5,6。曝，光、机5.6.1,曝光机的安装应符合下列规定、1 设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动,不得有振动 2 设备安装前应定制基座用来防振，安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平.并应用水平仪进行检测确认,3。激光光路及曝光光源必须安装防护门，罩等保护装置,4。激光光源与主设备接连的管路应无弯曲。5 设备应装配二级过滤和二级调压气阀，安装压缩空气时应先接入二级过滤阀.再接入二级调压阀。最后再接入设备，5，6。2、曝光机的调试及试运行应符合下列规定。1。应准备好光刻版。已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液,掩模版应有双面薄膜保护、并应置于版盒中,2.曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠。曝光均匀性应随分辨率要求而定,不应大于2 5，3.应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置.选择,读入光罩 模式,机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上，4，打开曝光机汞灯预热30min后 应用紫外线测量仪测量承片台上.下.左 右。中五处的光刻强度.均匀性应优于,5，并应根据测量强度设置好光刻能量、5.准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻,光刻后应及时显影。6,应观察显影清洗后基片上的光刻图形，整个基片图形应均匀，无损伤，无连条、图形边缘应整齐、无锯齿和毛刺