5，7，分析检测5.7.1、多晶硅工厂应设置单独的分析检测室 并宜在四氯化硅氢化。还原尾气干法回收 三废处理站等装置区内设置在线分析装置。5,7、2 分析检测室不应与甲 乙类房间布置在同一防火分区内.可独立设置于一侧,5。7 3,分析检测应包括下列内容,1，氯硅烷的含量。杂质、含碳化合物分析,2.硅粉的含量 杂质。粒度，碳含量分析。3,液氩中氧、氮含量分析，4。液氮中氧含量的分析。氮气中氢含量.氧含量和露点分析 5 氢气中氧含量。氮含量,氯硅烷含量。露点分析、6。水中氯离子，Cl，氟离子，F、化学含氧量。COD、生化需氧量、BOD、酸碱度.pH值，硬度 全碱度.悬浮物，总磷，正磷分析.7，大气中氯化氢 氟化物.氮氧化物分析.8.多晶硅质量指标分析,指标分析包括多晶硅的导电类型、电阻率.少子寿命.氧含量.碳含量、表面金属杂质含量。体金属杂质含量的分析.9。合成原料氯化氢的纯度分析 10、液氯中三氯化氮、水含量分析。5,7 4，分析检测室中除化学分析外、其他分析检测室应设置在洁净区