5 6。曝 光.机5。6.1。曝光机的安装应符合下列规定,1、设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动.不得有振动.2,设备安装前应定制基座用来防振,安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平,并应用水平仪进行检测确认。3，激光光路及曝光光源必须安装防护门.罩等保护装置、4 激光光源与主设备接连的管路应无弯曲。5，设备应装配二级过滤和二级调压气阀、安装压缩空气时应先接入二级过滤阀 再接入二级调压阀.最后再接入设备,5 6 2、曝光机的调试及试运行应符合下列规定，1、应准备好光刻版 已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液、掩模版应有双面薄膜保护，并应置于版盒中,2 曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠,曝光均匀性应随分辨率要求而定，不应大于2、5。3、应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置 选择.读入光罩、模式 机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上、4、打开曝光机汞灯预热30min后 应用紫外线测量仪测量承片台上，下 左，右。中五处的光刻强度.均匀性应优于、5,并应根据测量强度设置好光刻能量。5。准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻。光刻后应及时显影.6，应观察显影清洗后基片上的光刻图形.整个基片图形应均匀，无损伤.无连条 图形边缘应整齐、无锯齿和毛刺、