4。11 低温共烧陶瓷烧结炉4、11。1 低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定、1。应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台 2。排气管道应垂直放置。并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口.排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口.4 11 2、低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定 1 空炉测试控温精度,温度均匀性时，应满足相关要求，设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常。2、设定炉温应在30min内从25,升到300。在300,应保温2h、然后应在1h内降到25。3,运行烘炉程序时、载片台升降应平稳。各加热元件 温控仪及供.排风应工作正常 4，应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序。应在操作界面设置四路进气的预热温度.炉腔压力 气流量，5、应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上、启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况.6 烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压,气流量的控制。温度曲线跟踪等情况。应正常工作。异常时烧结炉应自动启动报警保护功能 7、烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损 翘曲、分层、起泡.掉皮等缺陷,