3.基本规定3.1。施工条件3。1。1。微组装设备安装前 洁净厂房应符合下列规定、1。应空态验收合格、净化空调系统应连续正常运行24h以上，2。温度宜为20 26.3、相对湿度宜为30、70。4，地坪承载能力应满足设备承载要求 5，净空高度应满足设备安装要求.6、厂房入口的人身净化设施应已启用,7。应具备设备搬入口.8 消防设施应已通过专项验收 可以启用 9 防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收，10 应有符合要求的电源 气源、水源和接地端子,11.应设置员工安全疏散通道、3.1。2,微组装设备安装应具备下列技术文件,1.设备安装平面图，2,设备装箱清单，3,设备制造商提供的设备安装,运行,维护技术文件及安装技术参数.3,1，3.进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证。特殊工种应按有关规定持证上岗，3.1，4、设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范 GB.50472的有关规定，3。1 5、施工用的机具应符合现行国家标准 微电子生产设备安装工程施工及验收规范 GB，50467的有关规定，