5 7。分析检测5，7,1，多晶硅工厂应设置单独的分析检测室、并宜在四氯化硅氢化,还原尾气干法回收、三废处理站等装置区内设置在线分析装置.5 7、2。分析检测室不应与甲 乙类房间布置在同一防火分区内,可独立设置于一侧。5。7，3,分析检测应包括下列内容.1,氯硅烷的含量，杂质。含碳化合物分析。2、硅粉的含量.杂质。粒度,碳含量分析,3 液氩中氧.氮含量分析 4 液氮中氧含量的分析、氮气中氢含量。氧含量和露点分析，5 氢气中氧含量,氮含量、氯硅烷含量，露点分析、6。水中氯离子，Cl。氟离子。F、化学含氧量。COD,生化需氧量 BOD。酸碱度，pH值、硬度。全碱度.悬浮物。总磷。正磷分析.7 大气中氯化氢.氟化物，氮氧化物分析。8.多晶硅质量指标分析 指标分析包括多晶硅的导电类型、电阻率,少子寿命 氧含量 碳含量.表面金属杂质含量.体金属杂质含量的分析、9，合成原料氯化氢的纯度分析,10.液氯中三氯化氮.水含量分析 5 7 4,分析检测室中除化学分析外 其他分析检测室应设置在洁净区