5。7 分析检测5，7，1,多晶硅工厂应设置单独的分析检测室、并宜在四氯化硅氢化，还原尾气干法回收，三废处理站等装置区内设置在线分析装置.5，7.2，分析检测室不应与甲，乙类房间布置在同一防火分区内。可独立设置于一侧 5,7 3,分析检测应包括下列内容 1。氯硅烷的含量.杂质,含碳化合物分析，2,硅粉的含量.杂质，粒度.碳含量分析 3 液氩中氧.氮含量分析。4，液氮中氧含量的分析、氮气中氢含量。氧含量和露点分析，5。氢气中氧含量、氮含量 氯硅烷含量。露点分析 6，水中氯离子,Cl。氟离子，F，化学含氧量 COD，生化需氧量.BOD,酸碱度，pH值，硬度，全碱度、悬浮物 总磷 正磷分析,7.大气中氯化氢，氟化物、氮氧化物分析、8,多晶硅质量指标分析，指标分析包括多晶硅的导电类型，电阻率 少子寿命,氧含量。碳含量.表面金属杂质含量。体金属杂质含量的分析、9.合成原料氯化氢的纯度分析。10,液氯中三氯化氮 水含量分析,5 7.4 分析检测室中除化学分析外 其他分析检测室应设置在洁净区、