5.7 分析检测5、7。1。多晶硅工厂应设置单独的分析检测室,并宜在四氯化硅氢化，还原尾气干法回收.三废处理站等装置区内设置在线分析装置,5、7.2、分析检测室不应与甲，乙类房间布置在同一防火分区内 可独立设置于一侧，5.7。3.分析检测应包括下列内容。1 氯硅烷的含量 杂质、含碳化合物分析.2.硅粉的含量。杂质、粒度 碳含量分析.3 液氩中氧。氮含量分析.4，液氮中氧含量的分析，氮气中氢含量，氧含量和露点分析,5.氢气中氧含量。氮含量，氯硅烷含量。露点分析。6，水中氯离子。Cl,氟离子 F、化学含氧量 COD 生化需氧量。BOD、酸碱度，pH值，硬度.全碱度,悬浮物，总磷。正磷分析、7。大气中氯化氢。氟化物,氮氧化物分析，8。多晶硅质量指标分析 指标分析包括多晶硅的导电类型、电阻率 少子寿命。氧含量。碳含量，表面金属杂质含量,体金属杂质含量的分析、9、合成原料氯化氢的纯度分析。10、液氯中三氯化氮，水含量分析 5.7.4、分析检测室中除化学分析外、其他分析检测室应设置在洁净区