5、2 磁控溅射镀膜机5、2.1，磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定 1.循环冷却水路进，出口水管的绝缘管长度不应小于1m 射频磁控溅射设备的冷却水路进、出口水管的绝缘管长度不应小于5m。2，循环冷却水温度应在15、25,压力应满足设备使用要求.3,设备接地电阻应小于4Ω、5、2 2，磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定、1 待溅射基板应清洗.并应在烘干后安装到机内的载片台上,2，设备通电后 应检查设备操作软件是否工作正常 3、应检查各运动部件是否正常 并应对各运动部件进行位置校正.4,应安装好溅射靶材，靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ。5，应检测设备管路接口是否漏气。具备加热功能的管路应先空载烘烤，6.启动机械泵.分子泵、低温泵时 运行状态应正常 噪声 振动应符合要求、真空室真空度可在规定时间内降到规定值 本底真空的压力值应控制在2，10、4Pa以下、极限真空度应可达到4,10、5Pa，7。设备正常运行时,溅射室的极限压力增长不得超过3.8.应通入工艺气体并确保送气量平稳，9 应按规定设置溅射程序及溅射功率。溅射气压、10,应在保证溅射室真空度，设备正常起辉的情况下运行溅射程序 11 在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂.并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置。校正完成后、应进行不间断的基板传送测试、传送路径应包括所有腔室。12，溅射程序自动完成后取出已溅膜基板、测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求。