1，总。则。本规范为硅集成电路芯片工厂设计的国家标准。适用于各种类型硅集成电路芯片工厂的新建 扩建和改建设计.由于硅集成电路芯片产品种类较多。技术发展迅速，为适应不同技术水平芯片生产对于环境的需要,本规范对于工艺，总体、建筑与结构、防微振 冷热源,给排水与消防,电气,工艺相关系统.空间管理和环境安全卫生等方面制定工程设计中应遵循的相关规定、确保工程设计做到安全适用 技术先进 经济合理。环境友好，