3.5 设备调试与试运行3，5 1,本条列出了微组装生产设备单机和联线试运行应具备的环境,动力 安全设施等通用技术条件、只有这些条件均具备时方可进行单机和联线试运行,3,为保证管路不被湿气,油气及粉尘侵蚀,以影响设备功能的正常使用。故压缩气体及工艺气体通入前应进行去油。去湿和去杂质处理 3，5 2.微组装设备布线检查的内容包括、电气线路相位应正确,接线端子应牢固、可靠.导线与电缆的布设应按照线缆安装图进行.穿线孔处应加保护措施.导线和电缆长度应留有适当余量.3，5.3 设备安全性测试的内容有，1、绝缘电阻测试。应将绝缘电阻测试仪的正极端接至设备相线端.负极端接至设备机壳、设备的电源输入端与机壳之间,电源开关置于接通位置.用绝缘电阻测试仪施加500V直流电压,稳定10s.有绝缘要求的外部带电端子与机壳之间的绝缘电阻在正常大气条件下不应小于100MΩ，在潮湿环境条件下应大于2MΩ.2.耐压测试。应将耐压测试仪的高压端接至设备相线端、接地端接至设备机壳进行耐压测试,除使用低压元 器.件的电子.电气电路或另有规定外。设备电源输入端子与机壳之间。电源开关置于接通位置,有绝缘要求的外部带电端子与机壳之间.以及其他有绝缘要求的载流电路与机壳之间应有足够的绝缘抗电强度 设备抗电强度应符合、测量、控制和试验室用电气设备的安全要求、第1部分.通用要求,GB。4793 1的规定，试验时.不应发生击穿.飞弧和闪烁等现象 3。泄漏电流测试。当开路电压超过规定的安全限值 36V.时，应用一个串接了1500Ω电阻的电流表与设备接地导体串联后测量设备的泄漏电流。不应大于5mA、3、5 4.根据微组装生产设备需要 选择380V或220V交流电源供电,设备应具有良好的电源适应性、以保证设备在电源电压或频率变化时能正常工作,若无其他规定，当电源电压在额定值的90、110 电源频率在额定值的95,105。范围内变化时。设备应满足规定的性能指标要求 当电源电压为额定值的80 时、设备应能工作.性能指标允许下降到规定值 当输入电压为额定值的115 时，设备不应损坏.3 5.5,设备不应产生有损于人员听力和心力的强噪声,对于限制噪声以避免对器件生产产生影响的设备,噪声测试按产品规范或合同的具体要求进行。应采用声级计在设备水平面四个方向上的离地高度1.2m、距离设备1m处进行设备噪声测试,声级计用A声级,慢速档,然后计算平均值,3.5。7、第4章，第7章对不同工艺过程中的各单机设备的安装、调试及试运行的要求作出了具体规定.