10、3。空气调节与净化10.3、1,厂房空气洁净度等级,温度。湿度的设计应满足生产工艺要求,10.3,2 存在下列情况之一时、空调系统应分开设置 1,净化空调系统与一般空调系统,2,空气中含有易燃.易爆物质,3.容易产生交叉污染 对其他工序的产品质量造成影响 4,对温、湿度控制要求差别大,5、工艺设备散热量相差悬殊 10、3 3,保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定.1。5级、8级洁净室送风量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB、50073的有关规定.2 生产太阳能级多晶硅的还原炉室.当空调系统为三级过滤时 其送风量应按换气次数大于或等于6次。h计算 10,3,4.空调系统新风量应取下列两项中的较大值 1、补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和、2，保证供给室内每人每小时的新风量 洁净区不应小于40m3,非洁净区不应小于30m3、10、3.5、洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式.10、3，6.洁净室与周围区域的压差应符合下列规定,1,不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa。2，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,3,洁净区与室外的压差不应小于10Pa 10。3,7。洁净空调送风，回风和排风系统的启闭应连锁，正压洁净室连锁程序应为先启动送风机,再启动回风机和排风机 关闭时连锁程序应相反。10，3,8、单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB A。非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB,A,10。3，9 还原车间应独立设置直流空调送风系统 不应回风 10，3,10,腐蚀清洗室 硅棒破碎室,配件清洗室的空调送风系统不宜回风,10，3.11、洁净空气调节系统的新风集中处理时 新风处理机组应符合下列规定，1,新风应经过粗效过滤器处理,2、严寒地区新风应先预热、3、送风机宜采取变频措施，10,3，12 空气过滤器选用、布置应符合下列规定.1。空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器.2 空气过滤器处理风量不应大于额定风量、3。中效，高中效 空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段 4 亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端.10。3。13，风机过滤机组的设置应符合下列规定,1 应根据空气洁净度等级和送风量选用，2。送风量应能调节。3、应便于安装。维修及过滤器更换.10，3、14、净化空调系统的送风机宜采用变频装置