5,7 分析检测5、7，1.多晶硅工厂应设置单独的分析检测室，并宜在四氯化硅氢化.还原尾气干法回收。三废处理站等装置区内设置在线分析装置,5,7,2、分析检测室不应与甲.乙类房间布置在同一防火分区内，可独立设置于一侧,5 7，3 分析检测应包括下列内容。1、氯硅烷的含量。杂质。含碳化合物分析 2，硅粉的含量。杂质。粒度 碳含量分析.3，液氩中氧,氮含量分析。4。液氮中氧含量的分析，氮气中氢含量.氧含量和露点分析,5,氢气中氧含量。氮含量，氯硅烷含量。露点分析，6,水中氯离子 Cl 氟离子,F，化学含氧量，COD。生化需氧量。BOD,酸碱度,pH值。硬度、全碱度、悬浮物。总磷，正磷分析、7,大气中氯化氢。氟化物。氮氧化物分析，8.多晶硅质量指标分析,指标分析包括多晶硅的导电类型 电阻率 少子寿命 氧含量、碳含量。表面金属杂质含量,体金属杂质含量的分析，9 合成原料氯化氢的纯度分析、10,液氯中三氯化氮.水含量分析、5.7，4，分析检测室中除化学分析外 其他分析检测室应设置在洁净区