10.3，空气调节与净化10,3.2、本条主要是从安全、节能.环保及便于运行管理等方面考虑的 10.3。3。本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB,50073、洁净室送风量，静态 和气流流型见表1、表1。洁净室送风量,静态，和气流流型，表1中换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室 室内人员少，热源少时,宜采用下限值、根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的,三级过滤、就是将粗.中，高效过滤段全部设在净化空调机组内.用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间 不再设高效过滤器送风口。这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求 减少投资、运行管理方便、这里规定还原炉室的送风换气次数，主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次，h的换气次数 10,3 4。本条是强制性条文、关于洁净室新鲜空气量的问题 现行国家标准 工业企业设计卫生标准 GBZ、1和,采暖通风与空气调节设计规范,GB 50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定。工业建筑应保证每人不小于30m3.h的新风量、现行国家标准。洁净厂房设计规范,GB、50073规定,保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准、以保障人身安全 10，3,5 集中送风、是指净化空调机组设在空调机房、空气经过过滤,加热.制冷。加湿等集中处理之后 由风管送入洁净室、风机过滤机组，是指由风机和高效过滤单元组成的机组，多晶硅厂房净化空调系统。一般洁净等级在6级以下时,采用集中送风形式，洁净等级在5级以上。包括5级 时,采用集中送风加风机过滤机组的形式，10,3,6,本条是强制性条文.对洁净室压差控制作出规定、为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时,气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域 而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰。所以洁净室与周围环境应保持一定的压差 10、3 7.本条是保证洁净室压差控制的措施。10.3,8、本条对洁净室噪声级提出要求 空态。是指洁净室设施已经建成 所有动力接通并运行。但无生产设备、材料及人员的阶段，10，3,9，本条是强制性条文，还原车间生产使用氢气 火灾危险性分类为甲类。现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范 GB 50019相关条文强制规定 甲,乙类生产厂房不应使用循环空气、以保障人身安全.10、3。10，腐蚀清洗室。配件清洗室、硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上、8级、7级.工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘.局部排风不能完全排除酸气及粉尘,这样净化空调系统就不应回风,10。3、11。本条是洁净厂房设置多套净化空调系统。新风集中处理的时候对新房机组功能的要求.主要是为了安全和节能 10 3、12、空气过滤器分类、性能指标参照了现行国家标准.空气过滤器,GB。T。14295和。高效空气过滤器、GB.T,13554的规定、在多晶硅厂房设计中,一般常用的过滤器有粗效过滤器.中效过滤器，亚高效过滤器,高效过滤器。过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下，其效率和阻力最合理时的风量，如果大于额定风量 过滤器阻力增大。导致系统阻力增加.对于高效过滤器 风速过大有可能吹破滤纸、中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段 主要是考虑到机组的负压段向内漏风,影响过滤效果。一般有洁净等级的洁净室,高效过滤器宜设在空调系统末端,对于三级过滤净化空调,高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上。10，3 14,在净化空调系统中。空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大,空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加 使系统的风量减少,因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算。系统初运行时,过滤器初阻力较小 系统阻力低，风机采用变频装置可以调节风量 达到节能目的。