5。2。磁控溅射镀膜机5 2、1 磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定。1、循环冷却水路进。出口水管的绝缘管长度不应小于1m、射频磁控溅射设备的冷却水路进、出口水管的绝缘管长度不应小于5m、2、循环冷却水温度应在15，25，压力应满足设备使用要求、3.设备接地电阻应小于4Ω，5,2,2，磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定，1,待溅射基板应清洗，并应在烘干后安装到机内的载片台上。2.设备通电后,应检查设备操作软件是否工作正常、3,应检查各运动部件是否正常、并应对各运动部件进行位置校正、4.应安装好溅射靶材、靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ。5 应检测设备管路接口是否漏气,具备加热功能的管路应先空载烘烤。6,启动机械泵，分子泵、低温泵时。运行状态应正常、噪声,振动应符合要求，真空室真空度可在规定时间内降到规定值、本底真空的压力值应控制在2.10 4Pa以下、极限真空度应可达到4。10,5Pa,7。设备正常运行时.溅射室的极限压力增长不得超过3，8.应通入工艺气体并确保送气量平稳,9,应按规定设置溅射程序及溅射功率 溅射气压、10,应在保证溅射室真空度 设备正常起辉的情况下运行溅射程序，11.在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂，并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置,校正完成后,应进行不间断的基板传送测试,传送路径应包括所有腔室，12.溅射程序自动完成后取出已溅膜基板，测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求，