5.2,磁控溅射镀膜机5.2 1。磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定、1。循环冷却水路进、出口水管的绝缘管长度不应小于1m、射频磁控溅射设备的冷却水路进.出口水管的绝缘管长度不应小于5m,2，循环冷却水温度应在15 25,压力应满足设备使用要求。3.设备接地电阻应小于4Ω 5。2 2 磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1。待溅射基板应清洗,并应在烘干后安装到机内的载片台上,2.设备通电后 应检查设备操作软件是否工作正常,3.应检查各运动部件是否正常.并应对各运动部件进行位置校正.4 应安装好溅射靶材。靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ 5 应检测设备管路接口是否漏气。具备加热功能的管路应先空载烘烤,6,启动机械泵、分子泵,低温泵时 运行状态应正常，噪声.振动应符合要求,真空室真空度可在规定时间内降到规定值。本底真空的压力值应控制在2，10、4Pa以下，极限真空度应可达到4.10,5Pa、7 设备正常运行时.溅射室的极限压力增长不得超过3 8。应通入工艺气体并确保送气量平稳,9，应按规定设置溅射程序及溅射功率,溅射气压，10，应在保证溅射室真空度。设备正常起辉的情况下运行溅射程序.11、在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂。并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置,校正完成后、应进行不间断的基板传送测试 传送路径应包括所有腔室.12,溅射程序自动完成后取出已溅膜基板、测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求。