6 2 自 动，化6、2，1，对本条第2款的说明如下.分散型控制系统.DCS.安全仪表系统.SIS、安全栅属于关联设备 为方便现场安装。调试 开车、统一由分散型控制系统、DCS，供应商提供并承担相关责任和服务、以避免中间环节的推诿 扯皮现象、6、2，2，对本条第3款第4项的说明如下，还原炉硅芯，棒.内、中。外均采用高温双色红外测温仪 是由于被测硅芯较细、且还原炉的视镜易受到污染，影响测量精度，而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰、保证测量精度要求，6,2 3,对本条第3款第2项的说明如下.对于测量氯硅烷介质的仪表,宜采用隔膜式压力表 法兰安装 目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道、同时起到防腐作用.对本条第4款第2项的说明如下、一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20,1、5或1。2,60度锥管螺纹。NPT，的一类压力仪表类型、6、2，4、有关流量仪表的选型要求说明如下,2.多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低，使用电磁流量计会测量不准 4，由于还原炉内硅棒数量多、工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高、为确保全量程下的自动化控制，则宜选用大量程仪表.并带有温 压补偿功能,以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制。由于还原炉进料过程中压力不高。氢气密度低 科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径 按照现行国家标准、氢气站设计规范.GB 50177的有关规定.在氢气设计压力为0,1MPa 3 0MPa时、氢气在碳钢管道中的流速小于15m、s。在不锈钢管道中的流速小于25m.s。因此.在仪表设计中 应避免氢气高流速的现象产生，以免造成测量仪表误差及损坏管道 甚至发生爆炸危险.5,在工艺管道和设备产生泄漏的情况下,氯硅烷介质极易发生水解现象。并产生自聚物堵塞管道或设备，所以一般使用容积式流量计.6,2,8。大部分装置中都存在有毒,可燃性气体.因此应符合现行国家标准。石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范、GB.50493中的相关要求 建立一套独立设置的报警，联锁系统，以保证装置生产安全。正常的运行，3 本款是强制性条款 通常情况下。工艺装置或储运设施的控制室，现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所、现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时,报警信号必须使现场报警器报警 提示现场操作人员采取措施.同时、报警信号发送至有人值守的控制室、现场操作室的指示报警设备进行报警.以便控制室,现场操作室的操作人及时采取措施，6,2 9.在线分析仪表宜采用气相色谱仪。是为了更好地分析原料。中间产品.最终产品的品质是否达到有关的质量标准.其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的。用以保证分析仪表设备的正常运行，6、2。11 本条第3款所述的压力值为表压。本规范中所有气体压力值均为表压、