10，3。空气调节与净化10，3,2、本条主要是从安全，节能。环保及便于运行管理等方面考虑的，10、3 3,本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准，洁净厂房设计规范、GB，50073、洁净室送风量.静态 和气流流型见表1、表1，洁净室送风量 静态。和气流流型、表1中换气次数适用于层高小于4。0m的洁净室,室内人员少,热源少时 宜采用下限值.根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的。三级过滤.就是将粗 中、高效过滤段全部设在净化空调机组内 用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间 不再设高效过滤器送风口,这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求,减少投资。运行管理方便,这里规定还原炉室的送风换气次数、主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次，h的换气次数,10 3,4,本条是强制性条文，关于洁净室新鲜空气量的问题.现行国家标准,工业企业设计卫生标准,GBZ.1和，采暖通风与空气调节设计规范,GB、50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定,工业建筑应保证每人不小于30m3。h的新风量.现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB 50073规定。保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准 以保障人身安全 10 3 5、集中送风,是指净化空调机组设在空调机房,空气经过过滤.加热.制冷。加湿等集中处理之后，由风管送入洁净室.风机过滤机组,是指由风机和高效过滤单元组成的机组，多晶硅厂房净化空调系统。一般洁净等级在6级以下时 采用集中送风形式。洁净等级在5级以上、包括5级 时，采用集中送风加风机过滤机组的形式 10、3,6、本条是强制性条文.对洁净室压差控制作出规定。为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时.气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域、而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰。所以洁净室与周围环境应保持一定的压差,10，3，7、本条是保证洁净室压差控制的措施、10，3。8 本条对洁净室噪声级提出要求,空态。是指洁净室设施已经建成。所有动力接通并运行，但无生产设备.材料及人员的阶段，10。3,9，本条是强制性条文.还原车间生产使用氢气、火灾危险性分类为甲类 现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范 GB 50019相关条文强制规定,甲、乙类生产厂房不应使用循环空气,以保障人身安全,10、3。10，腐蚀清洗室.配件清洗室.硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上，8级。7级.工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘 局部排风不能完全排除酸气及粉尘,这样净化空调系统就不应回风 10，3 11 本条是洁净厂房设置多套净化空调系统,新风集中处理的时候对新房机组功能的要求,主要是为了安全和节能，10.3,12，空气过滤器分类，性能指标参照了现行国家标准 空气过滤器.GB,T.14295和、高效空气过滤器、GB、T。13554的规定，在多晶硅厂房设计中，一般常用的过滤器有粗效过滤器 中效过滤器、亚高效过滤器，高效过滤器.过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下、其效率和阻力最合理时的风量、如果大于额定风量.过滤器阻力增大、导致系统阻力增加 对于高效过滤器。风速过大有可能吹破滤纸 中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段。主要是考虑到机组的负压段向内漏风,影响过滤效果.一般有洁净等级的洁净室。高效过滤器宜设在空调系统末端、对于三级过滤净化空调,高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上.10、3.14，在净化空调系统中、空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大.空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加、使系统的风量减少、因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算、系统初运行时。过滤器初阻力较小 系统阻力低、风机采用变频装置可以调节风量、达到节能目的.