5 工艺设计5 1 一般规定5，1,1。三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原，提纯。干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成 工艺流程见图1 图1.三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图，多晶硅行业近年来发展迅速.其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升 每个主工艺都有几种工艺方案选择，为提高建设质量以及整个行业的技术水平.本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定。1，多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽,由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半、不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺，不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺.不同的建设规模,能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性,2 3.国家大力提倡循环经济发展模式,以建设资源节约型、环境友好型的美丽社会为目标、因此工厂建设中应做到安全可靠.环保节能，技术先进 经济合理，5、多晶硅生产是个较为复杂的系统工程、每个主工序的生产特点均有不同，如还原过程的一次转化率低，只有10。左右,大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统.干法回收应具备吸纳不同气量。不同组分还原尾气的能力，各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡，5 1、5、现行国家标准 多晶硅企业单位产品能源消耗限额，GB，29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗、蒸汽消耗、综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值。准入值，先进值的要求，新建项目至少达到限额准入值标准 本条规定各生产单元的蒸汽，电力及综合能耗不大于限额准入值 并达到先进值 目的是节约资源能源.5，1,8.多晶硅生产过程伴有氢气.三氯氢硅。二氯二氢硅，四氯化硅.氯化氢等危险化学品 对于输送易燃、易爆。有毒,有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性。防止泄漏