5。8.反应离子刻蚀机5。8，1。本条规定了反应离子刻蚀机的安装要求.1，为保证刻蚀均匀性。设备应安装在平整的地面上.承片台保持水平,2。一般排风指机械泵泵油的抽排。酸碱排风指刻蚀腔室有毒气体和生成物的排放、3.设备具有高压电、有一定的危险性,安装时需要装配一条可靠的接地线 同时安装好专用的设备总电源空气开关。7 使用危险气体，在安装危险气体泄漏报警装置的同时 还应提供危险气体泄漏应急处理预案.5 8,2 本条规定了反应离子刻蚀机的调试及试运行要求,1,做掩模窗口的目的是为了把不需要刻蚀的地方保护起来,6，设备具备光学发射光谱法终点检测系统、能够在反应离子刻蚀过程中判断刻蚀终点，