12 环境安全卫生12,0 1.硅集成电路行业发展十分迅速.特别在美国,日本 韩国,台湾等国家和地区、在硅集成电路芯片工厂的规模和技术上都处于领先地位。而且有数十年的经验.对于环境安全卫生方面的法律更加严格和完善,因此在设计中参考行业国际安全标准。可促进工厂运行过程中的保障措施更加完善。相关国际标准包括美国防火协会标准NFPA 国际半导体没备与材料协会标准SEMI.美国工厂联合保险协会标准FM等,12.0,3、紧急应变中心应同时兼具消防系统,气体侦测系统、广播系统,门禁系统。闭路电视系统等紧急应变相关系统的监视与操作功能。相关系统报警后在紧急应变同时应有声光报警显示,应配备完整的紧急应变设施 包括消防系统的应急手动操作设备.便携式气体浓度侦测设备,紧急应变救灾设备,医疗救助设备等、应有直接通向生产厂房及安全出口的通道。应有备用的第二紧急应变中心.且应与日常使用的紧急应变中心分别在不同的建筑物内设置,
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