5，2,磁控溅射镀膜机5 2，1.磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定 1。循环冷却水路进,出口水管的绝缘管长度不应小于1m，射频磁控溅射设备的冷却水路进。出口水管的绝缘管长度不应小于5m,2、循环冷却水温度应在15 25,压力应满足设备使用要求.3,设备接地电阻应小于4Ω 5.2，2,磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定 1、待溅射基板应清洗.并应在烘干后安装到机内的载片台上。2、设备通电后,应检查设备操作软件是否工作正常,3。应检查各运动部件是否正常.并应对各运动部件进行位置校正、4,应安装好溅射靶材。靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ、5.应检测设备管路接口是否漏气、具备加热功能的管路应先空载烘烤.6、启动机械泵、分子泵、低温泵时，运行状态应正常.噪声,振动应符合要求、真空室真空度可在规定时间内降到规定值 本底真空的压力值应控制在2,10,4Pa以下、极限真空度应可达到4。10，5Pa,7 设备正常运行时，溅射室的极限压力增长不得超过3,8 应通入工艺气体并确保送气量平稳 9.应按规定设置溅射程序及溅射功率，溅射气压、10.应在保证溅射室真空度，设备正常起辉的情况下运行溅射程序 11,在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂，并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置、校正完成后,应进行不间断的基板传送测试 传送路径应包括所有腔室 12，溅射程序自动完成后取出已溅膜基板，测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求,