1、总,则1,0，1.为规范多晶硅工厂的工程设计、提高工程设计质量，做到技术先进 经济合理、安全可靠、环保节能。制定本规范。1,0 2，本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计 也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成,四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计.1,0,3.多晶硅工厂设计应积极采用节能，环保,高效、先进的装备和工艺，提高资源。能源利用率 实现物料 能源综合利用和清洁生产,1.0。4 多晶硅工厂设计除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定