5,2，磁控溅射镀膜机5，2、1、磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定，1 循环冷却水路进.出口水管的绝缘管长度不应小于1m、射频磁控溅射设备的冷却水路进,出口水管的绝缘管长度不应小于5m、2、循环冷却水温度应在15，25 压力应满足设备使用要求,3。设备接地电阻应小于4Ω 5，2 2、磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定，1 待溅射基板应清洗 并应在烘干后安装到机内的载片台上,2、设备通电后，应检查设备操作软件是否工作正常，3。应检查各运动部件是否正常，并应对各运动部件进行位置校正 4、应安装好溅射靶材。靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ，5、应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的管路应先空载烘烤,6.启动机械泵.分子泵 低温泵时。运行状态应正常、噪声。振动应符合要求。真空室真空度可在规定时间内降到规定值 本底真空的压力值应控制在2，10。4Pa以下。极限真空度应可达到4 10、5Pa。7 设备正常运行时.溅射室的极限压力增长不得超过3.8.应通入工艺气体并确保送气量平稳。9。应按规定设置溅射程序及溅射功率.溅射气压。10,应在保证溅射室真空度，设备正常起辉的情况下运行溅射程序 11.在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂。并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置、校正完成后，应进行不间断的基板传送测试.传送路径应包括所有腔室，12、溅射程序自动完成后取出已溅膜基板 测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求,