10,3.空气调节与净化10,3、2 本条主要是从安全,节能、环保及便于运行管理等方面考虑的 10 3,3、本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准.洁净厂房设计规范 GB,50073,洁净室送风量、静态。和气流流型见表1。表1。洁净室送风量，静态.和气流流型。表1中换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室、室内人员少,热源少时,宜采用下限值 根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的、三级过滤,就是将粗.中,高效过滤段全部设在净化空调机组内，用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间,不再设高效过滤器送风口。这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求，减少投资，运行管理方便 这里规定还原炉室的送风换气次数,主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次、h的换气次数、10.3,4。本条是强制性条文、关于洁净室新鲜空气量的问题.现行国家标准，工业企业设计卫生标准.GBZ 1和,采暖通风与空气调节设计规范、GB、50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定，工业建筑应保证每人不小于30m3 h的新风量,现行国家标准。洁净厂房设计规范、GB，50073规定。保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3、因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准 以保障人身安全。10 3 5，集中送风,是指净化空调机组设在空调机房，空气经过过滤，加热.制冷、加湿等集中处理之后、由风管送入洁净室 风机过滤机组。是指由风机和高效过滤单元组成的机组.多晶硅厂房净化空调系统，一般洁净等级在6级以下时 采用集中送风形式.洁净等级在5级以上,包括5级。时。采用集中送风加风机过滤机组的形式.10，3 6、本条是强制性条文。对洁净室压差控制作出规定 为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时.气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域.而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰 所以洁净室与周围环境应保持一定的压差 10.3 7.本条是保证洁净室压差控制的措施，10 3.8.本条对洁净室噪声级提出要求,空态、是指洁净室设施已经建成、所有动力接通并运行。但无生产设备,材料及人员的阶段 10,3，9 本条是强制性条文.还原车间生产使用氢气 火灾危险性分类为甲类，现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范、GB.50019相关条文强制规定。甲,乙类生产厂房不应使用循环空气。以保障人身安全，10。3,10.腐蚀清洗室.配件清洗室，硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上 8级，7级、工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘,局部排风不能完全排除酸气及粉尘、这样净化空调系统就不应回风。10 3、11 本条是洁净厂房设置多套净化空调系统。新风集中处理的时候对新房机组功能的要求.主要是为了安全和节能。10，3 12.空气过滤器分类，性能指标参照了现行国家标准、空气过滤器，GB，T。14295和、高效空气过滤器,GB、T。13554的规定,在多晶硅厂房设计中、一般常用的过滤器有粗效过滤器，中效过滤器,亚高效过滤器，高效过滤器。过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下.其效率和阻力最合理时的风量.如果大于额定风量。过滤器阻力增大，导致系统阻力增加，对于高效过滤器.风速过大有可能吹破滤纸。中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段,主要是考虑到机组的负压段向内漏风.影响过滤效果.一般有洁净等级的洁净室、高效过滤器宜设在空调系统末端。对于三级过滤净化空调，高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上 10。3。14、在净化空调系统中。空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大、空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加,使系统的风量减少.因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算、系统初运行时,过滤器初阻力较小。系统阻力低、风机采用变频装置可以调节风量、达到节能目的、