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4.11.低温共烧陶瓷烧结炉4。11、1、低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定、1,应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台,2.排气管道应垂直放置.并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口.排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口,4,11.2,低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定。1 空炉测试控温精度.温度均匀性时,应满足相关要求,设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常、2。设定炉温应在30min内从25,升到300 在300。应保温2h、然后应在1h内降到25,3 运行烘炉程序时、载片台升降应平稳。各加热元件,温控仪及供。排风应工作正常,4,应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序,应在操作界面设置四路进气的预热温度。炉腔压力,气流量,5。应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上、启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况 6 烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压.气流量的控制、温度曲线跟踪等情况 应正常工作,异常时烧结炉应自动启动报警保护功能.7,烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损、翘曲,分层.起泡,掉皮等缺陷。
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