5。2.三氯氢硅合成和四氯化硅氢化5。2、1。目前国内多晶硅企业有的自建合成装置 有的靠市场供应补充,有的调整生产工艺将氢化和合成工序合二为一、因此各个企业应根据各自情况来决定采用何种方式补充三氯氢硅、5.2.4。三氯氢硅合成的反应气体中含有粉尘.金属氯化物等杂质、这些物质有可能堵塞设备和管道.影响生产系统的运行.造成停车等问题,因此需要采取合适的除尘工艺除去该类物质。减少系统阻塞的可能性 保证较长的运行时间。减少停车检修时间、5。2 7、目前国内主流的四氯化硅处理方式为高温氢化.冷氢化，各有优缺点 高温氢化工艺单位产品耗电量高、冷氢化工艺虽然单位产品耗电量低 但是会引入新杂质，与之配套的精馏提纯工艺较为复杂 蒸汽消耗量较高,所以各个企业应根据各自情况综合比较后再决定采用何种氢化工艺,5.2.9.为保证冷氢化工序生产连续长期运行，应定期排放固体含量很高的残液。防止其堵塞管道和设备 由于残液中含有硅粉，金属氯化物等物质，不适合长距离输送,而残液需要回收有用组分,避免造成环境污染 因此冷氢化装置应配套残液回收装置、且就近配置，5、2,11，对于输送易燃。易爆.有毒 有腐蚀性物料的设备应考虑其使用的安全性。防止泄漏，