3。基本规定3 1.施工条件3。1。1 微组装设备安装前.洁净厂房应符合下列规定、1。应空态验收合格.净化空调系统应连续正常运行24h以上 2 温度宜为20.26 3 相对湿度宜为30,70。4 地坪承载能力应满足设备承载要求.5 净空高度应满足设备安装要求 6。厂房入口的人身净化设施应已启用，7，应具备设备搬入口.8，消防设施应已通过专项验收，可以启用.9.防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收，10、应有符合要求的电源。气源 水源和接地端子 11 应设置员工安全疏散通道 3 1。2。微组装设备安装应具备下列技术文件.1,设备安装平面图，2,设备装箱清单。3.设备制造商提供的设备安装,运行。维护技术文件及安装技术参数。3、1,3。进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证，特殊工种应按有关规定持证上岗,3。1,4 设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范。GB、50472的有关规定 3，1,5,施工用的机具应符合现行国家标准、微电子生产设备安装工程施工及验收规范 GB.50467的有关规定,