5.工艺设计5，1、一般规定5.1，1。三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原,提纯,干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成。工艺流程见图1，图1、三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图，多晶硅行业近年来发展迅速 其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升。每个主工艺都有几种工艺方案选择，为提高建设质量以及整个行业的技术水平.本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定。1，多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽、由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半。不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺。不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺,不同的建设规模 能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性,2 3,国家大力提倡循环经济发展模式，以建设资源节约型,环境友好型的美丽社会为目标,因此工厂建设中应做到安全可靠.环保节能、技术先进 经济合理 5，多晶硅生产是个较为复杂的系统工程,每个主工序的生产特点均有不同 如还原过程的一次转化率低、只有10。左右,大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统、干法回收应具备吸纳不同气量，不同组分还原尾气的能力.各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡.5、1,5。现行国家标准.多晶硅企业单位产品能源消耗限额,GB，29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗 蒸汽消耗、综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值。准入值。先进值的要求。新建项目至少达到限额准入值标准,本条规定各生产单元的蒸汽.电力及综合能耗不大于限额准入值.并达到先进值、目的是节约资源能源.5。1 8,多晶硅生产过程伴有氢气,三氯氢硅.二氯二氢硅.四氯化硅、氯化氢等危险化学品.对于输送易燃.易爆,有毒.有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性 防止泄漏,