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4 11、低温共烧陶瓷烧结炉4。11.1 低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定。1 应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台。2,排气管道应垂直放置 并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口,排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口、4 11 2.低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定.1.空炉测试控温精度,温度均匀性时。应满足相关要求 设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常,2.设定炉温应在30min内从25、升到300 在300,应保温2h。然后应在1h内降到25,3。运行烘炉程序时。载片台升降应平稳。各加热元件.温控仪及供、排风应工作正常,4,应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序。应在操作界面设置四路进气的预热温度,炉腔压力 气流量.5 应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上 启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况.6 烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压。气流量的控制,温度曲线跟踪等情况。应正常工作.异常时烧结炉应自动启动报警保护功能。7、烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损,翘曲,分层,起泡.掉皮等缺陷,
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