3，基本规定3 1。施工条件3.1。1 微组装设备安装前 洁净厂房应符合下列规定。1 应空态验收合格。净化空调系统应连续正常运行24h以上,2。温度宜为20。26、3 相对湿度宜为30,70 4.地坪承载能力应满足设备承载要求、5 净空高度应满足设备安装要求 6,厂房入口的人身净化设施应已启用。7、应具备设备搬入口,8,消防设施应已通过专项验收,可以启用、9。防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收、10,应有符合要求的电源。气源 水源和接地端子、11 应设置员工安全疏散通道。3、1，2 微组装设备安装应具备下列技术文件，1,设备安装平面图、2、设备装箱清单、3。设备制造商提供的设备安装 运行 维护技术文件及安装技术参数 3.1。3。进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证 特殊工种应按有关规定持证上岗 3，1。4。设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准、电子工业洁净厂房设计规范，GB，50472的有关规定,3、1。5 施工用的机具应符合现行国家标准,微电子生产设备安装工程施工及验收规范,GB、50467的有关规定。