6、2,自，动,化6。2,1,对本条第2款的说明如下。分散型控制系统 DCS 安全仪表系统,SIS。安全栅属于关联设备。为方便现场安装。调试,开车.统一由分散型控制系统.DCS、供应商提供并承担相关责任和服务。以避免中间环节的推诿、扯皮现象 6 2 2。对本条第3款第4项的说明如下,还原炉硅芯 棒 内 中。外均采用高温双色红外测温仪.是由于被测硅芯较细.且还原炉的视镜易受到污染。影响测量精度 而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰、保证测量精度要求、6 2.3，对本条第3款第2项的说明如下,对于测量氯硅烷介质的仪表、宜采用隔膜式压力表 法兰安装 目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道、同时起到防腐作用 对本条第4款第2项的说明如下,一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20，1,5或1,2、60度锥管螺纹、NPT 的一类压力仪表类型 6 2.4 有关流量仪表的选型要求说明如下、2。多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低,使用电磁流量计会测量不准,4。由于还原炉内硅棒数量多,工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高。为确保全量程下的自动化控制 则宜选用大量程仪表。并带有温。压补偿功能、以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制，由于还原炉进料过程中压力不高.氢气密度低，科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径,按照现行国家标准 氢气站设计规范。GB、50177的有关规定.在氢气设计压力为0 1MPa,3,0MPa时 氢气在碳钢管道中的流速小于15m。s.在不锈钢管道中的流速小于25m s、因此。在仪表设计中.应避免氢气高流速的现象产生.以免造成测量仪表误差及损坏管道.甚至发生爆炸危险。5。在工艺管道和设备产生泄漏的情况下、氯硅烷介质极易发生水解现象 并产生自聚物堵塞管道或设备、所以一般使用容积式流量计.6，2、8.大部分装置中都存在有毒、可燃性气体 因此应符合现行国家标准.石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范、GB，50493中的相关要求,建立一套独立设置的报警.联锁系统.以保证装置生产安全.正常的运行、3、本款是强制性条款。通常情况下，工艺装置或储运设施的控制室、现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所 现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时.报警信号必须使现场报警器报警，提示现场操作人员采取措施 同时，报警信号发送至有人值守的控制室，现场操作室的指示报警设备进行报警。以便控制室 现场操作室的操作人及时采取措施，6、2.9，在线分析仪表宜采用气相色谱仪,是为了更好地分析原料、中间产品.最终产品的品质是否达到有关的质量标准，其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的，用以保证分析仪表设备的正常运行 6 2,11,本条第3款所述的压力值为表压,本规范中所有气体压力值均为表压.