10,3，空气调节与净化10、3,2,本条主要是从安全,节能、环保及便于运行管理等方面考虑的，10。3 3。本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准 洁净厂房设计规范 GB 50073、洁净室送风量，静态、和气流流型见表1 表1，洁净室送风量、静态、和气流流型 表1中换气次数适用于层高小于4，0m的洁净室，室内人员少.热源少时、宜采用下限值 根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的 三级过滤.就是将粗、中,高效过滤段全部设在净化空调机组内,用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间,不再设高效过滤器送风口,这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求。减少投资.运行管理方便.这里规定还原炉室的送风换气次数 主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次 h的换气次数,10。3。4 本条是强制性条文.关于洁净室新鲜空气量的问题 现行国家标准.工业企业设计卫生标准。GBZ。1和 采暖通风与空气调节设计规范.GB。50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定.工业建筑应保证每人不小于30m3.h的新风量,现行国家标准.洁净厂房设计规范,GB 50073规定。保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3，因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准，以保障人身安全,10、3 5.集中送风、是指净化空调机组设在空调机房,空气经过过滤、加热 制冷、加湿等集中处理之后,由风管送入洁净室 风机过滤机组 是指由风机和高效过滤单元组成的机组,多晶硅厂房净化空调系统，一般洁净等级在6级以下时.采用集中送风形式，洁净等级在5级以上,包括5级 时.采用集中送风加风机过滤机组的形式,10，3.6,本条是强制性条文 对洁净室压差控制作出规定，为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时.气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域.而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰 所以洁净室与周围环境应保持一定的压差，10。3.7。本条是保证洁净室压差控制的措施，10.3 8，本条对洁净室噪声级提出要求，空态。是指洁净室设施已经建成、所有动力接通并运行、但无生产设备、材料及人员的阶段，10，3、9、本条是强制性条文，还原车间生产使用氢气，火灾危险性分类为甲类。现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范。GB,50019相关条文强制规定,甲.乙类生产厂房不应使用循环空气。以保障人身安全 10.3、10 腐蚀清洗室。配件清洗室。硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上.8级 7级，工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘.局部排风不能完全排除酸气及粉尘，这样净化空调系统就不应回风.10，3，11.本条是洁净厂房设置多套净化空调系统,新风集中处理的时候对新房机组功能的要求 主要是为了安全和节能、10。3 12，空气过滤器分类,性能指标参照了现行国家标准。空气过滤器。GB,T 14295和,高效空气过滤器，GB。T。13554的规定。在多晶硅厂房设计中.一般常用的过滤器有粗效过滤器.中效过滤器,亚高效过滤器.高效过滤器，过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下.其效率和阻力最合理时的风量.如果大于额定风量,过滤器阻力增大.导致系统阻力增加。对于高效过滤器、风速过大有可能吹破滤纸 中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段 主要是考虑到机组的负压段向内漏风，影响过滤效果。一般有洁净等级的洁净室 高效过滤器宜设在空调系统末端,对于三级过滤净化空调.高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上，10。3。14 在净化空调系统中、空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大 空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加、使系统的风量减少。因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算.系统初运行时、过滤器初阻力较小。系统阻力低,风机采用变频装置可以调节风量,达到节能目的.