5.6、曝、光,机5.6.1 曝光机的安装应符合下列规定、1 设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动 不得有振动，2，设备安装前应定制基座用来防振,安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平，并应用水平仪进行检测确认,3.激光光路及曝光光源必须安装防护门，罩等保护装置 4、激光光源与主设备接连的管路应无弯曲。5.设备应装配二级过滤和二级调压气阀.安装压缩空气时应先接入二级过滤阀 再接入二级调压阀。最后再接入设备。5 6.2.曝光机的调试及试运行应符合下列规定,1、应准备好光刻版 已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液、掩模版应有双面薄膜保护。并应置于版盒中.2。曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠 曝光均匀性应随分辨率要求而定.不应大于2、5，3。应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置.选择 读入光罩，模式.机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上。4、打开曝光机汞灯预热30min后。应用紫外线测量仪测量承片台上，下 左。右。中五处的光刻强度,均匀性应优于 5。并应根据测量强度设置好光刻能量 5 准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及时显影 6.应观察显影清洗后基片上的光刻图形 整个基片图形应均匀。无损伤、无连条。图形边缘应整齐,无锯齿和毛刺.