1 总,则1、0,1,为规范多晶硅工厂的工程设计,提高工程设计质量,做到技术先进。经济合理,安全可靠 环保节能.制定本规范.1、0,2,本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计 也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成,四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计.1、0、3.多晶硅工厂设计应积极采用节能.环保,高效,先进的装备和工艺,提高资源、能源利用率,实现物料、能源综合利用和清洁生产。1、0.4。多晶硅工厂设计除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定、
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