10,3 空气调节与净化10 3，1 厂房空气洁净度等级、温度 湿度的设计应满足生产工艺要求，10。3.2，存在下列情况之一时。空调系统应分开设置、1 净化空调系统与一般空调系统，2。空气中含有易燃.易爆物质.3。容易产生交叉污染.对其他工序的产品质量造成影响。4.对温。湿度控制要求差别大、5。工艺设备散热量相差悬殊。10、3.3。保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定，1，5级、8级洁净室送风量应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范、GB 50073的有关规定,2 生产太阳能级多晶硅的还原炉室，当空调系统为三级过滤时，其送风量应按换气次数大于或等于6次、h计算,10、3.4,空调系统新风量应取下列两项中的较大值，1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和，2、保证供给室内每人每小时的新风量。洁净区不应小于40m3,非洁净区不应小于30m3.10、3、5 洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式,10，3、6。洁净室与周围区域的压差应符合下列规定。1.不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa 2。洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa。3、洁净区与室外的压差不应小于10Pa。10、3.7,洁净空调送风,回风和排风系统的启闭应连锁。正压洁净室连锁程序应为先启动送风机。再启动回风机和排风机。关闭时连锁程序应相反。10.3，8，单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB A。非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB，A。10、3,9，还原车间应独立设置直流空调送风系统,不应回风 10.3 10.腐蚀清洗室.硅棒破碎室，配件清洗室的空调送风系统不宜回风，10、3,11、洁净空气调节系统的新风集中处理时 新风处理机组应符合下列规定 1.新风应经过粗效过滤器处理、2、严寒地区新风应先预热、3。送风机宜采取变频措施，10.3 12、空气过滤器选用，布置应符合下列规定，1。空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器.2.空气过滤器处理风量不应大于额定风量，3.中效、高中效,空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段、4 亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端 10,3 13.风机过滤机组的设置应符合下列规定、1,应根据空气洁净度等级和送风量选用，2、送风量应能调节 3，应便于安装,维修及过滤器更换.10.3.14、净化空调系统的送风机宜采用变频装置。