5。7,分析检测5.7,1。多晶硅工厂应设置单独的分析检测室,并宜在四氯化硅氢化，还原尾气干法回收、三废处理站等装置区内设置在线分析装置 5、7，2 分析检测室不应与甲.乙类房间布置在同一防火分区内,可独立设置于一侧。5、7、3，分析检测应包括下列内容.1，氯硅烷的含量，杂质.含碳化合物分析，2 硅粉的含量，杂质 粒度,碳含量分析,3,液氩中氧,氮含量分析,4,液氮中氧含量的分析，氮气中氢含量、氧含量和露点分析。5、氢气中氧含量、氮含量，氯硅烷含量。露点分析 6.水中氯离子 Cl 氟离子。F,化学含氧量。COD。生化需氧量，BOD.酸碱度，pH值.硬度.全碱度 悬浮物。总磷，正磷分析、7、大气中氯化氢.氟化物.氮氧化物分析。8 多晶硅质量指标分析。指标分析包括多晶硅的导电类型、电阻率 少子寿命.氧含量，碳含量，表面金属杂质含量 体金属杂质含量的分析 9.合成原料氯化氢的纯度分析 10，液氯中三氯化氮。水含量分析.5、7.4.分析检测室中除化学分析外,其他分析检测室应设置在洁净区