5,2.三氯氢硅合成和四氯化硅氢化5 2,1，目前国内多晶硅企业有的自建合成装置.有的靠市场供应补充。有的调整生产工艺将氢化和合成工序合二为一.因此各个企业应根据各自情况来决定采用何种方式补充三氯氢硅.5,2.4.三氯氢硅合成的反应气体中含有粉尘。金属氯化物等杂质 这些物质有可能堵塞设备和管道.影响生产系统的运行.造成停车等问题、因此需要采取合适的除尘工艺除去该类物质，减少系统阻塞的可能性.保证较长的运行时间。减少停车检修时间,5,2、7。目前国内主流的四氯化硅处理方式为高温氢化,冷氢化.各有优缺点。高温氢化工艺单位产品耗电量高,冷氢化工艺虽然单位产品耗电量低，但是会引入新杂质.与之配套的精馏提纯工艺较为复杂、蒸汽消耗量较高，所以各个企业应根据各自情况综合比较后再决定采用何种氢化工艺.5 2。9。为保证冷氢化工序生产连续长期运行,应定期排放固体含量很高的残液 防止其堵塞管道和设备、由于残液中含有硅粉。金属氯化物等物质，不适合长距离输送 而残液需要回收有用组分、避免造成环境污染。因此冷氢化装置应配套残液回收装置.且就近配置，5 2,11 对于输送易燃、易爆，有毒、有腐蚀性物料的设备应考虑其使用的安全性、防止泄漏，