5.7.分析检测5.7，1。多晶硅工厂应设置单独的分析检测室、并宜在四氯化硅氢化.还原尾气干法回收。三废处理站等装置区内设置在线分析装置,5、7。2.分析检测室不应与甲。乙类房间布置在同一防火分区内。可独立设置于一侧 5 7。3。分析检测应包括下列内容,1。氯硅烷的含量.杂质、含碳化合物分析。2.硅粉的含量.杂质。粒度 碳含量分析,3。液氩中氧、氮含量分析、4,液氮中氧含量的分析.氮气中氢含量。氧含量和露点分析，5.氢气中氧含量.氮含量。氯硅烷含量，露点分析,6。水中氯离子 Cl.氟离子,F.化学含氧量,COD，生化需氧量。BOD，酸碱度、pH值。硬度。全碱度。悬浮物。总磷,正磷分析 7。大气中氯化氢,氟化物 氮氧化物分析 8 多晶硅质量指标分析.指标分析包括多晶硅的导电类型 电阻率，少子寿命 氧含量,碳含量 表面金属杂质含量 体金属杂质含量的分析 9。合成原料氯化氢的纯度分析，10,液氯中三氯化氮、水含量分析,5 7.4,分析检测室中除化学分析外。其他分析检测室应设置在洁净区