5,8，反应离子刻蚀机5.8。1。本条规定了反应离子刻蚀机的安装要求,1、为保证刻蚀均匀性 设备应安装在平整的地面上.承片台保持水平 2，一般排风指机械泵泵油的抽排.酸碱排风指刻蚀腔室有毒气体和生成物的排放、3,设备具有高压电,有一定的危险性,安装时需要装配一条可靠的接地线.同时安装好专用的设备总电源空气开关,7.使用危险气体，在安装危险气体泄漏报警装置的同时、还应提供危险气体泄漏应急处理预案、5 8。2 本条规定了反应离子刻蚀机的调试及试运行要求.1.做掩模窗口的目的是为了把不需要刻蚀的地方保护起来、6 设备具备光学发射光谱法终点检测系统。能够在反应离子刻蚀过程中判断刻蚀终点。