5、7，分析检测5。7、1.多晶硅工厂应设置单独的分析检测室，并宜在四氯化硅氢化。还原尾气干法回收、三废处理站等装置区内设置在线分析装置,5、7。2、分析检测室不应与甲 乙类房间布置在同一防火分区内,可独立设置于一侧.5.7 3.分析检测应包括下列内容。1、氯硅烷的含量.杂质.含碳化合物分析，2，硅粉的含量 杂质，粒度,碳含量分析 3。液氩中氧，氮含量分析.4 液氮中氧含量的分析 氮气中氢含量 氧含量和露点分析 5 氢气中氧含量、氮含量,氯硅烷含量、露点分析.6、水中氯离子,Cl 氟离子，F.化学含氧量.COD。生化需氧量,BOD 酸碱度、pH值 硬度、全碱度。悬浮物，总磷.正磷分析,7 大气中氯化氢、氟化物、氮氧化物分析,8，多晶硅质量指标分析。指标分析包括多晶硅的导电类型，电阻率、少子寿命。氧含量，碳含量、表面金属杂质含量,体金属杂质含量的分析,9、合成原料氯化氢的纯度分析 10 液氯中三氯化氮 水含量分析.5 7，4、分析检测室中除化学分析外,其他分析检测室应设置在洁净区