5 2。磁控溅射镀膜机5 2。1 磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定、1、循环冷却水路进，出口水管的绝缘管长度不应小于1m.射频磁控溅射设备的冷却水路进 出口水管的绝缘管长度不应小于5m,2。循环冷却水温度应在15.25。压力应满足设备使用要求，3 设备接地电阻应小于4Ω,5，2 2。磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1。待溅射基板应清洗。并应在烘干后安装到机内的载片台上，2 设备通电后，应检查设备操作软件是否工作正常。3.应检查各运动部件是否正常。并应对各运动部件进行位置校正 4,应安装好溅射靶材。靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ,5.应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的管路应先空载烘烤,6.启动机械泵、分子泵，低温泵时，运行状态应正常。噪声 振动应符合要求，真空室真空度可在规定时间内降到规定值。本底真空的压力值应控制在2.10、4Pa以下、极限真空度应可达到4,10、5Pa,7.设备正常运行时.溅射室的极限压力增长不得超过3 8、应通入工艺气体并确保送气量平稳，9.应按规定设置溅射程序及溅射功率,溅射气压.10。应在保证溅射室真空度.设备正常起辉的情况下运行溅射程序.11。在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂。并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置、校正完成后、应进行不间断的基板传送测试 传送路径应包括所有腔室,12,溅射程序自动完成后取出已溅膜基板。测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求。