5 2，磁控溅射镀膜机5 2、1。磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定、1,循环冷却水路进、出口水管的绝缘管长度不应小于1m，射频磁控溅射设备的冷却水路进.出口水管的绝缘管长度不应小于5m，2，循环冷却水温度应在15.25.压力应满足设备使用要求。3、设备接地电阻应小于4Ω 5 2 2，磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定。1,待溅射基板应清洗 并应在烘干后安装到机内的载片台上,2,设备通电后,应检查设备操作软件是否工作正常 3 应检查各运动部件是否正常 并应对各运动部件进行位置校正，4、应安装好溅射靶材,靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ 5，应检测设备管路接口是否漏气.具备加热功能的管路应先空载烘烤,6,启动机械泵,分子泵，低温泵时.运行状态应正常.噪声、振动应符合要求，真空室真空度可在规定时间内降到规定值。本底真空的压力值应控制在2。10，4Pa以下，极限真空度应可达到4。10、5Pa。7 设备正常运行时、溅射室的极限压力增长不得超过3。8。应通入工艺气体并确保送气量平稳。9 应按规定设置溅射程序及溅射功率，溅射气压 10、应在保证溅射室真空度。设备正常起辉的情况下运行溅射程序、11。在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂、并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置 校正完成后 应进行不间断的基板传送测试。传送路径应包括所有腔室.12。溅射程序自动完成后取出已溅膜基板,测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求,