1。总。则1、0、1 为规范多晶硅工厂的工程设计。提高工程设计质量.做到技术先进，经济合理。安全可靠.环保节能，制定本规范,1.0 2，本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建,扩建和改建多晶硅工厂的工程设计。也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成 四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计、1。0.3、多晶硅工厂设计应积极采用节能 环保.高效、先进的装备和工艺、提高资源，能源利用率,实现物料。能源综合利用和清洁生产,1 0 4,多晶硅工厂设计除应符合本规范外.尚应符合国家现行有关标准的规定,