5。2 三氯氢硅合成和四氯化硅氢化5、2.1.目前国内多晶硅企业有的自建合成装置,有的靠市场供应补充,有的调整生产工艺将氢化和合成工序合二为一.因此各个企业应根据各自情况来决定采用何种方式补充三氯氢硅.5 2 4.三氯氢硅合成的反应气体中含有粉尘 金属氯化物等杂质、这些物质有可能堵塞设备和管道 影响生产系统的运行 造成停车等问题、因此需要采取合适的除尘工艺除去该类物质、减少系统阻塞的可能性.保证较长的运行时间,减少停车检修时间,5 2,7。目前国内主流的四氯化硅处理方式为高温氢化。冷氢化 各有优缺点.高温氢化工艺单位产品耗电量高、冷氢化工艺虽然单位产品耗电量低,但是会引入新杂质、与之配套的精馏提纯工艺较为复杂,蒸汽消耗量较高。所以各个企业应根据各自情况综合比较后再决定采用何种氢化工艺.5、2。9.为保证冷氢化工序生产连续长期运行 应定期排放固体含量很高的残液.防止其堵塞管道和设备,由于残液中含有硅粉。金属氯化物等物质 不适合长距离输送、而残液需要回收有用组分 避免造成环境污染,因此冷氢化装置应配套残液回收装置。且就近配置。5 2,11,对于输送易燃,易爆,有毒 有腐蚀性物料的设备应考虑其使用的安全性 防止泄漏,
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