5。7、分析检测5。7.1。多晶硅工厂应设置单独的分析检测室。并宜在四氯化硅氢化，还原尾气干法回收。三废处理站等装置区内设置在线分析装置,5,7、2 分析检测室不应与甲。乙类房间布置在同一防火分区内 可独立设置于一侧.5，7。3,分析检测应包括下列内容。1，氯硅烷的含量.杂质,含碳化合物分析。2、硅粉的含量 杂质 粒度，碳含量分析。3,液氩中氧.氮含量分析.4、液氮中氧含量的分析，氮气中氢含量。氧含量和露点分析,5，氢气中氧含量.氮含量,氯硅烷含量、露点分析,6 水中氯离子，Cl，氟离子、F，化学含氧量，COD。生化需氧量.BOD.酸碱度.pH值,硬度,全碱度。悬浮物、总磷，正磷分析,7，大气中氯化氢.氟化物.氮氧化物分析。8 多晶硅质量指标分析。指标分析包括多晶硅的导电类型,电阻率，少子寿命，氧含量,碳含量.表面金属杂质含量,体金属杂质含量的分析 9。合成原料氯化氢的纯度分析、10。液氯中三氯化氮。水含量分析,5.7。4.分析检测室中除化学分析外.其他分析检测室应设置在洁净区。