5。2,三氯氢硅合成和四氯化硅氢化5，2，1,多晶硅工厂应有四氯化硅,STC.氢化装置.企业可根据生产规模 当地三氯氢硅供应以及投资规模等方面综合比较后确定是否增加三氯氢硅合成装置,5、2.2,三氯氢硅合成工序的原料之一的氯化氢。HCl,可采用氯化氢合成或盐酸解析工艺制取，5,2.3，液氯汽化工序的液氯汽化器应采用热水加热、水温宜为40，70、不应使用蒸汽加热,并应设置冬,夏季不同温度的冷、热水汽化液氯,液氯汽化工序的设计应符合现行国家标准.氯气安全规程 GB,11984的有关规定 5。2,4 三氯氢硅合成工序应采用干、湿结合的除尘工艺 并应提高单次运行时间、5,2。5、三氯氢硅合成工序的工艺尾气应采用吸附装置回收氢气和氯化氢。5,2，6，合成和冷氢化工序宜设置硅粉干燥工序，干燥用气应回收循环使用。5。2，7.四氯化硅氢化装置应根据多晶硅生产规模.所在地区能源价格，投资成本及建设周期综合经济比较后确定采取高温氢化上艺、固定床冷氢化工艺或流化床冷氢化工艺 5 2，8。氢化装置宜与氢化冷凝液提纯装置临近布置.5 2。9.冷氢化装置应配套残液回收装置 并应就近配置.5、2.10,冷氢化装置宜独立设置于敞开或半敞开式的构筑物内 制冷系统可布置于建筑物内、附属辅助系统宜在满足防火间距的基础上毗连布置.5，2，11。主要设备选型应符合下列规定。1 氢气压缩机应选择密封性好、噪声小。故障率低的机型.宜设置备用机,2。宜选用运行稳定.故障率低 密封好的泵.应设置备用机、