5。5,旋涂及热板系统5 5,1 旋涂及热板系统的安装应符合下列规定。1。应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平,2，应设置与工艺线排风管道口相连接的接口 3，高速旋盘上方应安装可靠的防护罩.4。工作台应设有减振装置，5.自动滴胶系统应由专业人员安装好,储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求、6、断电保护装置应运行正常。5 5，2.旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定。1 应准备好光刻胶、基片等材料及必要的工具、2。待旋涂基片平整度应小于0,05mm。3,运行设备，设备自动开合旋涂盖功能。涂胶单元真空吸附功能.旋转涂胶功能.顶针上下运动功能.加热部件真空吸附功能应正常,涂胶台应润滑良好，4。应将吸管插入光刻胶瓶中、并将光刻胶放入设备自带化学品柜内。并应设置好胶阀压力。滴胶时间 旋涂转速 旋涂时间和热板温度、5、应分别设定烘烤温度为60，120,和180，待温度稳定后，应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴.Y轴相交的四点等五处进行温度测量,然后计算平均值。所测各点的温度值与平均值相比较时、允许偏差应为、1.5.6、应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作 其他参数应保持一致，每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤。7 应用膜厚测量仪测量基片的上。下、左。右，中五个点的光刻胶厚度,片内和片间厚度允许偏差应为 5、