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4 11。低温共烧陶瓷烧结炉4 11、1,低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定,1,应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台。2,排气管道应垂直放置,并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口,排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口,4,11,2、低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定,1。空炉测试控温精度、温度均匀性时。应满足相关要求,设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常,2。设定炉温应在30min内从25 升到300.在300 应保温2h。然后应在1h内降到25。3。运行烘炉程序时.载片台升降应平稳.各加热元件、温控仪及供,排风应工作正常.4 应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序、应在操作界面设置四路进气的预热温度,炉腔压力,气流量。5 应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上 启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况.6,烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压 气流量的控制、温度曲线跟踪等情况,应正常工作.异常时烧结炉应自动启动报警保护功能、7、烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损,翘曲。分层、起泡 掉皮等缺陷、
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