10，3、空气调节与净化10。3.1.厂房空气洁净度等级,温度,湿度的设计应满足生产工艺要求、10,3。2、存在下列情况之一时 空调系统应分开设置，1,净化空调系统与一般空调系统，2、空气中含有易燃，易爆物质 3，容易产生交叉污染,对其他工序的产品质量造成影响，4 对温.湿度控制要求差别大。5，工艺设备散热量相差悬殊。10，3。3。保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定，1。5级.8级洁净室送风量应符合现行国家标准，洁净厂房设计规范、GB。50073的有关规定、2，生产太阳能级多晶硅的还原炉室、当空调系统为三级过滤时。其送风量应按换气次数大于或等于6次.h计算.10。3.4。空调系统新风量应取下列两项中的较大值、1。补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和。2.保证供给室内每人每小时的新风量，洁净区不应小于40m3。非洁净区不应小于30m3。10。3 5,洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式、10.3。6,洁净室与周围区域的压差应符合下列规定。1。不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa、2 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，3、洁净区与室外的压差不应小于10Pa,10,3.7、洁净空调送风、回风和排风系统的启闭应连锁.正压洁净室连锁程序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机.关闭时连锁程序应相反.10、3，8,单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB。A，非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB.A。10,3、9 还原车间应独立设置直流空调送风系统 不应回风,10 3.10，腐蚀清洗室,硅棒破碎室、配件清洗室的空调送风系统不宜回风.10，3.11,洁净空气调节系统的新风集中处理时 新风处理机组应符合下列规定、1 新风应经过粗效过滤器处理 2,严寒地区新风应先预热.3、送风机宜采取变频措施.10、3、12 空气过滤器选用、布置应符合下列规定.1,空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器.2.空气过滤器处理风量不应大于额定风量。3、中效，高中效 空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。4 亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端,10.3、13,风机过滤机组的设置应符合下列规定.1,应根据空气洁净度等级和送风量选用.2,送风量应能调节,3,应便于安装,维修及过滤器更换.10 3、14。净化空调系统的送风机宜采用变频装置。