10、9,特种气体10 9,3。从安全的角度考虑，规定自燃性，可燃性.毒性、腐蚀性气瓶柜设置在具有连续机械排风的特种气体柜中、规定排风机、泄漏报警.自动切断阀设置应急电源是为了防止在电源故障时 保证系统与操作人员的安全.多路阀门箱的设计是为了把泄漏点放置在封闭的装置内 防止外泄且便于操作.10。9，4,特种气体分配系统吹扫盘设置,应设置应急切断装置 过流量控制装置.设置手动隔离阀是工艺运行与安全的考虑、为防止特种气体的本质气体在吹扫系统运行故障时污染大宗气体系统及不相容特种气体混合后发生化学事故，规定吹扫气源不应使用工厂大宗气体系统.不相容特种气体的吹扫盘不得共用同一吹扫盘。