5。工艺设计5、1、一般规定5,1.1、三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原 提纯、干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成.工艺流程见图1,图1，三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图,多晶硅行业近年来发展迅速 其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升，每个主工艺都有几种工艺方案选择.为提高建设质量以及整个行业的技术水平 本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定。1，多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽.由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半 不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺,不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺.不同的建设规模,能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性、2。3.国家大力提倡循环经济发展模式,以建设资源节约型。环境友好型的美丽社会为目标、因此工厂建设中应做到安全可靠，环保节能、技术先进、经济合理 5.多晶硅生产是个较为复杂的系统工程。每个主工序的生产特点均有不同、如还原过程的一次转化率低.只有10，左右 大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统 干法回收应具备吸纳不同气量 不同组分还原尾气的能力、各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡.5,1 5，现行国家标准，多晶硅企业单位产品能源消耗限额 GB,29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗。蒸汽消耗、综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值。准入值，先进值的要求。新建项目至少达到限额准入值标准.本条规定各生产单元的蒸汽、电力及综合能耗不大于限额准入值、并达到先进值 目的是节约资源能源、5,1、8.多晶硅生产过程伴有氢气,三氯氢硅,二氯二氢硅，四氯化硅、氯化氢等危险化学品。对于输送易燃。易爆,有毒 有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性，防止泄漏