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4 11,低温共烧陶瓷烧结炉4,11、1,低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定 1、应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台.2 排气管道应垂直放置,并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口,排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口 4 11,2、低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定,1.空炉测试控温精度 温度均匀性时,应满足相关要求,设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常,2,设定炉温应在30min内从25,升到300,在300,应保温2h。然后应在1h内降到25,3.运行烘炉程序时,载片台升降应平稳.各加热元件.温控仪及供、排风应工作正常。4,应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序,应在操作界面设置四路进气的预热温度、炉腔压力。气流量,5 应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上、启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况。6,烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压 气流量的控制。温度曲线跟踪等情况.应正常工作。异常时烧结炉应自动启动报警保护功能.7、烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损。翘曲。分层,起泡.掉皮等缺陷。
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