6。2,自 动。化6,2，1、对本条第2款的说明如下 分散型控制系统 DCS.安全仪表系统,SIS.安全栅属于关联设备.为方便现场安装，调试，开车,统一由分散型控制系统,DCS、供应商提供并承担相关责任和服务 以避免中间环节的推诿.扯皮现象，6、2、2、对本条第3款第4项的说明如下。还原炉硅芯，棒.内、中 外均采用高温双色红外测温仪.是由于被测硅芯较细、且还原炉的视镜易受到污染 影响测量精度.而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰、保证测量精度要求，6 2 3.对本条第3款第2项的说明如下。对于测量氯硅烷介质的仪表.宜采用隔膜式压力表、法兰安装，目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道，同时起到防腐作用.对本条第4款第2项的说明如下。一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20,1.5或1.2，60度锥管螺纹。NPT，的一类压力仪表类型.6。2.4、有关流量仪表的选型要求说明如下，2。多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低。使用电磁流量计会测量不准,4、由于还原炉内硅棒数量多、工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高 为确保全量程下的自动化控制,则宜选用大量程仪表，并带有温、压补偿功能,以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制,由于还原炉进料过程中压力不高 氢气密度低,科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径.按照现行国家标准。氢气站设计规范.GB.50177的有关规定。在氢气设计压力为0 1MPa,3。0MPa时。氢气在碳钢管道中的流速小于15m，s。在不锈钢管道中的流速小于25m s,因此。在仪表设计中、应避免氢气高流速的现象产生,以免造成测量仪表误差及损坏管道,甚至发生爆炸危险、5 在工艺管道和设备产生泄漏的情况下 氯硅烷介质极易发生水解现象 并产生自聚物堵塞管道或设备.所以一般使用容积式流量计.6.2，8 大部分装置中都存在有毒、可燃性气体，因此应符合现行国家标准,石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范、GB,50493中的相关要求 建立一套独立设置的报警.联锁系统.以保证装置生产安全 正常的运行,3 本款是强制性条款,通常情况下,工艺装置或储运设施的控制室、现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所、现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时。报警信号必须使现场报警器报警,提示现场操作人员采取措施、同时 报警信号发送至有人值守的控制室 现场操作室的指示报警设备进行报警、以便控制室、现场操作室的操作人及时采取措施。6，2、9，在线分析仪表宜采用气相色谱仪,是为了更好地分析原料 中间产品,最终产品的品质是否达到有关的质量标准,其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的.用以保证分析仪表设备的正常运行,6,2，11,本条第3款所述的压力值为表压.本规范中所有气体压力值均为表压。