3 基本规定3,1。施工条件3,1,1 微组装设备安装前,洁净厂房应符合下列规定。1 应空态验收合格,净化空调系统应连续正常运行24h以上,2 温度宜为20。26,3，相对湿度宜为30、70,4,地坪承载能力应满足设备承载要求.5，净空高度应满足设备安装要求。6。厂房入口的人身净化设施应已启用.7。应具备设备搬入口.8、消防设施应已通过专项验收.可以启用,9 防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收.10，应有符合要求的电源。气源，水源和接地端子，11,应设置员工安全疏散通道.3，1、2.微组装设备安装应具备下列技术文件，1.设备安装平面图，2.设备装箱清单 3.设备制造商提供的设备安装,运行 维护技术文件及安装技术参数、3.1.3。进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证.特殊工种应按有关规定持证上岗 3。1 4、设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范,GB.50472的有关规定，3。1,5，施工用的机具应符合现行国家标准。微电子生产设备安装工程施工及验收规范.GB、50467的有关规定，