9。3 废水处理9，3.1，处理后废水应优先回用至尾气淋洗工艺、多余部分外排 9、3，2，多晶硅工厂产生的生产废水主要为尾气淋洗废液,废液处理设施尽量与尾气淋洗设施就近设置 同时考虑处理用药剂及产生污泥的运输,9，3.4。本条是强制性条文,硅料清洗产生的含氟废酸氟含量偏高 腐蚀性强。在处理时应采取措施防止液体泄漏及氢氟酸挥发至大气中,造成污染.故应单独处理、同时单独处理含氟废酸。可减少处理药剂用量 保证整个工厂处理排水最终达标排放、此部分废液可先单独预处理后再与其他生产废水混合处理 9.3.5、废水调节池、尾气淋洗水解池等泄漏时、会对地下水造成污染、宜在地下水下游设置1处检测点。监测地下水酸碱度、pH值、氯,氟及溶解盐等污染物的含量。