9、4,循环冷却水系统9、4。2 部分设备对冷却水的温度,压力。水质的要求比较严格,一旦超出其设定的参数，就自动报警停机 严重影响正常生产.所以冷却水系统应根据工艺设备的具体要求单独设置.避免相互干扰.9。4，3,本条是强制性条文，硅芯拉制炉.还原炉和单晶炉在循环水供电系统出现事故时。设备内产生的热量无法被循环水带走。将会导致设备损坏，设备内物料泄漏，为防止上述事故发生,在循环水系统中增设保安水箱及柴油水泵、或柴油电源,当水泵供电系统事故时。由柴油泵，或柴油电源、向设备供水。以保证循环水供给不中断.9,4,4、针对开式循环水系统。应设旁滤系统及缓蚀阻垢药剂投加系统。针对闭式循环水系统，从国内工厂现场运行情况看，仅在系统中增加管道过滤器即能满足运行要求。