5.5 旋涂及热板系统5,5、1。旋涂及热板系统的安装应符合下列规定.1.应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平.2、应设置与工艺线排风管道口相连接的接口，3 高速旋盘上方应安装可靠的防护罩，4,工作台应设有减振装置 5,自动滴胶系统应由专业人员安装好,储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求、6、断电保护装置应运行正常,5。5。2 旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定。1、应准备好光刻胶 基片等材料及必要的工具、2,待旋涂基片平整度应小于0.05mm.3、运行设备.设备自动开合旋涂盖功能。涂胶单元真空吸附功能,旋转涂胶功能,顶针上下运动功能 加热部件真空吸附功能应正常 涂胶台应润滑良好，4、应将吸管插入光刻胶瓶中.并将光刻胶放入设备自带化学品柜内。并应设置好胶阀压力、滴胶时间，旋涂转速，旋涂时间和热板温度，5，应分别设定烘烤温度为60，120.和180.待温度稳定后.应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴.Y轴相交的四点等五处进行温度测量，然后计算平均值.所测各点的温度值与平均值相比较时、允许偏差应为。1 5、6.应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作，其他参数应保持一致、每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤.7.应用膜厚测量仪测量基片的上,下,左,右 中五个点的光刻胶厚度.片内和片间厚度允许偏差应为，5,