系统应由专业人员安装好，储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求,6.断电保护装置应运行正常、5。5。2、旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定,1。应准备好光刻胶,基片等材料及必要的工具 2 待旋涂基片平整度应小于0。05mm,3 运行设备。设备自动开合旋涂盖功能、涂胶单元真空吸附功能 旋转涂胶功能.顶针上下运动功能,加热部件真空吸附功能应正常、涂胶台应润滑良好 4，应将吸管插入光刻胶瓶中 并将光刻胶放入设备自带化学品柜内。并应设置好胶阀压力，滴胶时间。旋涂转速，旋涂时间和热板温度，5.应分别设定烘烤温度为60.120,和180.待温度稳定后.应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴 Y轴相交的四点等五处进行温度测量、然后计算平均值.所测各点的温度值与平均值相比较时 允许偏差应为.1,5 6.应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作，其他参数应保持一致.每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤.7,应用膜厚测量仪测量基片的上。下,左。右、中五个点的光刻胶厚度 片内和片间厚度允许偏差应为，5.