10.3,空气调节与净化10,3.2.本条主要是从安全，节能。环保及便于运行管理等方面考虑的,10,3,3，本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准.洁净厂房设计规范 GB,50073,洁净室送风量。静态,和气流流型见表1。表1 洁净室送风量 静态.和气流流型.表1中换气次数适用于层高小于4，0m的洁净室。室内人员少.热源少时.宜采用下限值。根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的.三级过滤 就是将粗 中.高效过滤段全部设在净化空调机组内。用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间。不再设高效过滤器送风口、这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求、减少投资 运行管理方便.这里规定还原炉室的送风换气次数.主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次。h的换气次数。10,3。4 本条是强制性条文，关于洁净室新鲜空气量的问题。现行国家标准、工业企业设计卫生标准.GBZ 1和，采暖通风与空气调节设计规范.GB、50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定,工业建筑应保证每人不小于30m3,h的新风量、现行国家标准.洁净厂房设计规范,GB.50073规定 保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3 因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准,以保障人身安全。10、3,5。集中送风，是指净化空调机组设在空调机房,空气经过过滤，加热,制冷。加湿等集中处理之后,由风管送入洁净室、风机过滤机组.是指由风机和高效过滤单元组成的机组 多晶硅厂房净化空调系统.一般洁净等级在6级以下时、采用集中送风形式，洁净等级在5级以上、包括5级,时,采用集中送风加风机过滤机组的形式 10 3。6,本条是强制性条文，对洁净室压差控制作出规定。为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时.气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域。而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰，所以洁净室与周围环境应保持一定的压差,10、3，7.本条是保证洁净室压差控制的措施.10。3,8，本条对洁净室噪声级提出要求。空态、是指洁净室设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备，材料及人员的阶段，10、3，9、本条是强制性条文。还原车间生产使用氢气,火灾危险性分类为甲类.现行国家标准,采暖通风与空气调节设计规范。GB。50019相关条文强制规定.甲、乙类生产厂房不应使用循环空气,以保障人身安全,10 3.10.腐蚀清洗室 配件清洗室、硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上 8级,7级,工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘.局部排风不能完全排除酸气及粉尘、这样净化空调系统就不应回风,10 3.11，本条是洁净厂房设置多套净化空调系统，新风集中处理的时候对新房机组功能的要求,主要是为了安全和节能,10 3,12，空气过滤器分类.性能指标参照了现行国家标准.空气过滤器、GB、T,14295和，高效空气过滤器.GB，T、13554的规定.在多晶硅厂房设计中、一般常用的过滤器有粗效过滤器 中效过滤器，亚高效过滤器。高效过滤器。过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下 其效率和阻力最合理时的风量.如果大于额定风量、过滤器阻力增大。导致系统阻力增加。对于高效过滤器，风速过大有可能吹破滤纸，中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段。主要是考虑到机组的负压段向内漏风.影响过滤效果、一般有洁净等级的洁净室。高效过滤器宜设在空调系统末端.对于三级过滤净化空调,高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上.10,3。14.在净化空调系统中、空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大.空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加，使系统的风量减少，因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算、系统初运行时 过滤器初阻力较小 系统阻力低，风机采用变频装置可以调节风量。达到节能目的、