5 2。三氯氢硅合成和四氯化硅氢化5,2，1，目前国内多晶硅企业有的自建合成装置 有的靠市场供应补充 有的调整生产工艺将氢化和合成工序合二为一、因此各个企业应根据各自情况来决定采用何种方式补充三氯氢硅，5.2。4,三氯氢硅合成的反应气体中含有粉尘，金属氯化物等杂质。这些物质有可能堵塞设备和管道。影响生产系统的运行、造成停车等问题.因此需要采取合适的除尘工艺除去该类物质。减少系统阻塞的可能性 保证较长的运行时间.减少停车检修时间、5,2 7,目前国内主流的四氯化硅处理方式为高温氢化、冷氢化。各有优缺点.高温氢化工艺单位产品耗电量高.冷氢化工艺虽然单位产品耗电量低、但是会引入新杂质，与之配套的精馏提纯工艺较为复杂.蒸汽消耗量较高，所以各个企业应根据各自情况综合比较后再决定采用何种氢化工艺，5,2 9、为保证冷氢化工序生产连续长期运行.应定期排放固体含量很高的残液。防止其堵塞管道和设备、由于残液中含有硅粉，金属氯化物等物质 不适合长距离输送，而残液需要回收有用组分，避免造成环境污染。因此冷氢化装置应配套残液回收装置,且就近配置 5、2,11、对于输送易燃，易爆 有毒,有腐蚀性物料的设备应考虑其使用的安全性,防止泄漏。