6.2,自.动,化6 2.1,对本条第2款的说明如下,分散型控制系统 DCS,安全仪表系统,SIS.安全栅属于关联设备,为方便现场安装.调试.开车,统一由分散型控制系统、DCS 供应商提供并承担相关责任和服务 以避免中间环节的推诿。扯皮现象 6 2,2,对本条第3款第4项的说明如下 还原炉硅芯 棒,内 中、外均采用高温双色红外测温仪。是由于被测硅芯较细,且还原炉的视镜易受到污染。影响测量精度.而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰、保证测量精度要求、6.2,3.对本条第3款第2项的说明如下,对于测量氯硅烷介质的仪表,宜采用隔膜式压力表,法兰安装。目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道,同时起到防腐作用、对本条第4款第2项的说明如下,一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20、1。5或1.2、60度锥管螺纹,NPT。的一类压力仪表类型,6。2,4.有关流量仪表的选型要求说明如下、2,多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低,使用电磁流量计会测量不准,4 由于还原炉内硅棒数量多,工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高,为确保全量程下的自动化控制、则宜选用大量程仪表、并带有温 压补偿功能,以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制 由于还原炉进料过程中压力不高.氢气密度低 科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径,按照现行国家标准,氢气站设计规范,GB、50177的有关规定、在氢气设计压力为0,1MPa.3 0MPa时。氢气在碳钢管道中的流速小于15m,s,在不锈钢管道中的流速小于25m、s,因此。在仪表设计中,应避免氢气高流速的现象产生,以免造成测量仪表误差及损坏管道、甚至发生爆炸危险 5。在工艺管道和设备产生泄漏的情况下,氯硅烷介质极易发生水解现象,并产生自聚物堵塞管道或设备,所以一般使用容积式流量计 6,2,8、大部分装置中都存在有毒 可燃性气体.因此应符合现行国家标准。石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范、GB 50493中的相关要求、建立一套独立设置的报警.联锁系统、以保证装置生产安全、正常的运行。3,本款是强制性条款.通常情况下.工艺装置或储运设施的控制室,现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所,现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时、报警信号必须使现场报警器报警 提示现场操作人员采取措施。同时,报警信号发送至有人值守的控制室。现场操作室的指示报警设备进行报警 以便控制室 现场操作室的操作人及时采取措施。6.2。9,在线分析仪表宜采用气相色谱仪、是为了更好地分析原料.中间产品、最终产品的品质是否达到有关的质量标准.其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的,用以保证分析仪表设备的正常运行、6、2 11,本条第3款所述的压力值为表压,本规范中所有气体压力值均为表压.
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