6，2。自 动.化6,2、1.对本条第2款的说明如下.分散型控制系统。DCS、安全仪表系统、SIS 安全栅属于关联设备，为方便现场安装，调试。开车、统一由分散型控制系统。DCS.供应商提供并承担相关责任和服务。以避免中间环节的推诿、扯皮现象,6，2，2.对本条第3款第4项的说明如下，还原炉硅芯.棒。内.中，外均采用高温双色红外测温仪.是由于被测硅芯较细。且还原炉的视镜易受到污染 影响测量精度 而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰.保证测量精度要求，6、2、3 对本条第3款第2项的说明如下 对于测量氯硅烷介质的仪表。宜采用隔膜式压力表，法兰安装。目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道,同时起到防腐作用,对本条第4款第2项的说明如下.一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20、1 5或1，2 60度锥管螺纹,NPT、的一类压力仪表类型，6。2、4,有关流量仪表的选型要求说明如下,2 多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低，使用电磁流量计会测量不准。4.由于还原炉内硅棒数量多.工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高 为确保全量程下的自动化控制。则宜选用大量程仪表.并带有温，压补偿功能 以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制 由于还原炉进料过程中压力不高、氢气密度低 科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径.按照现行国家标准,氢气站设计规范，GB、50177的有关规定 在氢气设计压力为0。1MPa 3，0MPa时。氢气在碳钢管道中的流速小于15m s、在不锈钢管道中的流速小于25m.s、因此、在仪表设计中，应避免氢气高流速的现象产生 以免造成测量仪表误差及损坏管道 甚至发生爆炸危险.5,在工艺管道和设备产生泄漏的情况下，氯硅烷介质极易发生水解现象，并产生自聚物堵塞管道或设备、所以一般使用容积式流量计，6.2，8、大部分装置中都存在有毒，可燃性气体,因此应符合现行国家标准，石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范、GB、50493中的相关要求、建立一套独立设置的报警。联锁系统，以保证装置生产安全。正常的运行,3。本款是强制性条款.通常情况下，工艺装置或储运设施的控制室.现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所。现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时、报警信号必须使现场报警器报警、提示现场操作人员采取措施，同时.报警信号发送至有人值守的控制室 现场操作室的指示报警设备进行报警、以便控制室。现场操作室的操作人及时采取措施 6、2，9。在线分析仪表宜采用气相色谱仪 是为了更好地分析原料。中间产品.最终产品的品质是否达到有关的质量标准、其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的.用以保证分析仪表设备的正常运行、6，2,11、本条第3款所述的压力值为表压 本规范中所有气体压力值均为表压