5.6、曝、光、机5。6,1、曝光机的安装应符合下列规定.1,设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动.不得有振动，2.设备安装前应定制基座用来防振，安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平、并应用水平仪进行检测确认，3 激光光路及曝光光源必须安装防护门。罩等保护装置.4,激光光源与主设备接连的管路应无弯曲、5.设备应装配二级过滤和二级调压气阀.安装压缩空气时应先接入二级过滤阀 再接入二级调压阀，最后再接入设备，5、6.2、曝光机的调试及试运行应符合下列规定，1.应准备好光刻版、已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液。掩模版应有双面薄膜保护、并应置于版盒中、2.曝光系统应具有光强调节装置.光源调节应灵活可靠、曝光均匀性应随分辨率要求而定.不应大于2，5，3，应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置。选择。读入光罩，模式，机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上、4 打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量承片台上，下.左、右。中五处的光刻强度 均匀性应优于、5,并应根据测量强度设置好光刻能量 5 准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻。光刻后应及时显影，6.应观察显影清洗后基片上的光刻图形，整个基片图形应均匀 无损伤,无连条，图形边缘应整齐 无锯齿和毛刺。