5.5、还原尾气干法回收5 5,1 还原尾气干法回收设计范围应包括气体压缩，氯硅烷深冷分离，氢气吸附,以及再生后气处理等单元,5 5。2 还原尾气除尘工序宜在前端增加过滤器或采用其他解决尾气中无定形硅的技术.5。5、3、氯硅烷分离工序宜采用高压深冷方式回收氯硅烷。并宜采用高压低温吸收，低压高温解析方式回收氯化氢。5 5 4、还原尾气干法回收工序布置宜符合下列规定。1、宜临近还原车间布置 2、还原尾气干法回收工序的气体压缩系统、氯硅烷深冷分离。吸附提纯氢系统宜独立设置于敞开或半敞开式的构筑物内 制冷系统宜布置于密闭建筑物内、附属辅助系统宜在满足防火间距的基础上毗连布置，5、5。5、还原尾气干法回收工序的主要设备选型应符合下列规定 1,各系统内的设备能力应互相匹配 并应保证生产的连续性,2、氢气压缩机应选择密封性好。噪声小，故障率低.低电耗的机型、宜设置备用机,3、宜选用运行稳定、故障率低.密封好的泵 应设置备用机。