6 2，自、动，化6，2。1，对本条第2款的说明如下。分散型控制系统 DCS，安全仪表系统，SIS 安全栅属于关联设备、为方便现场安装.调试、开车 统一由分散型控制系统,DCS,供应商提供并承担相关责任和服务.以避免中间环节的推诿,扯皮现象,6。2。2，对本条第3款第4项的说明如下.还原炉硅芯。棒.内.中、外均采用高温双色红外测温仪 是由于被测硅芯较细。且还原炉的视镜易受到污染。影响测量精度,而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰 保证测量精度要求 6,2。3。对本条第3款第2项的说明如下、对于测量氯硅烷介质的仪表，宜采用隔膜式压力表,法兰安装,目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道，同时起到防腐作用.对本条第4款第2项的说明如下 一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20 1 5或1、2、60度锥管螺纹 NPT、的一类压力仪表类型,6，2，4,有关流量仪表的选型要求说明如下.2。多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低。使用电磁流量计会测量不准、4,由于还原炉内硅棒数量多、工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高、为确保全量程下的自动化控制，则宜选用大量程仪表,并带有温。压补偿功能,以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制、由于还原炉进料过程中压力不高 氢气密度低、科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径、按照现行国家标准.氢气站设计规范、GB，50177的有关规定,在氢气设计压力为0,1MPa,3、0MPa时.氢气在碳钢管道中的流速小于15m，s.在不锈钢管道中的流速小于25m，s、因此、在仪表设计中 应避免氢气高流速的现象产生,以免造成测量仪表误差及损坏管道,甚至发生爆炸危险 5、在工艺管道和设备产生泄漏的情况下 氯硅烷介质极易发生水解现象。并产生自聚物堵塞管道或设备 所以一般使用容积式流量计,6.2.8、大部分装置中都存在有毒。可燃性气体.因此应符合现行国家标准，石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范，GB 50493中的相关要求。建立一套独立设置的报警,联锁系统 以保证装置生产安全,正常的运行。3,本款是强制性条款、通常情况下，工艺装置或储运设施的控制室。现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所,现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时 报警信号必须使现场报警器报警.提示现场操作人员采取措施、同时。报警信号发送至有人值守的控制室、现场操作室的指示报警设备进行报警 以便控制室,现场操作室的操作人及时采取措施.6 2。9,在线分析仪表宜采用气相色谱仪 是为了更好地分析原料,中间产品.最终产品的品质是否达到有关的质量标准、其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的.用以保证分析仪表设备的正常运行,6、2，11 本条第3款所述的压力值为表压，本规范中所有气体压力值均为表压，