10,3、空气调节与净化10 3。1,厂房空气洁净度等级.温度、湿度的设计应满足生产工艺要求 10，3,2.存在下列情况之一时.空调系统应分开设置,1 净化空调系统与一般空调系统。2，空气中含有易燃,易爆物质,3，容易产生交叉污染.对其他工序的产品质量造成影响.4、对温 湿度控制要求差别大，5、工艺设备散热量相差悬殊、10.3、3，保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定,1、5级。8级洁净室送风量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB。50073的有关规定,2、生产太阳能级多晶硅的还原炉室 当空调系统为三级过滤时，其送风量应按换气次数大于或等于6次、h计算，10 3.4,空调系统新风量应取下列两项中的较大值、1.补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和。2 保证供给室内每人每小时的新风量,洁净区不应小于40m3 非洁净区不应小于30m3.10.3、5.洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式 10，3 6.洁净室与周围区域的压差应符合下列规定.1。不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa,2,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa.3。洁净区与室外的压差不应小于10Pa。10，3 7，洁净空调送风、回风和排风系统的启闭应连锁,正压洁净室连锁程序应为先启动送风机.再启动回风机和排风机。关闭时连锁程序应相反.10、3,8、单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB,A、非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB、A,10.3.9.还原车间应独立设置直流空调送风系统，不应回风.10。3.10。腐蚀清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空调送风系统不宜回风。10。3。11,洁净空气调节系统的新风集中处理时.新风处理机组应符合下列规定，1。新风应经过粗效过滤器处理，2 严寒地区新风应先预热，3、送风机宜采取变频措施、10。3,12。空气过滤器选用。布置应符合下列规定 1,空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器，2,空气过滤器处理风量不应大于额定风量，3,中效 高中效，空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段、4.亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端，10。3、13 风机过滤机组的设置应符合下列规定、1.应根据空气洁净度等级和送风量选用、2 送风量应能调节、3。应便于安装,维修及过滤器更换.10,3、14，净化空调系统的送风机宜采用变频装置、