5,7,分析检测5,7，1。多晶硅工厂应设置单独的分析检测室,并宜在四氯化硅氢化，还原尾气干法回收。三废处理站等装置区内设置在线分析装置 5，7，2 分析检测室不应与甲.乙类房间布置在同一防火分区内。可独立设置于一侧.5，7,3，分析检测应包括下列内容.1 氯硅烷的含量，杂质。含碳化合物分析.2.硅粉的含量 杂质.粒度,碳含量分析 3、液氩中氧,氮含量分析，4 液氮中氧含量的分析 氮气中氢含量,氧含量和露点分析。5 氢气中氧含量、氮含量。氯硅烷含量.露点分析。6、水中氯离子，Cl.氟离子.F 化学含氧量。COD,生化需氧量、BOD，酸碱度。pH值，硬度,全碱度,悬浮物。总磷 正磷分析、7.大气中氯化氢.氟化物.氮氧化物分析、8 多晶硅质量指标分析.指标分析包括多晶硅的导电类型，电阻率、少子寿命 氧含量，碳含量 表面金属杂质含量，体金属杂质含量的分析 9.合成原料氯化氢的纯度分析.10、液氯中三氯化氮、水含量分析。5。7 4.分析检测室中除化学分析外 其他分析检测室应设置在洁净区.