3,基本规定3，1、施工条件3,1 1 微组装设备安装前，洁净厂房应符合下列规定 1 应空态验收合格 净化空调系统应连续正常运行24h以上.2,温度宜为20、26 3 相对湿度宜为30,70 4，地坪承载能力应满足设备承载要求.5,净空高度应满足设备安装要求、6 厂房入口的人身净化设施应已启用、7.应具备设备搬入口,8，消防设施应已通过专项验收，可以启用.9 防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收,10,应有符合要求的电源、气源 水源和接地端子 11，应设置员工安全疏散通道.3、1。2,微组装设备安装应具备下列技术文件 1、设备安装平面图 2,设备装箱清单。3、设备制造商提供的设备安装、运行.维护技术文件及安装技术参数，3。1，3,进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证,特殊工种应按有关规定持证上岗、3,1。4,设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范,GB 50472的有关规定，3.1 5 施工用的机具应符合现行国家标准 微电子生产设备安装工程施工及验收规范、GB 50467的有关规定。