6,2、自,动，化6.2、1 对本条第2款的说明如下。分散型控制系统.DCS,安全仪表系统、SIS，安全栅属于关联设备。为方便现场安装，调试.开车,统一由分散型控制系统，DCS。供应商提供并承担相关责任和服务 以避免中间环节的推诿,扯皮现象,6、2，2、对本条第3款第4项的说明如下、还原炉硅芯。棒。内 中。外均采用高温双色红外测温仪，是由于被测硅芯较细。且还原炉的视镜易受到污染，影响测量精度。而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰。保证测量精度要求。6 2、3，对本条第3款第2项的说明如下、对于测量氯硅烷介质的仪表.宜采用隔膜式压力表，法兰安装,目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道 同时起到防腐作用、对本条第4款第2项的说明如下 一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20，1。5或1。2、60度锥管螺纹，NPT。的一类压力仪表类型,6,2.4，有关流量仪表的选型要求说明如下。2，多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低，使用电磁流量计会测量不准.4，由于还原炉内硅棒数量多，工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高,为确保全量程下的自动化控制,则宜选用大量程仪表。并带有温 压补偿功能，以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制。由于还原炉进料过程中压力不高,氢气密度低。科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径、按照现行国家标准。氢气站设计规范,GB.50177的有关规定，在氢气设计压力为0.1MPa,3、0MPa时.氢气在碳钢管道中的流速小于15m、s，在不锈钢管道中的流速小于25m,s,因此。在仪表设计中、应避免氢气高流速的现象产生。以免造成测量仪表误差及损坏管道。甚至发生爆炸危险。5.在工艺管道和设备产生泄漏的情况下 氯硅烷介质极易发生水解现象 并产生自聚物堵塞管道或设备，所以一般使用容积式流量计，6、2，8。大部分装置中都存在有毒，可燃性气体 因此应符合现行国家标准、石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范 GB.50493中的相关要求。建立一套独立设置的报警。联锁系统,以保证装置生产安全 正常的运行。3。本款是强制性条款，通常情况下、工艺装置或储运设施的控制室 现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所。现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时，报警信号必须使现场报警器报警、提示现场操作人员采取措施.同时。报警信号发送至有人值守的控制室。现场操作室的指示报警设备进行报警。以便控制室、现场操作室的操作人及时采取措施，6 2、9,在线分析仪表宜采用气相色谱仪.是为了更好地分析原料,中间产品。最终产品的品质是否达到有关的质量标准。其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的 用以保证分析仪表设备的正常运行。6。2。11。本条第3款所述的压力值为表压。本规范中所有气体压力值均为表压