1。总、则1 0.1 为规范多晶硅工厂的工程设计 提高工程设计质量.做到技术先进、经济合理，安全可靠 环保节能,制定本规范,1。0、2，本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建.扩建和改建多晶硅工厂的工程设计。也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成.四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计 1.0、3.多晶硅工厂设计应积极采用节能。环保。高效,先进的装备和工艺.提高资源,能源利用率、实现物料。能源综合利用和清洁生产、1.0。4。多晶硅工厂设计除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定