10。3 空气调节与净化10、3。2,本条主要是从安全。节能，环保及便于运行管理等方面考虑的，10 3。3.本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准、洁净厂房设计规范 GB.50073、洁净室送风量 静态.和气流流型见表1，表1。洁净室送风量,静态,和气流流型.表1中换气次数适用于层高小于4，0m的洁净室,室内人员少 热源少时 宜采用下限值，根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的。三级过滤，就是将粗，中 高效过滤段全部设在净化空调机组内。用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间.不再设高效过滤器送风口,这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求.减少投资.运行管理方便。这里规定还原炉室的送风换气次数,主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次、h的换气次数、10。3,4,本条是强制性条文.关于洁净室新鲜空气量的问题,现行国家标准.工业企业设计卫生标准.GBZ 1和 采暖通风与空气调节设计规范,GB.50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定、工业建筑应保证每人不小于30m3.h的新风量.现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB.50073规定.保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3，因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准。以保障人身安全、10,3,5，集中送风，是指净化空调机组设在空调机房，空气经过过滤,加热、制冷 加湿等集中处理之后。由风管送入洁净室、风机过滤机组，是指由风机和高效过滤单元组成的机组、多晶硅厂房净化空调系统，一般洁净等级在6级以下时 采用集中送风形式,洁净等级在5级以上.包括5级、时,采用集中送风加风机过滤机组的形式。10。3.6，本条是强制性条文，对洁净室压差控制作出规定 为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时。气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域.而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰,所以洁净室与周围环境应保持一定的压差，10 3,7.本条是保证洁净室压差控制的措施、10，3 8。本条对洁净室噪声级提出要求,空态.是指洁净室设施已经建成。所有动力接通并运行.但无生产设备，材料及人员的阶段 10 3.9。本条是强制性条文,还原车间生产使用氢气,火灾危险性分类为甲类,现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范.GB,50019相关条文强制规定、甲.乙类生产厂房不应使用循环空气,以保障人身安全,10。3.10.腐蚀清洗室，配件清洗室。硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上、8级,7级。工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘,局部排风不能完全排除酸气及粉尘。这样净化空调系统就不应回风,10、3。11.本条是洁净厂房设置多套净化空调系统、新风集中处理的时候对新房机组功能的要求,主要是为了安全和节能 10.3，12、空气过滤器分类，性能指标参照了现行国家标准.空气过滤器 GB。T 14295和,高效空气过滤器.GB，T 13554的规定、在多晶硅厂房设计中。一般常用的过滤器有粗效过滤器,中效过滤器.亚高效过滤器，高效过滤器.过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下.其效率和阻力最合理时的风量，如果大于额定风量,过滤器阻力增大,导致系统阻力增加、对于高效过滤器，风速过大有可能吹破滤纸.中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段 主要是考虑到机组的负压段向内漏风。影响过滤效果,一般有洁净等级的洁净室，高效过滤器宜设在空调系统末端、对于三级过滤净化空调.高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上 10.3。14。在净化空调系统中,空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大。空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加.使系统的风量减少、因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算、系统初运行时，过滤器初阻力较小.系统阻力低,风机采用变频装置可以调节风量。达到节能目的.