10,3，空气调节与净化10。3.2、本条主要是从安全.节能，环保及便于运行管理等方面考虑的、10。3，3,本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准、洁净厂房设计规范 GB。50073、洁净室送风量.静态,和气流流型见表1、表1,洁净室送风量.静态,和气流流型,表1中换气次数适用于层高小于4 0m的洁净室 室内人员少，热源少时 宜采用下限值、根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的，三级过滤.就是将粗。中，高效过滤段全部设在净化空调机组内，用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间.不再设高效过滤器送风口 这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求、减少投资，运行管理方便 这里规定还原炉室的送风换气次数.主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次.h的换气次数，10。3、4.本条是强制性条文.关于洁净室新鲜空气量的问题，现行国家标准 工业企业设计卫生标准,GBZ.1和、采暖通风与空气调节设计规范，GB。50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定，工业建筑应保证每人不小于30m3,h的新风量，现行国家标准，洁净厂房设计规范 GB.50073规定。保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准、以保障人身安全、10 3,5,集中送风 是指净化空调机组设在空调机房、空气经过过滤,加热 制冷.加湿等集中处理之后，由风管送入洁净室.风机过滤机组.是指由风机和高效过滤单元组成的机组。多晶硅厂房净化空调系统、一般洁净等级在6级以下时。采用集中送风形式。洁净等级在5级以上.包括5级，时.采用集中送风加风机过滤机组的形式，10 3。6.本条是强制性条文。对洁净室压差控制作出规定,为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时,气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰,所以洁净室与周围环境应保持一定的压差.10、3 7、本条是保证洁净室压差控制的措施，10、3.8，本条对洁净室噪声级提出要求.空态.是指洁净室设施已经建成.所有动力接通并运行、但无生产设备、材料及人员的阶段,10 3，9 本条是强制性条文.还原车间生产使用氢气,火灾危险性分类为甲类。现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范,GB，50019相关条文强制规定,甲、乙类生产厂房不应使用循环空气、以保障人身安全、10，3。10 腐蚀清洗室,配件清洗室 硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上，8级,7级，工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘、局部排风不能完全排除酸气及粉尘，这样净化空调系统就不应回风 10,3，11,本条是洁净厂房设置多套净化空调系统 新风集中处理的时候对新房机组功能的要求.主要是为了安全和节能,10、3、12、空气过滤器分类 性能指标参照了现行国家标准，空气过滤器。GB，T，14295和 高效空气过滤器,GB、T，13554的规定，在多晶硅厂房设计中、一般常用的过滤器有粗效过滤器,中效过滤器、亚高效过滤器 高效过滤器。过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下,其效率和阻力最合理时的风量、如果大于额定风量，过滤器阻力增大、导致系统阻力增加，对于高效过滤器.风速过大有可能吹破滤纸.中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段,主要是考虑到机组的负压段向内漏风,影响过滤效果 一般有洁净等级的洁净室.高效过滤器宜设在空调系统末端.对于三级过滤净化空调。高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上，10.3，14，在净化空调系统中 空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大 空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加 使系统的风量减少,因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算,系统初运行时.过滤器初阻力较小、系统阻力低,风机采用变频装置可以调节风量。达到节能目的。