5,7 分析检测5、7 1、多晶硅工厂应设置单独的分析检测室、并宜在四氯化硅氢化 还原尾气干法回收.三废处理站等装置区内设置在线分析装置。5.7 2,分析检测室不应与甲,乙类房间布置在同一防火分区内，可独立设置于一侧，5。7、3,分析检测应包括下列内容,1.氯硅烷的含量，杂质,含碳化合物分析,2。硅粉的含量 杂质,粒度.碳含量分析。3 液氩中氧 氮含量分析。4、液氮中氧含量的分析，氮气中氢含量 氧含量和露点分析 5、氢气中氧含量 氮含量。氯硅烷含量，露点分析、6。水中氯离子.Cl。氟离子.F，化学含氧量,COD.生化需氧量,BOD 酸碱度,pH值、硬度。全碱度.悬浮物。总磷.正磷分析,7 大气中氯化氢.氟化物 氮氧化物分析、8。多晶硅质量指标分析、指标分析包括多晶硅的导电类型.电阻率。少子寿命。氧含量。碳含量.表面金属杂质含量,体金属杂质含量的分析.9.合成原料氯化氢的纯度分析。10.液氯中三氯化氮、水含量分析。5，7、4、分析检测室中除化学分析外.其他分析检测室应设置在洁净区、