5，工艺设计5,1.一般规定5.1,1、三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原。提纯,干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成,工艺流程见图1。图1.三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图 多晶硅行业近年来发展迅速。其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升.每个主工艺都有几种工艺方案选择。为提高建设质量以及整个行业的技术水平。本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定 1、多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽，由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半 不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺 不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺 不同的建设规模，能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性.2，3、国家大力提倡循环经济发展模式。以建设资源节约型.环境友好型的美丽社会为目标 因此工厂建设中应做到安全可靠、环保节能,技术先进，经济合理、5。多晶硅生产是个较为复杂的系统工程 每个主工序的生产特点均有不同。如还原过程的一次转化率低、只有10 左右.大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统,干法回收应具备吸纳不同气量.不同组分还原尾气的能力,各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡，5,1、5 现行国家标准 多晶硅企业单位产品能源消耗限额，GB，29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗、蒸汽消耗。综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值、准入值，先进值的要求.新建项目至少达到限额准入值标准.本条规定各生产单元的蒸汽，电力及综合能耗不大于限额准入值、并达到先进值 目的是节约资源能源。5。1.8.多晶硅生产过程伴有氢气,三氯氢硅。二氯二氢硅,四氯化硅。氯化氢等危险化学品。对于输送易燃,易爆.有毒,有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性.防止泄漏,