7,冷、热,源7,0.1。硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候。能源结构、技术经济指标及环保规定 并应符合下列要求.1。宜采用集中设置的冷热水机组和供热、换热设备,供应应连续可靠.2。应采用城市。区域供热和当地工厂余热。3,可采用燃气锅炉.燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷,供热,4。可采用燃煤锅炉。燃油锅炉供热 电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷.供热 7.0,2、在需要同时供冷和供热的工况下,冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组、并应采用自动控制的方式调节机组的供热量 7 0,3,冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择 并应保证设备在高,低负荷工况下均能安全,高效运行、冷热源设备不宜少于2台 7,0 4.过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时。可利用冷却塔作为冷源设备 7。0,5,冷水机组的冷冻水供、回水温差不应小于5,在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下。应加大冷冻水供,回水温差和提高冷水机组的出水温度,7,0。6,非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用,7,0 7.当冷负荷变化较大时.冷源系统设备宜采用变频调速控制。7,0 8 电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求,采用过渡制冷剂时、其使用年限应符合国家禁用时间、7,0,9 燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉,且每台锅炉宜独立设置烟囱、烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定.7.0,10.锅炉房排放的大气污染物,应符合现行国家标准,锅炉大气污染物排放标准,GB、13271和.大气污染物综合排放标准。GB,16297的规定 以及所在地区有关大气污染物排放的规定。
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