10,3 空气调节与净化10，3、1 厂房空气洁净度等级,温度。湿度的设计应满足生产工艺要求，10 3,2,存在下列情况之一时。空调系统应分开设置，1 净化空调系统与一般空调系统,2 空气中含有易燃、易爆物质、3.容易产生交叉污染 对其他工序的产品质量造成影响.4 对温.湿度控制要求差别大。5 工艺设备散热量相差悬殊.10。3、3.保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定，1,5级，8级洁净室送风量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范 GB。50073的有关规定,2,生产太阳能级多晶硅的还原炉室 当空调系统为三级过滤时.其送风量应按换气次数大于或等于6次。h计算、10,3。4。空调系统新风量应取下列两项中的较大值,1、补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和.2。保证供给室内每人每小时的新风量.洁净区不应小于40m3 非洁净区不应小于30m3。10,3 5。洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式，10。3，6。洁净室与周围区域的压差应符合下列规定 1。不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa 2.洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa、3，洁净区与室外的压差不应小于10Pa 10.3。7，洁净空调送风.回风和排风系统的启闭应连锁 正压洁净室连锁程序应为先启动送风机、再启动回风机和排风机 关闭时连锁程序应相反。10，3,8.单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB、A。非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB,A,10,3,9。还原车间应独立设置直流空调送风系统.不应回风,10 3，10、腐蚀清洗室.硅棒破碎室,配件清洗室的空调送风系统不宜回风、10、3 11。洁净空气调节系统的新风集中处理时，新风处理机组应符合下列规定,1。新风应经过粗效过滤器处理、2。严寒地区新风应先预热，3.送风机宜采取变频措施,10.3.12,空气过滤器选用。布置应符合下列规定 1.空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器,2、空气过滤器处理风量不应大于额定风量，3,中效,高中效、空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段,4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端。10,3。13 风机过滤机组的设置应符合下列规定。1，应根据空气洁净度等级和送风量选用 2.送风量应能调节。3,应便于安装 维修及过滤器更换 10 3 14。净化空调系统的送风机宜采用变频装置,