10.3.空气调节与净化10。3、1，厂房空气洁净度等级、温度,湿度的设计应满足生产工艺要求、10，3。2 存在下列情况之一时 空调系统应分开设置,1 净化空调系统与一般空调系统，2,空气中含有易燃 易爆物质、3 容易产生交叉污染.对其他工序的产品质量造成影响。4。对温 湿度控制要求差别大 5.工艺设备散热量相差悬殊。10 3 3，保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定.1、5级 8级洁净室送风量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB。50073的有关规定、2。生产太阳能级多晶硅的还原炉室，当空调系统为三级过滤时。其送风量应按换气次数大于或等于6次、h计算，10,3,4，空调系统新风量应取下列两项中的较大值。1。补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和。2。保证供给室内每人每小时的新风量，洁净区不应小于40m3、非洁净区不应小于30m3、10，3 5、洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式。10。3.6。洁净室与周围区域的压差应符合下列规定。1,不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa 2。洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa。3 洁净区与室外的压差不应小于10Pa，10 3 7，洁净空调送风、回风和排风系统的启闭应连锁.正压洁净室连锁程序应为先启动送风机 再启动回风机和排风机.关闭时连锁程序应相反.10,3,8。单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB。A.非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB.A。10,3、9，还原车间应独立设置直流空调送风系统、不应回风、10。3 10。腐蚀清洗室，硅棒破碎室 配件清洗室的空调送风系统不宜回风。10 3。11,洁净空气调节系统的新风集中处理时、新风处理机组应符合下列规定。1、新风应经过粗效过滤器处理,2 严寒地区新风应先预热。3，送风机宜采取变频措施、10.3 12、空气过滤器选用。布置应符合下列规定 1、空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器、2,空气过滤器处理风量不应大于额定风量,3,中效、高中效,空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段,4。亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端、10.3。13。风机过滤机组的设置应符合下列规定,1.应根据空气洁净度等级和送风量选用,2、送风量应能调节，3,应便于安装，维修及过滤器更换，10，3 14.净化空调系统的送风机宜采用变频装置,