2，术 语2。0.4.四氯化硅氢化是将多晶硅生产中大量副产的四氯化硅转化成三氯氢硅的工艺。目前已经实现工业化生产。比较成熟的氢化工艺有热氢化、冷氢化，其中热氢化是在1250。低压条件下。四氯化硅和氢气直接反应生产三氯氢硅的工艺。该工艺具有易操作，反应无杂质带入,后续精馏简单 电耗高，转化率低等特点，冷氢化是在500,高压条件下，四氯化硅、氢气与硅粉反应生产三氯氢硅的工艺 该工艺具有电耗低.转化率高。单体设备处理能力大、操作要求高等特点。