7。冷、热.源7,0。1 硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候.能源结构、技术经济指标及环保规定.并应符合下列要求 1、宜采用集中设置的冷热水机组和供热。换热设备。供应应连续可靠,2 应采用城市，区域供热和当地工厂余热 3 可采用燃气锅炉。燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷。供热,4、可采用燃煤锅炉。燃油锅炉供热、电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷、供热.7.0 2.在需要同时供冷和供热的工况下、冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组.并应采用自动控制的方式调节机组的供热量 7。0 3,冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择.并应保证设备在高、低负荷工况下均能安全,高效运行 冷热源设备不宜少于2台。7，0、4.过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时.可利用冷却塔作为冷源设备、7。0.5,冷水机组的冷冻水供、回水温差不应小于5。在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下、应加大冷冻水供,回水温差和提高冷水机组的出水温度.7、0.6，非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用.7、0，7、当冷负荷变化较大时。冷源系统设备宜采用变频调速控制.7。0、8。电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求 采用过渡制冷剂时,其使用年限应符合国家禁用时间，7 0，9、燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉 且每台锅炉宜独立设置烟囱 烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定 7、0，10,锅炉房排放的大气污染物.应符合现行国家标准 锅炉大气污染物排放标准，GB 13271和，大气污染物综合排放标准。GB。16297的规定 以及所在地区有关大气污染物排放的规定.