5,2 磁控溅射镀膜机5 2.1，磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定、1,循环冷却水路进 出口水管的绝缘管长度不应小于1m.射频磁控溅射设备的冷却水路进 出口水管的绝缘管长度不应小于5m.2。循环冷却水温度应在15、25，压力应满足设备使用要求、3，设备接地电阻应小于4Ω。5,2、2。磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定。1，待溅射基板应清洗 并应在烘干后安装到机内的载片台上。2，设备通电后,应检查设备操作软件是否工作正常,3,应检查各运动部件是否正常，并应对各运动部件进行位置校正 4,应安装好溅射靶材.靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ.5,应检测设备管路接口是否漏气.具备加热功能的管路应先空载烘烤、6,启动机械泵，分子泵.低温泵时 运行状态应正常 噪声.振动应符合要求。真空室真空度可在规定时间内降到规定值 本底真空的压力值应控制在2，10,4Pa以下，极限真空度应可达到4、10,5Pa，7，设备正常运行时,溅射室的极限压力增长不得超过3,8。应通入工艺气体并确保送气量平稳、9.应按规定设置溅射程序及溅射功率,溅射气压.10。应在保证溅射室真空度。设备正常起辉的情况下运行溅射程序、11 在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂.并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置.校正完成后、应进行不间断的基板传送测试,传送路径应包括所有腔室.12、溅射程序自动完成后取出已溅膜基板、测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求