10、3。空气调节与净化10,3，1,厂房空气洁净度等级,温度。湿度的设计应满足生产工艺要求，10、3.2。存在下列情况之一时，空调系统应分开设置.1,净化空调系统与一般空调系统.2 空气中含有易燃.易爆物质,3 容易产生交叉污染。对其他工序的产品质量造成影响，4、对温。湿度控制要求差别大 5 工艺设备散热量相差悬殊,10，3,3、保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定，1、5级.8级洁净室送风量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范。GB，50073的有关规定，2，生产太阳能级多晶硅的还原炉室 当空调系统为三级过滤时,其送风量应按换气次数大于或等于6次、h计算,10、3 4，空调系统新风量应取下列两项中的较大值.1。补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和。2。保证供给室内每人每小时的新风量、洁净区不应小于40m3.非洁净区不应小于30m3、10。3。5 洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式,10,3,6。洁净室与周围区域的压差应符合下列规定，1,不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa.2。洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa.3。洁净区与室外的压差不应小于10Pa 10、3，7，洁净空调送风.回风和排风系统的启闭应连锁,正压洁净室连锁程序应为先启动送风机.再启动回风机和排风机.关闭时连锁程序应相反,10,3,8.单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB A 非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB。A、10、3。9。还原车间应独立设置直流空调送风系统,不应回风、10，3，10,腐蚀清洗室,硅棒破碎室，配件清洗室的空调送风系统不宜回风，10,3，11 洁净空气调节系统的新风集中处理时。新风处理机组应符合下列规定 1,新风应经过粗效过滤器处理、2.严寒地区新风应先预热 3 送风机宜采取变频措施 10.3、12,空气过滤器选用,布置应符合下列规定,1,空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器 2.空气过滤器处理风量不应大于额定风量。3。中效,高中效、空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段，4，亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端 10，3.13，风机过滤机组的设置应符合下列规定，1。应根据空气洁净度等级和送风量选用。2。送风量应能调节、3，应便于安装,维修及过滤器更换,10 3,14，净化空调系统的送风机宜采用变频装置,