7，冷.热、源7、0 1 硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候 能源结构、技术经济指标及环保规定,并应符合下列要求、1，宜采用集中设置的冷热水机组和供热。换热设备。供应应连续可靠、2,应采用城市。区域供热和当地工厂余热、3。可采用燃气锅炉。燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷,供热 4，可采用燃煤锅炉，燃油锅炉供热、电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷 供热.7。0 2.在需要同时供冷和供热的工况下。冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组,并应采用自动控制的方式调节机组的供热量，7、0,3 冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择。并应保证设备在高.低负荷工况下均能安全，高效运行,冷热源设备不宜少于2台.7,0,4,过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时,可利用冷却塔作为冷源设备 7,0,5 冷水机组的冷冻水供,回水温差不应小于5、在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下.应加大冷冻水供、回水温差和提高冷水机组的出水温度。7,0.6,非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用。7 0、7，当冷负荷变化较大时.冷源系统设备宜采用变频调速控制 7。0 8.电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求,采用过渡制冷剂时.其使用年限应符合国家禁用时间。7、0 9.燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉，且每台锅炉宜独立设置烟囱。烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定、7 0、10，锅炉房排放的大气污染物。应符合现行国家标准 锅炉大气污染物排放标准 GB.13271和，大气污染物综合排放标准 GB 16297的规定、以及所在地区有关大气污染物排放的规定。