1,总.则1 0,1,为规范多晶硅工厂的工程设计,提高工程设计质量 做到技术先进,经济合理、安全可靠.环保节能,制定本规范。1,0 2 本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建。扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成。四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计,1、0.3 多晶硅工厂设计应积极采用节能。环保.高效,先进的装备和工艺、提高资源.能源利用率,实现物料、能源综合利用和清洁生产、1.0。4 多晶硅工厂设计除应符合本规范外。尚应符合国家现行有关标准的规定,
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