5,工艺设计5.1 一般规定5,1 1,三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原 提纯,干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成。工艺流程见图1,图1。三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图。多晶硅行业近年来发展迅速，其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升、每个主工艺都有几种工艺方案选择，为提高建设质量以及整个行业的技术水平.本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定。1 多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽,由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半、不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺，不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺、不同的建设规模，能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性,2，3 国家大力提倡循环经济发展模式 以建设资源节约型.环境友好型的美丽社会为目标，因此工厂建设中应做到安全可靠 环保节能、技术先进、经济合理、5，多晶硅生产是个较为复杂的系统工程，每个主工序的生产特点均有不同。如还原过程的一次转化率低.只有10、左右 大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统，干法回收应具备吸纳不同气量.不同组分还原尾气的能力、各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡 5，1、5，现行国家标准.多晶硅企业单位产品能源消耗限额，GB，29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗。蒸汽消耗.综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值。准入值 先进值的要求，新建项目至少达到限额准入值标准。本条规定各生产单元的蒸汽。电力及综合能耗不大于限额准入值,并达到先进值、目的是节约资源能源、5 1。8，多晶硅生产过程伴有氢气.三氯氢硅。二氯二氢硅。四氯化硅.氯化氢等危险化学品，对于输送易燃 易爆，有毒。有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性,防止泄漏.