10 3。空气调节与净化10.3、2。本条主要是从安全 节能、环保及便于运行管理等方面考虑的、10。3 3。本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准，洁净厂房设计规范。GB，50073.洁净室送风量。静态.和气流流型见表1，表1、洁净室送风量，静态.和气流流型,表1中换气次数适用于层高小于4，0m的洁净室、室内人员少 热源少时，宜采用下限值 根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的、三级过滤,就是将粗、中，高效过滤段全部设在净化空调机组内.用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间 不再设高效过滤器送风口,这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求、减少投资.运行管理方便、这里规定还原炉室的送风换气次数 主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次、h的换气次数。10。3,4，本条是强制性条文、关于洁净室新鲜空气量的问题,现行国家标准，工业企业设计卫生标准，GBZ,1和.采暖通风与空气调节设计规范.GB、50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定 工业建筑应保证每人不小于30m3、h的新风量.现行国家标准，洁净厂房设计规范、GB、50073规定 保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3 因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准 以保障人身安全 10,3.5，集中送风.是指净化空调机组设在空调机房、空气经过过滤，加热。制冷.加湿等集中处理之后,由风管送入洁净室，风机过滤机组.是指由风机和高效过滤单元组成的机组.多晶硅厂房净化空调系统.一般洁净等级在6级以下时,采用集中送风形式，洁净等级在5级以上.包括5级、时.采用集中送风加风机过滤机组的形式.10,3 6,本条是强制性条文.对洁净室压差控制作出规定 为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时.气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域、而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰，所以洁净室与周围环境应保持一定的压差.10,3、7 本条是保证洁净室压差控制的措施,10 3。8,本条对洁净室噪声级提出要求.空态,是指洁净室设施已经建成。所有动力接通并运行，但无生产设备 材料及人员的阶段。10，3.9,本条是强制性条文。还原车间生产使用氢气。火灾危险性分类为甲类。现行国家标准，采暖通风与空气调节设计规范,GB,50019相关条文强制规定,甲。乙类生产厂房不应使用循环空气，以保障人身安全 10,3,10,腐蚀清洗室.配件清洗室 硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上 8级,7级.工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘.局部排风不能完全排除酸气及粉尘。这样净化空调系统就不应回风.10.3、11。本条是洁净厂房设置多套净化空调系统,新风集中处理的时候对新房机组功能的要求 主要是为了安全和节能.10，3。12.空气过滤器分类、性能指标参照了现行国家标准，空气过滤器，GB，T、14295和。高效空气过滤器.GB,T.13554的规定 在多晶硅厂房设计中.一般常用的过滤器有粗效过滤器.中效过滤器.亚高效过滤器,高效过滤器,过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下 其效率和阻力最合理时的风量，如果大于额定风量，过滤器阻力增大。导致系统阻力增加，对于高效过滤器 风速过大有可能吹破滤纸.中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段、主要是考虑到机组的负压段向内漏风，影响过滤效果.一般有洁净等级的洁净室.高效过滤器宜设在空调系统末端.对于三级过滤净化空调 高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上。10,3.14.在净化空调系统中 空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大、空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加,使系统的风量减少.因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算、系统初运行时.过滤器初阻力较小 系统阻力低、风机采用变频装置可以调节风量，达到节能目的,