5 工艺设计5、1、一般规定5，1。1 三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原、提纯.干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成.工艺流程见图1。图1，三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图、多晶硅行业近年来发展迅速、其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升。每个主工艺都有几种工艺方案选择，为提高建设质量以及整个行业的技术水平,本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定、1。多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽,由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半 不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺,不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺,不同的建设规模 能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性、2 3 国家大力提倡循环经济发展模式。以建设资源节约型 环境友好型的美丽社会为目标。因此工厂建设中应做到安全可靠、环保节能.技术先进，经济合理 5,多晶硅生产是个较为复杂的系统工程,每个主工序的生产特点均有不同、如还原过程的一次转化率低 只有10,左右.大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统，干法回收应具备吸纳不同气量。不同组分还原尾气的能力 各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡，5,1.5.现行国家标准,多晶硅企业单位产品能源消耗限额,GB 29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗、蒸汽消耗.综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值.准入值，先进值的要求、新建项目至少达到限额准入值标准。本条规定各生产单元的蒸汽 电力及综合能耗不大于限额准入值 并达到先进值 目的是节约资源能源.5。1、8、多晶硅生产过程伴有氢气。三氯氢硅 二氯二氢硅.四氯化硅,氯化氢等危险化学品、对于输送易燃.易爆。有毒.有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性。防止泄漏、