3,基本规定3。1,施工条件3,1。1,微组装设备安装前,洁净厂房应符合下列规定，1、应空态验收合格、净化空调系统应连续正常运行24h以上.2。温度宜为20.26。3、相对湿度宜为30 70.4、地坪承载能力应满足设备承载要求 5、净空高度应满足设备安装要求 6，厂房入口的人身净化设施应已启用 7 应具备设备搬入口 8 消防设施应已通过专项验收,可以启用,9、防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收.10。应有符合要求的电源。气源，水源和接地端子。11.应设置员工安全疏散通道、3,1 2 微组装设备安装应具备下列技术文件。1 设备安装平面图，2，设备装箱清单。3，设备制造商提供的设备安装 运行 维护技术文件及安装技术参数。3,1、3.进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证.特殊工种应按有关规定持证上岗 3，1.4、设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范,GB。50472的有关规定，3,1 5、施工用的机具应符合现行国家标准。微电子生产设备安装工程施工及验收规范，GB，50467的有关规定