7 冷、热,源7 0 1。硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候,能源结构.技术经济指标及环保规定、并应符合下列要求，1。宜采用集中设置的冷热水机组和供热，换热设备，供应应连续可靠，2、应采用城市。区域供热和当地工厂余热。3。可采用燃气锅炉,燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷，供热.4，可采用燃煤锅炉。燃油锅炉供热 电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷。供热，7、0,2.在需要同时供冷和供热的工况下、冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组，并应采用自动控制的方式调节机组的供热量,7.0.3。冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择。并应保证设备在高,低负荷工况下均能安全，高效运行,冷热源设备不宜少于2台，7 0。4,过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时，可利用冷却塔作为冷源设备 7，0。5、冷水机组的冷冻水供.回水温差不应小于5、在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下,应加大冷冻水供,回水温差和提高冷水机组的出水温度.7.0 6.非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用，7,0、7，当冷负荷变化较大时.冷源系统设备宜采用变频调速控制 7,0 8 电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求,采用过渡制冷剂时、其使用年限应符合国家禁用时间、7。0，9,燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉、且每台锅炉宜独立设置烟囱,烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定.7，0，10，锅炉房排放的大气污染物、应符合现行国家标准,锅炉大气污染物排放标准 GB。13271和 大气污染物综合排放标准，GB、16297的规定、以及所在地区有关大气污染物排放的规定，