5,9 化学机械抛光机5.9。1.化学机械抛光机的安装应符合下列规定 1.应通过调节四个地脚高度来调平抛光台,2。抛光废液回收处理及处理后排放管道应与厂房的排污系统连接,5，9.2，化学机械抛光机的调试及试运行应符合下列规定,1。应准备好抛光液,长度.宽度为100mm 100mm的待抛光专用测试样片 并将循环水及抛光液馈入系统，废液处理系统应工作正常,2.应在抛光头及抛光台相应位置粘上反射薄膜 应用非接触式转速表对准反射薄膜测试并调节抛光头及抛光台的转速，3、压力以0.005MPa为一档时,应依次将抛光头压力从0，005MPa调到0.05MPa 应观测压力传感器测量值，测试结果应满足设备技术要求、4 清洗待抛光基片，并应固定到抛光台上，5、应设置抛光压力，抛光转速、抛光液滴注流量。运行抛光程序,6、应在磨抛后的样片磨抛面上取五个大小分别为0。3mm。0.3mm的点域 应用原子力显微镜测出这五个局部点的粗糙度.然后应计算平均值。所测各点的粗糙度与平均值相比较时、允许偏差应为 3，7、应以样片中心为厚度采样测试点并测量磨抛前。后的样片厚度.磨抛时应启动终点检测功能。并应将磨抛前 后的样片厚度测量值进行比较.过抛光厚度应小于50nm