5,5，旋涂及热板系统5，5 1 旋涂及热板系统的安装应符合下列规定.1.应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平。2，应设置与工艺线排风管道口相连接的接口 3 高速旋盘上方应安装可靠的防护罩，4,工作台应设有减振装置，5,自动滴胶系统应由专业人员安装好、储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求,6。断电保护装置应运行正常。5。5.2,旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定。1、应准备好光刻胶，基片等材料及必要的工具 2,待旋涂基片平整度应小于0,05mm,3。运行设备、设备自动开合旋涂盖功能.涂胶单元真空吸附功能 旋转涂胶功能.顶针上下运动功能。加热部件真空吸附功能应正常,涂胶台应润滑良好、4.应将吸管插入光刻胶瓶中。并将光刻胶放入设备自带化学品柜内.并应设置好胶阀压力 滴胶时间，旋涂转速,旋涂时间和热板温度,5，应分别设定烘烤温度为60，120。和180。待温度稳定后,应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴，Y轴相交的四点等五处进行温度测量 然后计算平均值，所测各点的温度值与平均值相比较时、允许偏差应为。1、5,6,应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作.其他参数应保持一致.每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤,7，应用膜厚测量仪测量基片的上.下。左,右。中五个点的光刻胶厚度。片内和片间厚度允许偏差应为，5，