1 总、则1、0、1，为规范多晶硅工厂的工程设计,提高工程设计质量。做到技术先进、经济合理、安全可靠。环保节能，制定本规范 1、0.2、本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建，扩建和改建多晶硅工厂的工程设计，也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成，四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计,1，0、3.多晶硅工厂设计应积极采用节能。环保,高效、先进的装备和工艺。提高资源.能源利用率.实现物料 能源综合利用和清洁生产，1，0，4、多晶硅工厂设计除应符合本规范外、尚应符合国家现行有关标准的规定，