9 3 废水处理9，3，1。处理后废水应优先回用至尾气淋洗工艺。多余部分外排、9.3。2。多晶硅工厂产生的生产废水主要为尾气淋洗废液、废液处理设施尽量与尾气淋洗设施就近设置，同时考虑处理用药剂及产生污泥的运输 9。3 4,本条是强制性条文,硅料清洗产生的含氟废酸氟含量偏高、腐蚀性强 在处理时应采取措施防止液体泄漏及氢氟酸挥发至大气中，造成污染。故应单独处理，同时单独处理含氟废酸.可减少处理药剂用量 保证整个工厂处理排水最终达标排放,此部分废液可先单独预处理后再与其他生产废水混合处理，9。3。5、废水调节池,尾气淋洗水解池等泄漏时,会对地下水造成污染，宜在地下水下游设置1处检测点。监测地下水酸碱度。pH值,氯。氟及溶解盐等污染物的含量.