12，2，生产工艺12 2,1。还原炉应选用高效率,低能耗的炉型、12。2、2,多晶硅生产应采用先进的精馏技术、并应将多晶硅生产各工序进行物料平衡和能量平衡计算 应确定能耗低,经济性好 竞争力强的工艺流程。12 2.3,多晶硅生产应优化工艺.采暖，通风 空调参数及换热网络、应实现各种能量的梯级利用。12，2，4.多晶硅工厂应利用多晶硅生产过程中的副产物 12、2，5，多晶硅工厂必须同步设计余热利用系统,还原炉和氢化反应的余热回收应用于提纯精馏塔再沸器的加热，且余热利用系统不应影响多晶硅正常生产.不应提高多晶硅能耗或降低产量。12,2,6、多晶硅生产过程应选用节水。节能型产品,并应符合现行国家标准、节水型产品通用技术条件、GB T，18870的有关规定.12。2 7，设备和管道应选用保温性能良好的绝热材料,保温设计应符合现行国家标准.工业设备及管道绝热工程设计规范.GB、50264的有关规定、12。2.8 各装置以及重要设备宜设置计量和检测仪表、并宜设置调节控制装置,以满足全厂和各个系统单独计量考核的要求，12.2、9。多晶硅工厂宜设置循环水系统 高纯水系统、脱盐水系统产生的洁净废水的回收和再利用设施。