5.工艺设计5.1。一般规定5.1,1、三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原。提纯.干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成、工艺流程见图1。图1.三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图.多晶硅行业近年来发展迅速、其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升.每个主工艺都有几种工艺方案选择、为提高建设质量以及整个行业的技术水平，本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定.1,多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽,由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半。不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺。不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺，不同的建设规模，能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性,2，3。国家大力提倡循环经济发展模式.以建设资源节约型.环境友好型的美丽社会为目标,因此工厂建设中应做到安全可靠。环保节能 技术先进.经济合理.5，多晶硅生产是个较为复杂的系统工程 每个主工序的生产特点均有不同，如还原过程的一次转化率低，只有10 左右.大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统 干法回收应具备吸纳不同气量.不同组分还原尾气的能力。各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡、5 1,5。现行国家标准 多晶硅企业单位产品能源消耗限额、GB 29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗.蒸汽消耗.综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值,准入值,先进值的要求、新建项目至少达到限额准入值标准，本条规定各生产单元的蒸汽。电力及综合能耗不大于限额准入值。并达到先进值,目的是节约资源能源,5 1。8.多晶硅生产过程伴有氢气.三氯氢硅.二氯二氢硅，四氯化硅,氯化氢等危险化学品 对于输送易燃。易爆、有毒，有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性 防止泄漏.