5、6。曝 光，机5、6。1 曝光机的安装应符合下列规定。1、设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动、不得有振动、2 设备安装前应定制基座用来防振，安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平。并应用水平仪进行检测确认。3。激光光路及曝光光源必须安装防护门,罩等保护装置 4，激光光源与主设备接连的管路应无弯曲，5 设备应装配二级过滤和二级调压气阀。安装压缩空气时应先接入二级过滤阀 再接入二级调压阀。最后再接入设备 5,6。2、曝光机的调试及试运行应符合下列规定、1.应准备好光刻版、已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液,掩模版应有双面薄膜保护。并应置于版盒中,2.曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠，曝光均匀性应随分辨率要求而定.不应大于2。5.3,应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置.选择.读入光罩，模式,机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上。4。打开曝光机汞灯预热30min后 应用紫外线测量仪测量承片台上。下，左,右。中五处的光刻强度，均匀性应优于、5。并应根据测量强度设置好光刻能量，5，准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻、光刻后应及时显影，6.应观察显影清洗后基片上的光刻图形,整个基片图形应均匀,无损伤，无连条,图形边缘应整齐,无锯齿和毛刺、