5、2、磁控溅射镀膜机5，2。1、磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定 1,循环冷却水路进，出口水管的绝缘管长度不应小于1m，射频磁控溅射设备的冷却水路进.出口水管的绝缘管长度不应小于5m.2 循环冷却水温度应在15,25，压力应满足设备使用要求，3 设备接地电阻应小于4Ω 5,2.2 磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定、1。待溅射基板应清洗 并应在烘干后安装到机内的载片台上。2。设备通电后、应检查设备操作软件是否工作正常，3。应检查各运动部件是否正常。并应对各运动部件进行位置校正,4，应安装好溅射靶材.靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ，5,应检测设备管路接口是否漏气。具备加热功能的管路应先空载烘烤、6，启动机械泵。分子泵 低温泵时、运行状态应正常,噪声、振动应符合要求，真空室真空度可在规定时间内降到规定值。本底真空的压力值应控制在2，10.4Pa以下，极限真空度应可达到4,10.5Pa.7、设备正常运行时。溅射室的极限压力增长不得超过3、8,应通入工艺气体并确保送气量平稳，9.应按规定设置溅射程序及溅射功率、溅射气压,10,应在保证溅射室真空度 设备正常起辉的情况下运行溅射程序.11、在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂。并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置。校正完成后,应进行不间断的基板传送测试 传送路径应包括所有腔室.12 溅射程序自动完成后取出已溅膜基板。测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求、