10,3。空气调节与净化10 3,1、厂房空气洁净度等级、温度,湿度的设计应满足生产工艺要求。10。3,2、存在下列情况之一时。空调系统应分开设置.1 净化空调系统与一般空调系统.2，空气中含有易燃 易爆物质，3,容易产生交叉污染，对其他工序的产品质量造成影响。4.对温,湿度控制要求差别大,5,工艺设备散热量相差悬殊，10 3。3 保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定、1 5级，8级洁净室送风量应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范 GB，50073的有关规定 2，生产太阳能级多晶硅的还原炉室.当空调系统为三级过滤时 其送风量应按换气次数大于或等于6次 h计算,10,3、4.空调系统新风量应取下列两项中的较大值,1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和.2、保证供给室内每人每小时的新风量.洁净区不应小于40m3、非洁净区不应小于30m3,10.3.5，洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式。10.3。6 洁净室与周围区域的压差应符合下列规定,1，不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa 2 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa。3，洁净区与室外的压差不应小于10Pa,10，3.7、洁净空调送风，回风和排风系统的启闭应连锁.正压洁净室连锁程序应为先启动送风机,再启动回风机和排风机，关闭时连锁程序应相反.10。3，8,单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB、A，非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB,A,10 3,9.还原车间应独立设置直流空调送风系统,不应回风、10，3 10。腐蚀清洗室.硅棒破碎室 配件清洗室的空调送风系统不宜回风、10.3，11.洁净空气调节系统的新风集中处理时 新风处理机组应符合下列规定,1 新风应经过粗效过滤器处理，2，严寒地区新风应先预热、3，送风机宜采取变频措施 10。3 12、空气过滤器选用.布置应符合下列规定 1。空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器,2,空气过滤器处理风量不应大于额定风量、3、中效 高中效,空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段，4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端。10,3、13.风机过滤机组的设置应符合下列规定，1。应根据空气洁净度等级和送风量选用,2，送风量应能调节 3，应便于安装 维修及过滤器更换,10。3。14。净化空调系统的送风机宜采用变频装置，