10,3 空气调节与净化10，3，2。本条主要是从安全，节能。环保及便于运行管理等方面考虑的,10 3.3,本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准。洁净厂房设计规范,GB.50073,洁净室送风量 静态、和气流流型见表1，表1。洁净室送风量，静态 和气流流型 表1中换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室、室内人员少。热源少时、宜采用下限值.根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的，三级过滤.就是将粗、中、高效过滤段全部设在净化空调机组内.用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间,不再设高效过滤器送风口、这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求 减少投资、运行管理方便、这里规定还原炉室的送风换气次数.主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次,h的换气次数、10,3、4.本条是强制性条文。关于洁净室新鲜空气量的问题、现行国家标准,工业企业设计卫生标准。GBZ。1和。采暖通风与空气调节设计规范、GB.50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定，工业建筑应保证每人不小于30m3.h的新风量 现行国家标准、洁净厂房设计规范。GB。50073规定.保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准，以保障人身安全、10、3.5。集中送风、是指净化空调机组设在空调机房，空气经过过滤,加热，制冷、加湿等集中处理之后，由风管送入洁净室。风机过滤机组,是指由风机和高效过滤单元组成的机组，多晶硅厂房净化空调系统.一般洁净等级在6级以下时。采用集中送风形式,洁净等级在5级以上，包括5级，时,采用集中送风加风机过滤机组的形式,10，3，6。本条是强制性条文、对洁净室压差控制作出规定,为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时，气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域 而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰。所以洁净室与周围环境应保持一定的压差 10.3，7。本条是保证洁净室压差控制的措施，10.3,8，本条对洁净室噪声级提出要求,空态。是指洁净室设施已经建成.所有动力接通并运行。但无生产设备,材料及人员的阶段 10.3、9.本条是强制性条文，还原车间生产使用氢气,火灾危险性分类为甲类,现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范、GB 50019相关条文强制规定 甲，乙类生产厂房不应使用循环空气 以保障人身安全 10，3，10 腐蚀清洗室。配件清洗室，硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上.8级 7级，工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘,局部排风不能完全排除酸气及粉尘,这样净化空调系统就不应回风,10.3 11.本条是洁净厂房设置多套净化空调系统 新风集中处理的时候对新房机组功能的要求 主要是为了安全和节能,10、3 12,空气过滤器分类.性能指标参照了现行国家标准 空气过滤器.GB,T.14295和。高效空气过滤器 GB.T。13554的规定、在多晶硅厂房设计中，一般常用的过滤器有粗效过滤器、中效过滤器，亚高效过滤器.高效过滤器.过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下 其效率和阻力最合理时的风量。如果大于额定风量,过滤器阻力增大。导致系统阻力增加.对于高效过滤器,风速过大有可能吹破滤纸.中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段，主要是考虑到机组的负压段向内漏风、影响过滤效果.一般有洁净等级的洁净室、高效过滤器宜设在空调系统末端,对于三级过滤净化空调.高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上、10、3 14。在净化空调系统中.空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大 空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加，使系统的风量减少.因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算 系统初运行时、过滤器初阻力较小.系统阻力低,风机采用变频装置可以调节风量、达到节能目的。