3、基本规定3。1.施工条件3.1,1。微组装设备安装前.洁净厂房应符合下列规定 1。应空态验收合格，净化空调系统应连续正常运行24h以上 2，温度宜为20.26，3,相对湿度宜为30.70 4 地坪承载能力应满足设备承载要求、5.净空高度应满足设备安装要求。6 厂房入口的人身净化设施应已启用,7，应具备设备搬入口.8.消防设施应已通过专项验收。可以启用，9.防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收.10 应有符合要求的电源,气源、水源和接地端子.11,应设置员工安全疏散通道,3。1.2.微组装设备安装应具备下列技术文件,1,设备安装平面图，2 设备装箱清单，3,设备制造商提供的设备安装,运行,维护技术文件及安装技术参数,3，1，3,进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证.特殊工种应按有关规定持证上岗,3.1。4、设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准,电子工业洁净厂房设计规范,GB,50472的有关规定，3,1,5，施工用的机具应符合现行国家标准、微电子生产设备安装工程施工及验收规范.GB 50467的有关规定、