7 冷.热,源7 0,1 硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候，能源结构.技术经济指标及环保规定,并应符合下列要求、1、宜采用集中设置的冷热水机组和供热.换热设备、供应应连续可靠.2 应采用城市.区域供热和当地工厂余热,3，可采用燃气锅炉。燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷,供热。4，可采用燃煤锅炉 燃油锅炉供热,电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷。供热。7、0,2,在需要同时供冷和供热的工况下、冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组、并应采用自动控制的方式调节机组的供热量 7。0、3。冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择。并应保证设备在高 低负荷工况下均能安全.高效运行 冷热源设备不宜少于2台,7.0。4 过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时.可利用冷却塔作为冷源设备.7.0、5，冷水机组的冷冻水供，回水温差不应小于5，在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下、应加大冷冻水供，回水温差和提高冷水机组的出水温度.7、0 6.非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用.7,0.7、当冷负荷变化较大时,冷源系统设备宜采用变频调速控制，7.0。8,电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求、采用过渡制冷剂时。其使用年限应符合国家禁用时间,7。0.9、燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉.且每台锅炉宜独立设置烟囱，烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定,7，0,10，锅炉房排放的大气污染物，应符合现行国家标准，锅炉大气污染物排放标准.GB，13271和。大气污染物综合排放标准.GB、16297的规定 以及所在地区有关大气污染物排放的规定。