7，冷,热,源7 0 1,硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候，能源结构。技术经济指标及环保规定、并应符合下列要求,1。宜采用集中设置的冷热水机组和供热,换热设备 供应应连续可靠.2.应采用城市 区域供热和当地工厂余热。3 可采用燃气锅炉 燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷 供热。4。可采用燃煤锅炉,燃油锅炉供热。电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷，供热,7 0,2,在需要同时供冷和供热的工况下，冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组 并应采用自动控制的方式调节机组的供热量，7 0.3、冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择.并应保证设备在高.低负荷工况下均能安全，高效运行，冷热源设备不宜少于2台、7 0 4。过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时，可利用冷却塔作为冷源设备，7.0 5，冷水机组的冷冻水供,回水温差不应小于5，在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下。应加大冷冻水供，回水温差和提高冷水机组的出水温度，7、0,6。非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用 7 0.7、当冷负荷变化较大时。冷源系统设备宜采用变频调速控制，7,0。8,电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求 采用过渡制冷剂时。其使用年限应符合国家禁用时间，7、0 9。燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉、且每台锅炉宜独立设置烟囱，烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定,7 0，10 锅炉房排放的大气污染物、应符合现行国家标准 锅炉大气污染物排放标准 GB。13271和，大气污染物综合排放标准 GB.16297的规定。以及所在地区有关大气污染物排放的规定.