5,7.分析检测5、7、1.多晶硅工厂应设置单独的分析检测室,并宜在四氯化硅氢化,还原尾气干法回收 三废处理站等装置区内设置在线分析装置、5 7，2，分析检测室不应与甲、乙类房间布置在同一防火分区内，可独立设置于一侧，5,7.3.分析检测应包括下列内容 1,氯硅烷的含量。杂质。含碳化合物分析.2.硅粉的含量.杂质、粒度 碳含量分析。3。液氩中氧 氮含量分析,4 液氮中氧含量的分析 氮气中氢含量，氧含量和露点分析,5，氢气中氧含量，氮含量、氯硅烷含量 露点分析，6,水中氯离子。Cl,氟离子。F 化学含氧量、COD,生化需氧量，BOD 酸碱度。pH值 硬度，全碱度,悬浮物.总磷,正磷分析 7 大气中氯化氢,氟化物。氮氧化物分析、8。多晶硅质量指标分析、指标分析包括多晶硅的导电类型.电阻率、少子寿命 氧含量.碳含量，表面金属杂质含量，体金属杂质含量的分析，9 合成原料氯化氢的纯度分析.10、液氯中三氯化氮.水含量分析.5 7,4,分析检测室中除化学分析外，其他分析检测室应设置在洁净区.