5,3,氯硅烷提纯5，3。1，提纯流程和塔内件应根据物料原料组分。提纯难易程度以及产品要求比较分析后确定，5,3，2.氯硅烷提纯宜选用差压耦合提纯技术.5,3 3,氯硅烷提纯工序的布置应符合下列规定。1,大直径塔宜独立、露天布置.用法兰连接的多节组合塔以及直径不大于600mm的塔宜布置于框架结构内、2,塔的布置宜采用单排形式 并应按提纯流程顺序以塔的外壁或中心线对齐，还应设置联合平台，各塔平台的连接走道结构应能满足各塔伸缩量及基础沉降的不同要求、3,附属设备宜靠近塔布置、并应留有安装 生产,维修空间、4。差压耦合塔的差压耦合再沸器,冷凝器和回流罐的标高宜逐渐降低.5,3、4。氯硅烷提纯工序宜选择运行稳定,故障率低 密封好的泵，应设置备用机、5 3，5。精馏控制方式应根据产品采出位置，进料方式。塔内温度和压力变化确定，可采用精馏段指标控制，提馏段指标控制或压力控制、