5、6.曝 光，机5 6、1 曝光机的安装应符合下列规定、1 设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动.不得有振动,2，设备安装前应定制基座用来防振.安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平,并应用水平仪进行检测确认,3 激光光路及曝光光源必须安装防护门,罩等保护装置，4，激光光源与主设备接连的管路应无弯曲,5.设备应装配二级过滤和二级调压气阀。安装压缩空气时应先接入二级过滤阀、再接入二级调压阀,最后再接入设备 5、6.2、曝光机的调试及试运行应符合下列规定。1，应准备好光刻版。已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液，掩模版应有双面薄膜保护,并应置于版盒中,2。曝光系统应具有光强调节装置.光源调节应灵活可靠。曝光均匀性应随分辨率要求而定 不应大于2、5、3.应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置，选择 读入光罩、模式 机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上，4.打开曝光机汞灯预热30min后 应用紫外线测量仪测量承片台上.下、左,右，中五处的光刻强度.均匀性应优于。5 并应根据测量强度设置好光刻能量.5、准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻 光刻后应及时显影.6,应观察显影清洗后基片上的光刻图形。整个基片图形应均匀。无损伤，无连条.图形边缘应整齐。无锯齿和毛刺.