5，2,磁控溅射镀膜机5、2、1,磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定、1,循环冷却水路进.出口水管的绝缘管长度不应小于1m,射频磁控溅射设备的冷却水路进,出口水管的绝缘管长度不应小于5m、2,循环冷却水温度应在15，25 压力应满足设备使用要求.3,设备接地电阻应小于4Ω.5,2，2、磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1、待溅射基板应清洗、并应在烘干后安装到机内的载片台上，2 设备通电后,应检查设备操作软件是否工作正常.3、应检查各运动部件是否正常、并应对各运动部件进行位置校正,4、应安装好溅射靶材 靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ,5 应检测设备管路接口是否漏气。具备加热功能的管路应先空载烘烤，6 启动机械泵，分子泵 低温泵时，运行状态应正常,噪声。振动应符合要求 真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2,10.4Pa以下，极限真空度应可达到4,10 5Pa，7.设备正常运行时、溅射室的极限压力增长不得超过3.8。应通入工艺气体并确保送气量平稳,9.应按规定设置溅射程序及溅射功率。溅射气压。10 应在保证溅射室真空度 设备正常起辉的情况下运行溅射程序。11。在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂 并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置,校正完成后。应进行不间断的基板传送测试 传送路径应包括所有腔室,12.溅射程序自动完成后取出已溅膜基板.测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求。