5 6 曝，光,机5。6.1.曝光机的安装应符合下列规定，1。设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动，不得有振动,2,设备安装前应定制基座用来防振。安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平,并应用水平仪进行检测确认.3，激光光路及曝光光源必须安装防护门.罩等保护装置，4，激光光源与主设备接连的管路应无弯曲,5.设备应装配二级过滤和二级调压气阀。安装压缩空气时应先接入二级过滤阀,再接入二级调压阀,最后再接入设备,5 6、2,曝光机的调试及试运行应符合下列规定，1。应准备好光刻版.已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液。掩模版应有双面薄膜保护,并应置于版盒中，2.曝光系统应具有光强调节装置、光源调节应灵活可靠。曝光均匀性应随分辨率要求而定,不应大于2,5.3 应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置，选择、读入光罩.模式 机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上。4，打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量承片台上 下.左。右。中五处的光刻强度.均匀性应优于 5、并应根据测量强度设置好光刻能量.5、准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及时显影,6。应观察显影清洗后基片上的光刻图形 整个基片图形应均匀，无损伤 无连条 图形边缘应整齐、无锯齿和毛刺、