10，3 空气调节与净化10 3、1、厂房空气洁净度等级.温度.湿度的设计应满足生产工艺要求 10、3,2 存在下列情况之一时.空调系统应分开设置,1,净化空调系统与一般空调系统.2。空气中含有易燃、易爆物质。3。容易产生交叉污染.对其他工序的产品质量造成影响.4.对温,湿度控制要求差别大.5 工艺设备散热量相差悬殊 10.3、3 保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定.1。5级.8级洁净室送风量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范，GB.50073的有关规定。2，生产太阳能级多晶硅的还原炉室.当空调系统为三级过滤时,其送风量应按换气次数大于或等于6次、h计算 10,3 4，空调系统新风量应取下列两项中的较大值、1.补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和,2，保证供给室内每人每小时的新风量、洁净区不应小于40m3、非洁净区不应小于30m3 10.3,5，洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式、10 3 6。洁净室与周围区域的压差应符合下列规定、1、不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa 2 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa 3。洁净区与室外的压差不应小于10Pa、10，3，7.洁净空调送风，回风和排风系统的启闭应连锁，正压洁净室连锁程序应为先启动送风机 再启动回风机和排风机。关闭时连锁程序应相反,10，3.8，单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB.A.非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB、A。10 3。9 还原车间应独立设置直流空调送风系统。不应回风.10、3，10、腐蚀清洗室.硅棒破碎室、配件清洗室的空调送风系统不宜回风。10,3、11。洁净空气调节系统的新风集中处理时、新风处理机组应符合下列规定,1。新风应经过粗效过滤器处理、2.严寒地区新风应先预热，3,送风机宜采取变频措施，10,3，12 空气过滤器选用、布置应符合下列规定，1、空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器、2，空气过滤器处理风量不应大于额定风量。3。中效.高中效.空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段 4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端 10.3、13 风机过滤机组的设置应符合下列规定,1、应根据空气洁净度等级和送风量选用,2.送风量应能调节,3、应便于安装，维修及过滤器更换 10、3.14。净化空调系统的送风机宜采用变频装置