5。6。曝.光。机5 6，1 曝光机的安装应符合下列规定 1。设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动。不得有振动.2,设备安装前应定制基座用来防振,安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平。并应用水平仪进行检测确认,3。激光光路及曝光光源必须安装防护门.罩等保护装置、4、激光光源与主设备接连的管路应无弯曲.5。设备应装配二级过滤和二级调压气阀、安装压缩空气时应先接入二级过滤阀 再接入二级调压阀.最后再接入设备。5 6。2，曝光机的调试及试运行应符合下列规定。1,应准备好光刻版 已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液,掩模版应有双面薄膜保护.并应置于版盒中.2.曝光系统应具有光强调节装置 光源调节应灵活可靠,曝光均匀性应随分辨率要求而定 不应大于2.5,3.应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置，选择 读入光罩.模式、机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上，4，打开曝光机汞灯预热30min后,应用紫外线测量仪测量承片台上 下 左,右,中五处的光刻强度.均匀性应优于.5，并应根据测量强度设置好光刻能量，5，准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻,光刻后应及时显影,6,应观察显影清洗后基片上的光刻图形。整个基片图形应均匀，无损伤.无连条。图形边缘应整齐，无锯齿和毛刺，