5 2.磁控溅射镀膜机5、2、1、磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定、1、循环冷却水路进。出口水管的绝缘管长度不应小于1m。射频磁控溅射设备的冷却水路进。出口水管的绝缘管长度不应小于5m，2 循环冷却水温度应在15，25。压力应满足设备使用要求 3，设备接地电阻应小于4Ω.5。2，2。磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定、1,待溅射基板应清洗,并应在烘干后安装到机内的载片台上 2、设备通电后,应检查设备操作软件是否工作正常，3。应检查各运动部件是否正常,并应对各运动部件进行位置校正，4.应安装好溅射靶材，靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ，5，应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的管路应先空载烘烤、6。启动机械泵,分子泵、低温泵时,运行状态应正常，噪声.振动应符合要求.真空室真空度可在规定时间内降到规定值,本底真空的压力值应控制在2 10，4Pa以下，极限真空度应可达到4 10.5Pa。7、设备正常运行时，溅射室的极限压力增长不得超过3.8、应通入工艺气体并确保送气量平稳.9 应按规定设置溅射程序及溅射功率，溅射气压、10,应在保证溅射室真空度.设备正常起辉的情况下运行溅射程序，11，在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂。并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置、校正完成后、应进行不间断的基板传送测试 传送路径应包括所有腔室，12,溅射程序自动完成后取出已溅膜基板，测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求,