1，总、则.本规范为硅集成电路芯片工厂设计的国家标准，适用于各种类型硅集成电路芯片工厂的新建。扩建和改建设计、由于硅集成电路芯片产品种类较多，技术发展迅速 为适应不同技术水平芯片生产对于环境的需要。本规范对于工艺 总体,建筑与结构.防微振，冷热源。给排水与消防,电气 工艺相关系统 空间管理和环境安全卫生等方面制定工程设计中应遵循的相关规定。确保工程设计做到安全适用,技术先进，经济合理、环境友好,