12，2。生产工艺12.2。1，还原炉应选用高效率。低能耗的炉型.12，2,2,多晶硅生产应采用先进的精馏技术,并应将多晶硅生产各工序进行物料平衡和能量平衡计算.应确定能耗低.经济性好.竞争力强的工艺流程.12、2，3.多晶硅生产应优化工艺、采暖、通风.空调参数及换热网络.应实现各种能量的梯级利用.12，2、4，多晶硅工厂应利用多晶硅生产过程中的副产物。12,2，5。多晶硅工厂必须同步设计余热利用系统 还原炉和氢化反应的余热回收应用于提纯精馏塔再沸器的加热，且余热利用系统不应影响多晶硅正常生产,不应提高多晶硅能耗或降低产量、12,2,6,多晶硅生产过程应选用节水、节能型产品,并应符合现行国家标准.节水型产品通用技术条件,GB、T，18870的有关规定、12，2，7,设备和管道应选用保温性能良好的绝热材料,保温设计应符合现行国家标准、工业设备及管道绝热工程设计规范,GB 50264的有关规定，12、2.8。各装置以及重要设备宜设置计量和检测仪表 并宜设置调节控制装置、以满足全厂和各个系统单独计量考核的要求,12，2 9 多晶硅工厂宜设置循环水系统.高纯水系统 脱盐水系统产生的洁净废水的回收和再利用设施、