8.4 洁净设计及装修8 4,1。还原.整理厂房洁净设计及装修应符合下列规定。1.半导体级多晶硅还原厂房的还原炉室应按洁净厂房进行设计 空气洁净度等级不应低于8级,平面布置、人员净化、物流净化 室内装修应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范.GB 50073的有关规定,当设有通往整理厂房的连廊时。连廊的空气洁净度等级和处理方法应与还原炉室的要求一致,宜符合本规范附录C的规定,2.还原炉室地面宜采用耐磨的洁净地面,当采用水磨石地面时、应采取防静电措施,墙面宜采用外贴洁净板或防静电树脂涂料.3、整理厂房空气洁净度等级及洁净区划分应按工艺要求设置,空气洁净度不应低于8级.平面布置、人员净化,物流净化。室内装修。应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范.GB 50073的有关规定,4.整理厂房的洁净房间地面宜采用环氧自流平地面,聚氯乙烯 PVC、膜材料或水磨石地面、地面应采取防静电措施 8。4,2 其他建,构,筑物的地面及装修应符合下列规定,1 厂房地面与室外自然地坪高差宜大于或等于300mm、2,有洁净要求的房间地面应满足工艺生产要求,地面应平整,耐磨。易清洗、不易积聚静电,避免眩光,不开裂 踢脚不应突出墙面,地面垫层宜配筋,潮湿地区应有防潮措施,3、洁净房间的门窗 墙面.顶棚装修应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB.50073的有关规定,4。普通区辅助房间地面应根据使用性质和要求选用.室内装修应符合现行国家标准,建筑内部装修设计防火规范 GB。50222的有关规定、
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