10，3,空气调节与净化10、3 1,厂房空气洁净度等级.温度。湿度的设计应满足生产工艺要求，10，3,2,存在下列情况之一时。空调系统应分开设置，1、净化空调系统与一般空调系统、2,空气中含有易燃 易爆物质。3,容易产生交叉污染、对其他工序的产品质量造成影响。4，对温,湿度控制要求差别大,5。工艺设备散热量相差悬殊 10，3.3。保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定、1，5级,8级洁净室送风量应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范，GB.50073的有关规定.2、生产太阳能级多晶硅的还原炉室、当空调系统为三级过滤时,其送风量应按换气次数大于或等于6次.h计算、10,3，4，空调系统新风量应取下列两项中的较大值、1,补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和.2 保证供给室内每人每小时的新风量 洁净区不应小于40m3 非洁净区不应小于30m3.10，3,5、洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式,10 3,6、洁净室与周围区域的压差应符合下列规定、1,不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa,2、洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa。3.洁净区与室外的压差不应小于10Pa.10 3、7,洁净空调送风。回风和排风系统的启闭应连锁,正压洁净室连锁程序应为先启动送风机。再启动回风机和排风机。关闭时连锁程序应相反,10，3,8,单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB A、非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB。A,10。3，9.还原车间应独立设置直流空调送风系统，不应回风,10,3,10、腐蚀清洗室，硅棒破碎室.配件清洗室的空调送风系统不宜回风.10,3 11,洁净空气调节系统的新风集中处理时.新风处理机组应符合下列规定 1 新风应经过粗效过滤器处理、2、严寒地区新风应先预热 3，送风机宜采取变频措施.10、3 12.空气过滤器选用，布置应符合下列规定。1.空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器.2 空气过滤器处理风量不应大于额定风量 3，中效.高中效.空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段、4.亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端。10、3.13，风机过滤机组的设置应符合下列规定 1 应根据空气洁净度等级和送风量选用、2.送风量应能调节.3。应便于安装。维修及过滤器更换,10、3。14,净化空调系统的送风机宜采用变频装置,