5，2。磁控溅射镀膜机5.2，1.磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定.1，循环冷却水路进，出口水管的绝缘管长度不应小于1m、射频磁控溅射设备的冷却水路进.出口水管的绝缘管长度不应小于5m.2,循环冷却水温度应在15.25。压力应满足设备使用要求.3,设备接地电阻应小于4Ω、5，2、2,磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1。待溅射基板应清洗,并应在烘干后安装到机内的载片台上.2，设备通电后。应检查设备操作软件是否工作正常。3,应检查各运动部件是否正常，并应对各运动部件进行位置校正、4，应安装好溅射靶材 靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ 5，应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的管路应先空载烘烤.6、启动机械泵,分子泵,低温泵时、运行状态应正常.噪声、振动应符合要求、真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2、10.4Pa以下 极限真空度应可达到4 10.5Pa，7、设备正常运行时、溅射室的极限压力增长不得超过3。8、应通入工艺气体并确保送气量平稳。9。应按规定设置溅射程序及溅射功率。溅射气压,10,应在保证溅射室真空度。设备正常起辉的情况下运行溅射程序。11，在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂 并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置 校正完成后,应进行不间断的基板传送测试.传送路径应包括所有腔室。12,溅射程序自动完成后取出已溅膜基板，测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求