5 7 分析检测5。7。1,多晶硅工厂应设置单独的分析检测室.并宜在四氯化硅氢化，还原尾气干法回收 三废处理站等装置区内设置在线分析装置,5,7,2。分析检测室不应与甲.乙类房间布置在同一防火分区内、可独立设置于一侧。5 7。3。分析检测应包括下列内容，1、氯硅烷的含量、杂质.含碳化合物分析、2.硅粉的含量，杂质,粒度.碳含量分析.3，液氩中氧 氮含量分析。4，液氮中氧含量的分析 氮气中氢含量,氧含量和露点分析、5.氢气中氧含量，氮含量。氯硅烷含量.露点分析、6，水中氯离子.Cl，氟离子 F，化学含氧量。COD 生化需氧量,BOD。酸碱度.pH值。硬度、全碱度，悬浮物 总磷，正磷分析。7。大气中氯化氢.氟化物 氮氧化物分析,8,多晶硅质量指标分析 指标分析包括多晶硅的导电类型，电阻率。少子寿命、氧含量、碳含量。表面金属杂质含量.体金属杂质含量的分析,9.合成原料氯化氢的纯度分析.10 液氯中三氯化氮.水含量分析、5。7。4。分析检测室中除化学分析外、其他分析检测室应设置在洁净区,