5.工艺设计5、1、一般规定5、1、1.三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原、提纯，干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成 工艺流程见图1.图1。三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图.多晶硅行业近年来发展迅速 其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升、每个主工艺都有几种工艺方案选择，为提高建设质量以及整个行业的技术水平.本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定,1，多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽。由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半，不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺 不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺、不同的建设规模，能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性 2.3.国家大力提倡循环经济发展模式。以建设资源节约型 环境友好型的美丽社会为目标、因此工厂建设中应做到安全可靠 环保节能.技术先进，经济合理.5 多晶硅生产是个较为复杂的系统工程,每个主工序的生产特点均有不同。如还原过程的一次转化率低 只有10,左右.大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统.干法回收应具备吸纳不同气量.不同组分还原尾气的能力。各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡，5.1、5.现行国家标准，多晶硅企业单位产品能源消耗限额.GB.29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗、蒸汽消耗，综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值 准入值，先进值的要求.新建项目至少达到限额准入值标准。本条规定各生产单元的蒸汽、电力及综合能耗不大于限额准入值，并达到先进值、目的是节约资源能源。5。1，8 多晶硅生产过程伴有氢气.三氯氢硅 二氯二氢硅 四氯化硅、氯化氢等危险化学品,对于输送易燃,易爆、有毒,有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性.防止泄漏