5 工艺设计5.1、一般规定5，1。1，三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原,提纯。干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成.工艺流程见图1 图1.三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图 多晶硅行业近年来发展迅速 其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升 每个主工艺都有几种工艺方案选择，为提高建设质量以及整个行业的技术水平，本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定 1,多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽、由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半。不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺,不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺,不同的建设规模 能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性。2 3。国家大力提倡循环经济发展模式，以建设资源节约型,环境友好型的美丽社会为目标、因此工厂建设中应做到安全可靠,环保节能，技术先进，经济合理、5。多晶硅生产是个较为复杂的系统工程，每个主工序的生产特点均有不同、如还原过程的一次转化率低,只有10 左右,大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统。干法回收应具备吸纳不同气量.不同组分还原尾气的能力，各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡、5、1。5，现行国家标准.多晶硅企业单位产品能源消耗限额、GB。29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗,蒸汽消耗,综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值 准入值，先进值的要求、新建项目至少达到限额准入值标准,本条规定各生产单元的蒸汽、电力及综合能耗不大于限额准入值.并达到先进值.目的是节约资源能源，5,1 8,多晶硅生产过程伴有氢气，三氯氢硅，二氯二氢硅，四氯化硅。氯化氢等危险化学品,对于输送易燃、易爆，有毒.有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性。防止泄漏,