5。工艺设计5,1,一般规定5,1,1。三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原.提纯.干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成.工艺流程见图1,图1.三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图 多晶硅行业近年来发展迅速，其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升 每个主工艺都有几种工艺方案选择、为提高建设质量以及整个行业的技术水平。本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定。1、多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽.由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半 不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺，不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺，不同的建设规模 能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性。2，3。国家大力提倡循环经济发展模式.以建设资源节约型 环境友好型的美丽社会为目标，因此工厂建设中应做到安全可靠 环保节能 技术先进,经济合理 5,多晶硅生产是个较为复杂的系统工程、每个主工序的生产特点均有不同。如还原过程的一次转化率低。只有10、左右。大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统,干法回收应具备吸纳不同气量，不同组分还原尾气的能力.各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡、5 1。5,现行国家标准,多晶硅企业单位产品能源消耗限额、GB,29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗,蒸汽消耗 综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值、准入值.先进值的要求.新建项目至少达到限额准入值标准 本条规定各生产单元的蒸汽、电力及综合能耗不大于限额准入值,并达到先进值 目的是节约资源能源.5、1、8、多晶硅生产过程伴有氢气。三氯氢硅.二氯二氢硅。四氯化硅，氯化氢等危险化学品 对于输送易燃，易爆。有毒.有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性,防止泄漏，