5.5,还原尾气干法回收5、5.2、多晶硅还原生长过程中往往采用一些强化生产的手段。提高硅棒的生长速度，降低还原直接电耗.这也随之产生了大量的无定形硅。这些无定型硅若得不到及时回收,将对后续工序的压缩机.泵等设备造成损害、5,5，5、对于输送易燃、易爆.有毒。有腐蚀性物料的设备应考虑其使用的安全性，防止泄漏,