12，2。生产工艺12。2,1、还原炉应选用高效率,低能耗的炉型.12。2.2 多晶硅生产应采用先进的精馏技术 并应将多晶硅生产各工序进行物料平衡和能量平衡计算,应确定能耗低 经济性好，竞争力强的工艺流程、12，2，3.多晶硅生产应优化工艺、采暖,通风。空调参数及换热网络.应实现各种能量的梯级利用、12。2,4.多晶硅工厂应利用多晶硅生产过程中的副产物，12、2、5。多晶硅工厂必须同步设计余热利用系统,还原炉和氢化反应的余热回收应用于提纯精馏塔再沸器的加热。且余热利用系统不应影响多晶硅正常生产.不应提高多晶硅能耗或降低产量.12、2，6、多晶硅生产过程应选用节水 节能型产品、并应符合现行国家标准。节水型产品通用技术条件,GB.T 18870的有关规定 12.2,7。设备和管道应选用保温性能良好的绝热材料。保温设计应符合现行国家标准 工业设备及管道绝热工程设计规范 GB，50264的有关规定、12、2。8.各装置以及重要设备宜设置计量和检测仪表 并宜设置调节控制装置.以满足全厂和各个系统单独计量考核的要求 12,2,9、多晶硅工厂宜设置循环水系统、高纯水系统.脱盐水系统产生的洁净废水的回收和再利用设施，