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- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 条文说明
- 1 总 则
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 5.1 一般规定
- 5.2 磁控溅射镀膜机
- 5.3 真空蒸发镀膜机
- 5.4 化学气相淀积系统
- 5.5 旋涂及热板系统
- 5.6 曝 光 机
- 5.7 显 影 台
- 5.8 反应离子刻蚀机
- 5.9 化学机械抛光机
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 8 工程验收
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5 8，反应离子刻蚀机5，8,1 本条规定了反应离子刻蚀机的安装要求 1，为保证刻蚀均匀性，设备应安装在平整的地面上.承片台保持水平。2 一般排风指机械泵泵油的抽排。酸碱排风指刻蚀腔室有毒气体和生成物的排放，3.设备具有高压电。有一定的危险性、安装时需要装配一条可靠的接地线，同时安装好专用的设备总电源空气开关 7.使用危险气体、在安装危险气体泄漏报警装置的同时,还应提供危险气体泄漏应急处理预案，5,8.2、本条规定了反应离子刻蚀机的调试及试运行要求.1。做掩模窗口的目的是为了把不需要刻蚀的地方保护起来。6，设备具备光学发射光谱法终点检测系统.能够在反应离子刻蚀过程中判断刻蚀终点.