3。基本规定3。1,施工条件3，1 1、微组装设备安装前、洁净厂房应符合下列规定.1，应空态验收合格,净化空调系统应连续正常运行24h以上，2、温度宜为20，26。3,相对湿度宜为30,70,4。地坪承载能力应满足设备承载要求，5、净空高度应满足设备安装要求,6，厂房入口的人身净化设施应已启用,7，应具备设备搬入口,8.消防设施应已通过专项验收，可以启用。9,防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收，10 应有符合要求的电源.气源，水源和接地端子,11、应设置员工安全疏散通道,3 1 2 微组装设备安装应具备下列技术文件，1、设备安装平面图.2.设备装箱清单、3，设备制造商提供的设备安装。运行、维护技术文件及安装技术参数。3，1，3、进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证。特殊工种应按有关规定持证上岗，3,1,4、设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准。电子工业洁净厂房设计规范、GB，50472的有关规定。3。1，5.施工用的机具应符合现行国家标准 微电子生产设备安装工程施工及验收规范。GB、50467的有关规定。