10 3、空气调节与净化10.3。2,本条主要是从安全,节能,环保及便于运行管理等方面考虑的,10 3 3,本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准.洁净厂房设计规范,GB、50073 洁净室送风量 静态。和气流流型见表1 表1.洁净室送风量,静态,和气流流型,表1中换气次数适用于层高小于4 0m的洁净室、室内人员少 热源少时.宜采用下限值。根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的,三级过滤,就是将粗 中。高效过滤段全部设在净化空调机组内,用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间。不再设高效过滤器送风口,这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求。减少投资,运行管理方便 这里规定还原炉室的送风换气次数 主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次,h的换气次数、10,3。4.本条是强制性条文,关于洁净室新鲜空气量的问题 现行国家标准.工业企业设计卫生标准,GBZ、1和、采暖通风与空气调节设计规范.GB.50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定,工业建筑应保证每人不小于30m3,h的新风量 现行国家标准 洁净厂房设计规范 GB、50073规定 保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准、以保障人身安全,10 3。5 集中送风、是指净化空调机组设在空调机房,空气经过过滤。加热,制冷.加湿等集中处理之后,由风管送入洁净室 风机过滤机组。是指由风机和高效过滤单元组成的机组,多晶硅厂房净化空调系统、一般洁净等级在6级以下时.采用集中送风形式。洁净等级在5级以上,包括5级,时、采用集中送风加风机过滤机组的形式,10.3,6、本条是强制性条文.对洁净室压差控制作出规定,为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时,气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域。而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰,所以洁净室与周围环境应保持一定的压差,10。3.7,本条是保证洁净室压差控制的措施,10.3、8,本条对洁净室噪声级提出要求,空态.是指洁净室设施已经建成.所有动力接通并运行 但无生产设备,材料及人员的阶段 10。3。9.本条是强制性条文。还原车间生产使用氢气、火灾危险性分类为甲类,现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范、GB.50019相关条文强制规定。甲,乙类生产厂房不应使用循环空气,以保障人身安全,10、3。10、腐蚀清洗室.配件清洗室.硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上、8级、7级、工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘,局部排风不能完全排除酸气及粉尘 这样净化空调系统就不应回风 10、3、11,本条是洁净厂房设置多套净化空调系统,新风集中处理的时候对新房机组功能的要求。主要是为了安全和节能 10、3、12 空气过滤器分类、性能指标参照了现行国家标准。空气过滤器,GB T。14295和,高效空气过滤器、GB。T.13554的规定、在多晶硅厂房设计中。一般常用的过滤器有粗效过滤器 中效过滤器,亚高效过滤器,高效过滤器 过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下。其效率和阻力最合理时的风量。如果大于额定风量,过滤器阻力增大,导致系统阻力增加。对于高效过滤器.风速过大有可能吹破滤纸。中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段 主要是考虑到机组的负压段向内漏风,影响过滤效果、一般有洁净等级的洁净室,高效过滤器宜设在空调系统末端 对于三级过滤净化空调,高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上,10.3、14,在净化空调系统中。空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大,空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加,使系统的风量减少.因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算 系统初运行时、过滤器初阻力较小。系统阻力低。风机采用变频装置可以调节风量,达到节能目的.