5.工艺设计5 1。一般规定5，1 1，三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原.提纯 干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成,工艺流程见图1,图1。三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图.多晶硅行业近年来发展迅速.其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升、每个主工艺都有几种工艺方案选择，为提高建设质量以及整个行业的技术水平。本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定.1、多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽,由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半。不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺，不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺。不同的建设规模、能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性,2，3,国家大力提倡循环经济发展模式。以建设资源节约型.环境友好型的美丽社会为目标。因此工厂建设中应做到安全可靠,环保节能。技术先进、经济合理。5 多晶硅生产是个较为复杂的系统工程,每个主工序的生产特点均有不同。如还原过程的一次转化率低。只有10，左右、大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统、干法回收应具备吸纳不同气量.不同组分还原尾气的能力。各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡,5。1。5,现行国家标准,多晶硅企业单位产品能源消耗限额、GB、29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗，蒸汽消耗。综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值，准入值,先进值的要求 新建项目至少达到限额准入值标准.本条规定各生产单元的蒸汽，电力及综合能耗不大于限额准入值,并达到先进值,目的是节约资源能源,5、1,8,多晶硅生产过程伴有氢气.三氯氢硅,二氯二氢硅 四氯化硅，氯化氢等危险化学品。对于输送易燃、易爆、有毒。有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性 防止泄漏,