5，5 旋涂及热板系统5、5,1。旋涂及热板系统的安装应符合下列规定,1 应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平。2，应设置与工艺线排风管道口相连接的接口.3。高速旋盘上方应安装可靠的防护罩、4。工作台应设有减振装置 5，自动滴胶系统应由专业人员安装好。储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求，6,断电保护装置应运行正常、5。5.2，旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定 1。应准备好光刻胶。基片等材料及必要的工具、2 待旋涂基片平整度应小于0 05mm,3。运行设备。设备自动开合旋涂盖功能、涂胶单元真空吸附功能,旋转涂胶功能.顶针上下运动功能。加热部件真空吸附功能应正常。涂胶台应润滑良好,4、应将吸管插入光刻胶瓶中.并将光刻胶放入设备自带化学品柜内，并应设置好胶阀压力。滴胶时间。旋涂转速。旋涂时间和热板温度.5，应分别设定烘烤温度为60、120 和180,待温度稳定后，应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴.Y轴相交的四点等五处进行温度测量 然后计算平均值、所测各点的温度值与平均值相比较时 允许偏差应为.1.5,6,应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作，其他参数应保持一致 每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤，7,应用膜厚测量仪测量基片的上 下,左。右，中五个点的光刻胶厚度，片内和片间厚度允许偏差应为、5.