1。总 则1。0、1 为规范多晶硅工厂的工程设计.提高工程设计质量、做到技术先进,经济合理，安全可靠,环保节能、制定本规范 1,0、2、本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建，扩建和改建多晶硅工厂的工程设计 也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成，四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。1.0,3,多晶硅工厂设计应积极采用节能、环保.高效、先进的装备和工艺。提高资源，能源利用率。实现物料。能源综合利用和清洁生产.1 0。4,多晶硅工厂设计除应符合本规范外、尚应符合国家现行有关标准的规定、