9、4。循环冷却水系统9.4 2、部分设备对冷却水的温度 压力 水质的要求比较严格。一旦超出其设定的参数,就自动报警停机。严重影响正常生产,所以冷却水系统应根据工艺设备的具体要求单独设置，避免相互干扰 9，4 3，本条是强制性条文.硅芯拉制炉。还原炉和单晶炉在循环水供电系统出现事故时。设备内产生的热量无法被循环水带走,将会导致设备损坏,设备内物料泄漏。为防止上述事故发生、在循环水系统中增设保安水箱及柴油水泵、或柴油电源.当水泵供电系统事故时。由柴油泵.或柴油电源、向设备供水.以保证循环水供给不中断、9,4、4。针对开式循环水系统 应设旁滤系统及缓蚀阻垢药剂投加系统.针对闭式循环水系统.从国内工厂现场运行情况看。仅在系统中增加管道过滤器即能满足运行要求,