6，2 自，动 化6 2。1，对本条第2款的说明如下,分散型控制系统,DCS 安全仪表系统、SIS。安全栅属于关联设备、为方便现场安装,调试,开车。统一由分散型控制系统 DCS.供应商提供并承担相关责任和服务 以避免中间环节的推诿。扯皮现象，6 2,2,对本条第3款第4项的说明如下。还原炉硅芯 棒,内 中。外均采用高温双色红外测温仪 是由于被测硅芯较细,且还原炉的视镜易受到污染 影响测量精度,而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰 保证测量精度要求,6,2 3,对本条第3款第2项的说明如下.对于测量氯硅烷介质的仪表,宜采用隔膜式压力表,法兰安装、目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道.同时起到防腐作用,对本条第4款第2项的说明如下,一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20，1、5或1,2 60度锥管螺纹 NPT，的一类压力仪表类型,6，2、4.有关流量仪表的选型要求说明如下.2、多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低，使用电磁流量计会测量不准、4,由于还原炉内硅棒数量多。工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高.为确保全量程下的自动化控制、则宜选用大量程仪表,并带有温 压补偿功能 以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制,由于还原炉进料过程中压力不高 氢气密度低,科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径 按照现行国家标准，氢气站设计规范 GB,50177的有关规定 在氢气设计压力为0,1MPa.3。0MPa时 氢气在碳钢管道中的流速小于15m s 在不锈钢管道中的流速小于25m。s,因此,在仪表设计中，应避免氢气高流速的现象产生.以免造成测量仪表误差及损坏管道,甚至发生爆炸危险，5，在工艺管道和设备产生泄漏的情况下，氯硅烷介质极易发生水解现象.并产生自聚物堵塞管道或设备。所以一般使用容积式流量计.6，2，8 大部分装置中都存在有毒.可燃性气体 因此应符合现行国家标准，石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范。GB。50493中的相关要求。建立一套独立设置的报警、联锁系统 以保证装置生产安全,正常的运行，3，本款是强制性条款 通常情况下.工艺装置或储运设施的控制室.现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所 现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时。报警信号必须使现场报警器报警 提示现场操作人员采取措施，同时、报警信号发送至有人值守的控制室、现场操作室的指示报警设备进行报警。以便控制室.现场操作室的操作人及时采取措施。6.2、9.在线分析仪表宜采用气相色谱仪、是为了更好地分析原料.中间产品.最终产品的品质是否达到有关的质量标准.其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的、用以保证分析仪表设备的正常运行，6.2,11.本条第3款所述的压力值为表压.本规范中所有气体压力值均为表压、