5,8,反应离子刻蚀机5，8。1.本条规定了反应离子刻蚀机的安装要求，1、为保证刻蚀均匀性.设备应安装在平整的地面上，承片台保持水平，2 一般排风指机械泵泵油的抽排。酸碱排风指刻蚀腔室有毒气体和生成物的排放。3,设备具有高压电，有一定的危险性.安装时需要装配一条可靠的接地线,同时安装好专用的设备总电源空气开关、7.使用危险气体。在安装危险气体泄漏报警装置的同时.还应提供危险气体泄漏应急处理预案。5.8，2，本条规定了反应离子刻蚀机的调试及试运行要求。1、做掩模窗口的目的是为了把不需要刻蚀的地方保护起来 6，设备具备光学发射光谱法终点检测系统，能够在反应离子刻蚀过程中判断刻蚀终点、