3、基本规定3 1 施工条件3 1.1，微组装设备安装前 洁净厂房应符合下列规定。1。应空态验收合格,净化空调系统应连续正常运行24h以上 2 温度宜为20 26，3、相对湿度宜为30，70 4 地坪承载能力应满足设备承载要求,5，净空高度应满足设备安装要求.6、厂房入口的人身净化设施应已启用。7,应具备设备搬入口。8、消防设施应已通过专项验收、可以启用.9.防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收。10.应有符合要求的电源。气源.水源和接地端子,11、应设置员工安全疏散通道.3.1，2，微组装设备安装应具备下列技术文件。1。设备安装平面图,2 设备装箱清单.3,设备制造商提供的设备安装，运行 维护技术文件及安装技术参数。3,1、3.进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证.特殊工种应按有关规定持证上岗，3 1。4 设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范 GB.50472的有关规定 3.1。5.施工用的机具应符合现行国家标准 微电子生产设备安装工程施工及验收规范.GB、50467的有关规定，