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4、11,低温共烧陶瓷烧结炉4,11.1,低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定。1.应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台,2、排气管道应垂直放置,并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口.排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口、4 11 2,低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定.1、空炉测试控温精度、温度均匀性时,应满足相关要求。设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常,2 设定炉温应在30min内从25,升到300,在300,应保温2h、然后应在1h内降到25 3。运行烘炉程序时、载片台升降应平稳。各加热元件。温控仪及供、排风应工作正常。4.应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序。应在操作界面设置四路进气的预热温度 炉腔压力。气流量,5,应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上 启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况。6 烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压。气流量的控制,温度曲线跟踪等情况.应正常工作,异常时烧结炉应自动启动报警保护功能 7.烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损 翘曲,分层 起泡 掉皮等缺陷。

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