9、3。废水处理9、3,1.处理后废水应优先回用至尾气淋洗工艺,多余部分外排。9.3、2，多晶硅工厂产生的生产废水主要为尾气淋洗废液,废液处理设施尽量与尾气淋洗设施就近设置 同时考虑处理用药剂及产生污泥的运输 9,3 4.本条是强制性条文 硅料清洗产生的含氟废酸氟含量偏高.腐蚀性强.在处理时应采取措施防止液体泄漏及氢氟酸挥发至大气中,造成污染,故应单独处理。同时单独处理含氟废酸，可减少处理药剂用量,保证整个工厂处理排水最终达标排放。此部分废液可先单独预处理后再与其他生产废水混合处理，9.3。5.废水调节池，尾气淋洗水解池等泄漏时。会对地下水造成污染、宜在地下水下游设置1处检测点、监测地下水酸碱度,pH值 氯，氟及溶解盐等污染物的含量、