6 2，自、动。化6，2。1、对本条第2款的说明如下.分散型控制系统.DCS,安全仪表系统.SIS.安全栅属于关联设备。为方便现场安装,调试,开车,统一由分散型控制系统,DCS 供应商提供并承担相关责任和服务，以避免中间环节的推诿。扯皮现象 6 2,2,对本条第3款第4项的说明如下、还原炉硅芯。棒。内、中。外均采用高温双色红外测温仪、是由于被测硅芯较细,且还原炉的视镜易受到污染,影响测量精度。而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰,保证测量精度要求，6、2 3 对本条第3款第2项的说明如下，对于测量氯硅烷介质的仪表.宜采用隔膜式压力表 法兰安装,目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道，同时起到防腐作用、对本条第4款第2项的说明如下。一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20 1，5或1.2，60度锥管螺纹.NPT 的一类压力仪表类型.6。2。4，有关流量仪表的选型要求说明如下,2。多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低、使用电磁流量计会测量不准，4。由于还原炉内硅棒数量多,工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高 为确保全量程下的自动化控制，则宜选用大量程仪表 并带有温 压补偿功能，以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制。由于还原炉进料过程中压力不高。氢气密度低、科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径。按照现行国家标准,氢气站设计规范。GB，50177的有关规定 在氢气设计压力为0，1MPa 3，0MPa时，氢气在碳钢管道中的流速小于15m、s 在不锈钢管道中的流速小于25m、s、因此，在仪表设计中、应避免氢气高流速的现象产生 以免造成测量仪表误差及损坏管道.甚至发生爆炸危险 5,在工艺管道和设备产生泄漏的情况下、氯硅烷介质极易发生水解现象。并产生自聚物堵塞管道或设备，所以一般使用容积式流量计。6，2。8，大部分装置中都存在有毒 可燃性气体、因此应符合现行国家标准，石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范、GB、50493中的相关要求.建立一套独立设置的报警。联锁系统 以保证装置生产安全,正常的运行.3.本款是强制性条款,通常情况下。工艺装置或储运设施的控制室 现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所.现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时.报警信号必须使现场报警器报警 提示现场操作人员采取措施 同时.报警信号发送至有人值守的控制室，现场操作室的指示报警设备进行报警。以便控制室.现场操作室的操作人及时采取措施、6,2。9.在线分析仪表宜采用气相色谱仪。是为了更好地分析原料，中间产品，最终产品的品质是否达到有关的质量标准 其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的、用以保证分析仪表设备的正常运行、6。2.11.本条第3款所述的压力值为表压,本规范中所有气体压力值均为表压