5,6 曝 光、机5,6，1,曝光机的安装应符合下列规定 1，设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动。不得有振动.2,设备安装前应定制基座用来防振。安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平、并应用水平仪进行检测确认、3.激光光路及曝光光源必须安装防护门 罩等保护装置，4.激光光源与主设备接连的管路应无弯曲,5 设备应装配二级过滤和二级调压气阀，安装压缩空气时应先接入二级过滤阀,再接入二级调压阀 最后再接入设备,5,6、2、曝光机的调试及试运行应符合下列规定。1、应准备好光刻版，已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液.掩模版应有双面薄膜保护。并应置于版盒中，2 曝光系统应具有光强调节装置.光源调节应灵活可靠。曝光均匀性应随分辨率要求而定,不应大于2 5。3 应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置、选择、读入光罩。模式、机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上。4，打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量承片台上。下。左、右，中五处的光刻强度 均匀性应优于。5、并应根据测量强度设置好光刻能量、5 准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻 光刻后应及时显影、6 应观察显影清洗后基片上的光刻图形、整个基片图形应均匀，无损伤.无连条、图形边缘应整齐 无锯齿和毛刺,