12.2.生产工艺12，2.1。还原炉应选用高效率,低能耗的炉型,12。2，2、多晶硅生产应采用先进的精馏技术,并应将多晶硅生产各工序进行物料平衡和能量平衡计算.应确定能耗低，经济性好,竞争力强的工艺流程，12，2.3、多晶硅生产应优化工艺 采暖、通风。空调参数及换热网络,应实现各种能量的梯级利用.12,2，4.多晶硅工厂应利用多晶硅生产过程中的副产物、12.2.5 多晶硅工厂必须同步设计余热利用系统，还原炉和氢化反应的余热回收应用于提纯精馏塔再沸器的加热、且余热利用系统不应影响多晶硅正常生产.不应提高多晶硅能耗或降低产量 12、2，6.多晶硅生产过程应选用节水,节能型产品、并应符合现行国家标准。节水型产品通用技术条件，GB，T,18870的有关规定。12.2，7.设备和管道应选用保温性能良好的绝热材料 保温设计应符合现行国家标准 工业设备及管道绝热工程设计规范 GB。50264的有关规定.12。2,8,各装置以及重要设备宜设置计量和检测仪表，并宜设置调节控制装置,以满足全厂和各个系统单独计量考核的要求，12。2、9，多晶硅工厂宜设置循环水系统，高纯水系统.脱盐水系统产生的洁净废水的回收和再利用设施.