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4。11 低温共烧陶瓷烧结炉4,11、1、低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定,1、应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台,2,排气管道应垂直放置,并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口,排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口。4。11、2。低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定、1,空炉测试控温精度.温度均匀性时,应满足相关要求,设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常,2,设定炉温应在30min内从25.升到300.在300,应保温2h.然后应在1h内降到25.3 运行烘炉程序时,载片台升降应平稳.各加热元件、温控仪及供 排风应工作正常、4、应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序。应在操作界面设置四路进气的预热温度.炉腔压力 气流量 5。应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上.启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况、6,烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压、气流量的控制,温度曲线跟踪等情况 应正常工作,异常时烧结炉应自动启动报警保护功能 7,烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损,翘曲。分层、起泡,掉皮等缺陷、
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