3，基本规定3,1.施工条件3,1。1,微组装设备安装前。洁净厂房应符合下列规定。1.应空态验收合格 净化空调系统应连续正常运行24h以上，2，温度宜为20、26，3 相对湿度宜为30、70.4，地坪承载能力应满足设备承载要求。5 净空高度应满足设备安装要求、6.厂房入口的人身净化设施应已启用,7.应具备设备搬入口，8.消防设施应已通过专项验收 可以启用,9、防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收,10 应有符合要求的电源，气源 水源和接地端子.11、应设置员工安全疏散通道，3 1 2 微组装设备安装应具备下列技术文件,1,设备安装平面图 2,设备装箱清单，3。设备制造商提供的设备安装 运行 维护技术文件及安装技术参数。3.1、3、进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证。特殊工种应按有关规定持证上岗 3 1 4、设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准,电子工业洁净厂房设计规范,GB、50472的有关规定、3。1。5.施工用的机具应符合现行国家标准，微电子生产设备安装工程施工及验收规范,GB,50467的有关规定.