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4,11,低温共烧陶瓷烧结炉4、11,1,低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定,1。应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台,2,排气管道应垂直放置。并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口,排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口.4.11。2,低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定,1,空炉测试控温精度,温度均匀性时.应满足相关要求。设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常、2 设定炉温应在30min内从25,升到300。在300.应保温2h。然后应在1h内降到25。3,运行烘炉程序时、载片台升降应平稳 各加热元件、温控仪及供.排风应工作正常.4,应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序.应在操作界面设置四路进气的预热温度.炉腔压力 气流量 5。应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上,启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况,6。烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压.气流量的控制。温度曲线跟踪等情况、应正常工作,异常时烧结炉应自动启动报警保护功能。7 烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损,翘曲,分层 起泡.掉皮等缺陷、
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