6,2.自，动,化6。2 1、对本条第2款的说明如下.分散型控制系统，DCS，安全仪表系统,SIS，安全栅属于关联设备,为方便现场安装,调试,开车.统一由分散型控制系统 DCS。供应商提供并承担相关责任和服务,以避免中间环节的推诿，扯皮现象,6 2.2，对本条第3款第4项的说明如下.还原炉硅芯。棒 内、中 外均采用高温双色红外测温仪，是由于被测硅芯较细。且还原炉的视镜易受到污染 影响测量精度,而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰，保证测量精度要求。6,2、3、对本条第3款第2项的说明如下 对于测量氯硅烷介质的仪表,宜采用隔膜式压力表。法兰安装。目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道、同时起到防腐作用，对本条第4款第2项的说明如下.一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20,1 5或1.2、60度锥管螺纹.NPT。的一类压力仪表类型,6 2.4，有关流量仪表的选型要求说明如下。2,多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低 使用电磁流量计会测量不准.4,由于还原炉内硅棒数量多 工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高 为确保全量程下的自动化控制.则宜选用大量程仪表,并带有温。压补偿功能。以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制，由于还原炉进料过程中压力不高、氢气密度低 科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径 按照现行国家标准、氢气站设计规范。GB。50177的有关规定 在氢气设计压力为0,1MPa 3,0MPa时,氢气在碳钢管道中的流速小于15m s.在不锈钢管道中的流速小于25m。s，因此,在仪表设计中。应避免氢气高流速的现象产生,以免造成测量仪表误差及损坏管道。甚至发生爆炸危险,5，在工艺管道和设备产生泄漏的情况下 氯硅烷介质极易发生水解现象 并产生自聚物堵塞管道或设备 所以一般使用容积式流量计、6。2 8。大部分装置中都存在有毒。可燃性气体、因此应符合现行国家标准、石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范。GB，50493中的相关要求.建立一套独立设置的报警。联锁系统.以保证装置生产安全、正常的运行 3,本款是强制性条款 通常情况下 工艺装置或储运设施的控制室.现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所.现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时。报警信号必须使现场报警器报警 提示现场操作人员采取措施,同时,报警信号发送至有人值守的控制室 现场操作室的指示报警设备进行报警，以便控制室 现场操作室的操作人及时采取措施。6 2,9,在线分析仪表宜采用气相色谱仪,是为了更好地分析原料、中间产品 最终产品的品质是否达到有关的质量标准 其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的,用以保证分析仪表设备的正常运行 6，2、11、本条第3款所述的压力值为表压。本规范中所有气体压力值均为表压，