10、3,空气调节与净化10.3。2.本条主要是从安全。节能.环保及便于运行管理等方面考虑的、10.3、3、本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准.洁净厂房设计规范,GB、50073.洁净室送风量。静态、和气流流型见表1 表1,洁净室送风量。静态、和气流流型,表1中换气次数适用于层高小于4。0m的洁净室、室内人员少,热源少时,宜采用下限值.根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的 三级过滤.就是将粗,中,高效过滤段全部设在净化空调机组内、用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间 不再设高效过滤器送风口.这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求、减少投资.运行管理方便、这里规定还原炉室的送风换气次数、主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次、h的换气次数、10,3 4、本条是强制性条文、关于洁净室新鲜空气量的问题,现行国家标准 工业企业设计卫生标准 GBZ、1和,采暖通风与空气调节设计规范,GB,50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定、工业建筑应保证每人不小于30m3.h的新风量.现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB、50073规定、保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准,以保障人身安全、10、3,5.集中送风,是指净化空调机组设在空调机房,空气经过过滤、加热、制冷,加湿等集中处理之后 由风管送入洁净室,风机过滤机组 是指由风机和高效过滤单元组成的机组。多晶硅厂房净化空调系统.一般洁净等级在6级以下时、采用集中送风形式 洁净等级在5级以上。包括5级.时,采用集中送风加风机过滤机组的形式。10。3 6.本条是强制性条文,对洁净室压差控制作出规定、为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时.气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域,而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰。所以洁净室与周围环境应保持一定的压差.10,3、7,本条是保证洁净室压差控制的措施.10。3,8.本条对洁净室噪声级提出要求、空态。是指洁净室设施已经建成。所有动力接通并运行,但无生产设备,材料及人员的阶段,10.3,9,本条是强制性条文,还原车间生产使用氢气,火灾危险性分类为甲类,现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范,GB,50019相关条文强制规定。甲,乙类生产厂房不应使用循环空气 以保障人身安全。10、3。10,腐蚀清洗室 配件清洗室、硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上 8级.7级。工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘 局部排风不能完全排除酸气及粉尘,这样净化空调系统就不应回风,10,3 11,本条是洁净厂房设置多套净化空调系统。新风集中处理的时候对新房机组功能的要求,主要是为了安全和节能,10。3 12,空气过滤器分类,性能指标参照了现行国家标准。空气过滤器,GB T。14295和。高效空气过滤器,GB,T,13554的规定.在多晶硅厂房设计中.一般常用的过滤器有粗效过滤器.中效过滤器.亚高效过滤器,高效过滤器。过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下,其效率和阻力最合理时的风量、如果大于额定风量。过滤器阻力增大.导致系统阻力增加.对于高效过滤器.风速过大有可能吹破滤纸 中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段.主要是考虑到机组的负压段向内漏风。影响过滤效果、一般有洁净等级的洁净室 高效过滤器宜设在空调系统末端.对于三级过滤净化空调.高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上.10,3,14 在净化空调系统中.空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大、空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加,使系统的风量减少.因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算。系统初运行时,过滤器初阻力较小.系统阻力低.风机采用变频装置可以调节风量、达到节能目的,
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