6、2,自,动,化6。2,1,对本条第2款的说明如下、分散型控制系统.DCS 安全仪表系统 SIS。安全栅属于关联设备 为方便现场安装,调试,开车.统一由分散型控制系统,DCS。供应商提供并承担相关责任和服务.以避免中间环节的推诿,扯皮现象,6,2、2 对本条第3款第4项的说明如下,还原炉硅芯,棒、内,中、外均采用高温双色红外测温仪,是由于被测硅芯较细 且还原炉的视镜易受到污染,影响测量精度.而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰、保证测量精度要求 6,2 3、对本条第3款第2项的说明如下、对于测量氯硅烷介质的仪表、宜采用隔膜式压力表,法兰安装。目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道.同时起到防腐作用,对本条第4款第2项的说明如下,一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20 1。5或1,2,60度锥管螺纹 NPT、的一类压力仪表类型、6、2 4。有关流量仪表的选型要求说明如下.2。多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低.使用电磁流量计会测量不准 4、由于还原炉内硅棒数量多。工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高 为确保全量程下的自动化控制,则宜选用大量程仪表.并带有温,压补偿功能,以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制、由于还原炉进料过程中压力不高。氢气密度低,科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径,按照现行国家标准.氢气站设计规范。GB,50177的有关规定、在氢气设计压力为0 1MPa。3.0MPa时,氢气在碳钢管道中的流速小于15m、s,在不锈钢管道中的流速小于25m。s.因此,在仪表设计中、应避免氢气高流速的现象产生。以免造成测量仪表误差及损坏管道,甚至发生爆炸危险.5.在工艺管道和设备产生泄漏的情况下,氯硅烷介质极易发生水解现象,并产生自聚物堵塞管道或设备,所以一般使用容积式流量计。6 2 8,大部分装置中都存在有毒.可燃性气体。因此应符合现行国家标准,石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范,GB.50493中的相关要求。建立一套独立设置的报警 联锁系统,以保证装置生产安全,正常的运行。3,本款是强制性条款,通常情况下 工艺装置或储运设施的控制室 现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所,现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时,报警信号必须使现场报警器报警 提示现场操作人员采取措施 同时,报警信号发送至有人值守的控制室.现场操作室的指示报警设备进行报警.以便控制室.现场操作室的操作人及时采取措施。6。2 9、在线分析仪表宜采用气相色谱仪,是为了更好地分析原料 中间产品、最终产品的品质是否达到有关的质量标准 其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的。用以保证分析仪表设备的正常运行,6.2。11,本条第3款所述的压力值为表压,本规范中所有气体压力值均为表压.