5、工艺设计5，1，一般规定5 1 1,三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原 提纯 干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成，工艺流程见图1.图1,三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图。多晶硅行业近年来发展迅速 其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升。每个主工艺都有几种工艺方案选择 为提高建设质量以及整个行业的技术水平。本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定.1 多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽。由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半、不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺、不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺 不同的建设规模.能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性,2，3，国家大力提倡循环经济发展模式，以建设资源节约型.环境友好型的美丽社会为目标.因此工厂建设中应做到安全可靠。环保节能、技术先进 经济合理 5 多晶硅生产是个较为复杂的系统工程,每个主工序的生产特点均有不同 如还原过程的一次转化率低，只有10、左右,大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统 干法回收应具备吸纳不同气量，不同组分还原尾气的能力、各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡.5、1。5。现行国家标准、多晶硅企业单位产品能源消耗限额、GB.29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗,蒸汽消耗.综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值.准入值.先进值的要求。新建项目至少达到限额准入值标准.本条规定各生产单元的蒸汽 电力及综合能耗不大于限额准入值、并达到先进值，目的是节约资源能源.5.1.8。多晶硅生产过程伴有氢气。三氯氢硅。二氯二氢硅 四氯化硅,氯化氢等危险化学品。对于输送易燃,易爆,有毒,有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性 防止泄漏