5.6，硅芯制备及多晶硅产品后处理5 6.4 本条第1款和第7款的规定主要是为了防止运输路径和环境对硅料的二次污染。第2款和第4款的规定是为了防止与硅料接触的工具对硅料造成二次污染,5。6、5,多晶硅的酸腐蚀主要采用氢氟酸和硝酸的混酸，具有强腐蚀性。供酸室不应与腐蚀清洗室设置在一起,本条第3款规定了供酸室与腐蚀清洗室分开布置 但布置时应兼顾供酸管道的距离和位置,输送距离远、输送管过长 输送线路不安全.