5 6.曝，光、机5、6。1。曝光机的安装应符合下列规定。1.设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动，不得有振动，2、设备安装前应定制基座用来防振,安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平、并应用水平仪进行检测确认，3。激光光路及曝光光源必须安装防护门 罩等保护装置。4.激光光源与主设备接连的管路应无弯曲 5 设备应装配二级过滤和二级调压气阀,安装压缩空气时应先接入二级过滤阀 再接入二级调压阀.最后再接入设备,5，6.2，曝光机的调试及试运行应符合下列规定 1.应准备好光刻版.已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液.掩模版应有双面薄膜保护.并应置于版盒中，2。曝光系统应具有光强调节装置.光源调节应灵活可靠。曝光均匀性应随分辨率要求而定。不应大于2 5 3 应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置.选择 读入光罩,模式 机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上、4、打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量承片台上、下 左。右。中五处的光刻强度。均匀性应优于，5、并应根据测量强度设置好光刻能量 5.准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻、光刻后应及时显影.6。应观察显影清洗后基片上的光刻图形.整个基片图形应均匀、无损伤。无连条,图形边缘应整齐、无锯齿和毛刺、