10、3、空气调节与净化10。3、2。本条主要是从安全 节能 环保及便于运行管理等方面考虑的,10,3.3、本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准.洁净厂房设计规范。GB、50073.洁净室送风量 静态。和气流流型见表1 表1.洁净室送风量.静态。和气流流型,表1中换气次数适用于层高小于4、0m的洁净室,室内人员少 热源少时,宜采用下限值,根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的、三级过滤,就是将粗。中,高效过滤段全部设在净化空调机组内.用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间,不再设高效过滤器送风口.这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求 减少投资。运行管理方便、这里规定还原炉室的送风换气次数、主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次.h的换气次数.10,3,4.本条是强制性条文,关于洁净室新鲜空气量的问题、现行国家标准。工业企业设计卫生标准 GBZ.1和 采暖通风与空气调节设计规范 GB 50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定 工业建筑应保证每人不小于30m3,h的新风量、现行国家标准.洁净厂房设计规范.GB 50073规定,保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3、因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准 以保障人身安全.10,3。5,集中送风。是指净化空调机组设在空调机房,空气经过过滤,加热.制冷 加湿等集中处理之后。由风管送入洁净室,风机过滤机组.是指由风机和高效过滤单元组成的机组。多晶硅厂房净化空调系统 一般洁净等级在6级以下时.采用集中送风形式。洁净等级在5级以上.包括5级。时。采用集中送风加风机过滤机组的形式、10,3、6、本条是强制性条文。对洁净室压差控制作出规定,为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时,气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域,而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰,所以洁净室与周围环境应保持一定的压差,10。3,7.本条是保证洁净室压差控制的措施,10、3,8 本条对洁净室噪声级提出要求、空态,是指洁净室设施已经建成。所有动力接通并运行.但无生产设备、材料及人员的阶段。10、3、9 本条是强制性条文,还原车间生产使用氢气.火灾危险性分类为甲类,现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范。GB,50019相关条文强制规定.甲 乙类生产厂房不应使用循环空气,以保障人身安全,10、3,10,腐蚀清洗室、配件清洗室、硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上,8级,7级.工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘.局部排风不能完全排除酸气及粉尘 这样净化空调系统就不应回风.10,3.11 本条是洁净厂房设置多套净化空调系统.新风集中处理的时候对新房机组功能的要求,主要是为了安全和节能,10,3.12 空气过滤器分类,性能指标参照了现行国家标准,空气过滤器,GB,T,14295和 高效空气过滤器.GB,T、13554的规定。在多晶硅厂房设计中、一般常用的过滤器有粗效过滤器、中效过滤器,亚高效过滤器,高效过滤器,过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下.其效率和阻力最合理时的风量、如果大于额定风量、过滤器阻力增大.导致系统阻力增加.对于高效过滤器、风速过大有可能吹破滤纸、中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段,主要是考虑到机组的负压段向内漏风、影响过滤效果。一般有洁净等级的洁净室 高效过滤器宜设在空调系统末端,对于三级过滤净化空调.高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上.10、3 14.在净化空调系统中。空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大,空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加。使系统的风量减少.因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算,系统初运行时、过滤器初阻力较小.系统阻力低 风机采用变频装置可以调节风量.达到节能目的