10.3。空气调节与净化10.3.1.厂房空气洁净度等级、温度.湿度的设计应满足生产工艺要求，10 3 2,存在下列情况之一时.空调系统应分开设置，1 净化空调系统与一般空调系统,2 空气中含有易燃、易爆物质,3,容易产生交叉污染、对其他工序的产品质量造成影响，4 对温 湿度控制要求差别大,5、工艺设备散热量相差悬殊，10，3、3.保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定、1、5级,8级洁净室送风量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB、50073的有关规定。2.生产太阳能级多晶硅的还原炉室、当空调系统为三级过滤时,其送风量应按换气次数大于或等于6次、h计算、10.3 4 空调系统新风量应取下列两项中的较大值.1,补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和，2、保证供给室内每人每小时的新风量,洁净区不应小于40m3,非洁净区不应小于30m3，10.3 5。洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式，10、3，6.洁净室与周围区域的压差应符合下列规定 1。不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa，2 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa、3,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。10,3 7、洁净空调送风,回风和排风系统的启闭应连锁、正压洁净室连锁程序应为先启动送风机。再启动回风机和排风机 关闭时连锁程序应相反 10，3 8、单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB A 非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB，A.10 3.9、还原车间应独立设置直流空调送风系统，不应回风。10,3,10.腐蚀清洗室。硅棒破碎室 配件清洗室的空调送风系统不宜回风 10,3 11 洁净空气调节系统的新风集中处理时。新风处理机组应符合下列规定 1 新风应经过粗效过滤器处理、2、严寒地区新风应先预热.3。送风机宜采取变频措施、10、3。12 空气过滤器选用.布置应符合下列规定.1，空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器，2、空气过滤器处理风量不应大于额定风量、3，中效,高中效。空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端,10。3、13,风机过滤机组的设置应符合下列规定,1。应根据空气洁净度等级和送风量选用.2,送风量应能调节 3,应便于安装 维修及过滤器更换 10,3 14 净化空调系统的送风机宜采用变频装置。