5,8.反应离子刻蚀机5,8,1、本条规定了反应离子刻蚀机的安装要求。1,为保证刻蚀均匀性,设备应安装在平整的地面上、承片台保持水平,2 一般排风指机械泵泵油的抽排，酸碱排风指刻蚀腔室有毒气体和生成物的排放，3,设备具有高压电 有一定的危险性、安装时需要装配一条可靠的接地线、同时安装好专用的设备总电源空气开关 7,使用危险气体，在安装危险气体泄漏报警装置的同时。还应提供危险气体泄漏应急处理预案、5 8，2。本条规定了反应离子刻蚀机的调试及试运行要求。1。做掩模窗口的目的是为了把不需要刻蚀的地方保护起来 6。设备具备光学发射光谱法终点检测系统,能够在反应离子刻蚀过程中判断刻蚀终点.