10,3。空气调节与净化10,3,2，本条主要是从安全、节能.环保及便于运行管理等方面考虑的.10 3,3、本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准。洁净厂房设计规范。GB。50073，洁净室送风量。静态.和气流流型见表1。表1。洁净室送风量,静态.和气流流型,表1中换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室。室内人员少 热源少时 宜采用下限值,根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的。三级过滤、就是将粗。中.高效过滤段全部设在净化空调机组内，用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间，不再设高效过滤器送风口、这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求 减少投资。运行管理方便。这里规定还原炉室的送风换气次数。主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次.h的换气次数,10 3,4 本条是强制性条文.关于洁净室新鲜空气量的问题 现行国家标准 工业企业设计卫生标准 GBZ.1和,采暖通风与空气调节设计规范.GB、50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定,工业建筑应保证每人不小于30m3、h的新风量,现行国家标准。洁净厂房设计规范,GB,50073规定、保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准.以保障人身安全.10。3、5.集中送风.是指净化空调机组设在空调机房。空气经过过滤 加热，制冷，加湿等集中处理之后,由风管送入洁净室 风机过滤机组。是指由风机和高效过滤单元组成的机组、多晶硅厂房净化空调系统,一般洁净等级在6级以下时,采用集中送风形式.洁净等级在5级以上,包括5级，时。采用集中送风加风机过滤机组的形式 10 3，6。本条是强制性条文。对洁净室压差控制作出规定，为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时，气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域、而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰，所以洁净室与周围环境应保持一定的压差，10、3,7.本条是保证洁净室压差控制的措施,10,3，8.本条对洁净室噪声级提出要求。空态。是指洁净室设施已经建成 所有动力接通并运行、但无生产设备,材料及人员的阶段.10。3 9.本条是强制性条文.还原车间生产使用氢气，火灾危险性分类为甲类.现行国家标准 采暖通风与空气调节设计规范、GB 50019相关条文强制规定.甲.乙类生产厂房不应使用循环空气。以保障人身安全.10。3 10.腐蚀清洗室。配件清洗室。硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上，8级.7级 工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘.局部排风不能完全排除酸气及粉尘 这样净化空调系统就不应回风，10。3、11.本条是洁净厂房设置多套净化空调系统.新风集中处理的时候对新房机组功能的要求。主要是为了安全和节能、10.3.12 空气过滤器分类。性能指标参照了现行国家标准。空气过滤器。GB.T 14295和,高效空气过滤器。GB，T、13554的规定 在多晶硅厂房设计中，一般常用的过滤器有粗效过滤器 中效过滤器、亚高效过滤器，高效过滤器。过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下、其效率和阻力最合理时的风量.如果大于额定风量,过滤器阻力增大.导致系统阻力增加。对于高效过滤器，风速过大有可能吹破滤纸、中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段.主要是考虑到机组的负压段向内漏风,影响过滤效果,一般有洁净等级的洁净室。高效过滤器宜设在空调系统末端.对于三级过滤净化空调 高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上。10.3,14,在净化空调系统中 空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大。空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加，使系统的风量减少,因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算.系统初运行时 过滤器初阻力较小。系统阻力低。风机采用变频装置可以调节风量,达到节能目的,