5，7。分析检测5，7、1.多晶硅工厂应设置单独的分析检测室、并宜在四氯化硅氢化，还原尾气干法回收.三废处理站等装置区内设置在线分析装置。5，7。2.分析检测室不应与甲，乙类房间布置在同一防火分区内，可独立设置于一侧。5.7.3,分析检测应包括下列内容。1,氯硅烷的含量.杂质。含碳化合物分析 2 硅粉的含量，杂质，粒度,碳含量分析。3、液氩中氧.氮含量分析、4。液氮中氧含量的分析.氮气中氢含量，氧含量和露点分析。5、氢气中氧含量,氮含量 氯硅烷含量、露点分析,6。水中氯离子,Cl、氟离子.F。化学含氧量,COD。生化需氧量 BOD。酸碱度,pH值、硬度。全碱度、悬浮物.总磷.正磷分析,7，大气中氯化氢.氟化物。氮氧化物分析,8、多晶硅质量指标分析。指标分析包括多晶硅的导电类型、电阻率.少子寿命.氧含量,碳含量,表面金属杂质含量 体金属杂质含量的分析,9，合成原料氯化氢的纯度分析.10.液氯中三氯化氮。水含量分析。5、7.4.分析检测室中除化学分析外。其他分析检测室应设置在洁净区.