12 环境安全卫生12 0,1 硅集成电路行业发展十分迅速,特别在美国 日本、韩国,台湾等国家和地区、在硅集成电路芯片工厂的规模和技术上都处于领先地位,而且有数十年的经验 对于环境安全卫生方面的法律更加严格和完善 因此在设计中参考行业国际安全标准.可促进工厂运行过程中的保障措施更加完善,相关国际标准包括美国防火协会标准NFPA 国际半导体没备与材料协会标准SEMI。美国工厂联合保险协会标准FM等。12、0，3、紧急应变中心应同时兼具消防系统.气体侦测系统,广播系统、门禁系统。闭路电视系统等紧急应变相关系统的监视与操作功能，相关系统报警后在紧急应变同时应有声光报警显示。应配备完整的紧急应变设施,包括消防系统的应急手动操作设备、便携式气体浓度侦测设备，紧急应变救灾设备,医疗救助设备等。应有直接通向生产厂房及安全出口的通道.应有备用的第二紧急应变中心 且应与日常使用的紧急应变中心分别在不同的建筑物内设置。