12、2、生产工艺12,2,1、还原炉应选用高效率 低能耗的炉型 12,2 2 多晶硅生产应采用先进的精馏技术。并应将多晶硅生产各工序进行物料平衡和能量平衡计算。应确定能耗低、经济性好,竞争力强的工艺流程,12 2,3。多晶硅生产应优化工艺 采暖.通风 空调参数及换热网络。应实现各种能量的梯级利用。12.2、4。多晶硅工厂应利用多晶硅生产过程中的副产物，12.2,5 多晶硅工厂必须同步设计余热利用系统。还原炉和氢化反应的余热回收应用于提纯精馏塔再沸器的加热.且余热利用系统不应影响多晶硅正常生产、不应提高多晶硅能耗或降低产量.12、2.6，多晶硅生产过程应选用节水，节能型产品 并应符合现行国家标准。节水型产品通用技术条件。GB,T,18870的有关规定，12、2,7，设备和管道应选用保温性能良好的绝热材料 保温设计应符合现行国家标准。工业设备及管道绝热工程设计规范，GB.50264的有关规定,12，2、8 各装置以及重要设备宜设置计量和检测仪表.并宜设置调节控制装置，以满足全厂和各个系统单独计量考核的要求.12。2.9.多晶硅工厂宜设置循环水系统，高纯水系统,脱盐水系统产生的洁净废水的回收和再利用设施,