7,冷,热 源7.0、1.硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候,能源结构,技术经济指标及环保规定 并应符合下列要求 1,宜采用集中设置的冷热水机组和供热 换热设备。供应应连续可靠,2。应采用城市,区域供热和当地工厂余热 3.可采用燃气锅炉 燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷.供热.4.可采用燃煤锅炉.燃油锅炉供热.电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷.供热,7 0,2,在需要同时供冷和供热的工况下,冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组。并应采用自动控制的方式调节机组的供热量,7、0、3,冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择.并应保证设备在高、低负荷工况下均能安全。高效运行 冷热源设备不宜少于2台.7。0。4、过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时,可利用冷却塔作为冷源设备。7,0、5,冷水机组的冷冻水供 回水温差不应小于5、在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下,应加大冷冻水供。回水温差和提高冷水机组的出水温度,7。0,6 非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用、7,0 7。当冷负荷变化较大时、冷源系统设备宜采用变频调速控制、7,0.8、电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求 采用过渡制冷剂时,其使用年限应符合国家禁用时间,7 0、9.燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉.且每台锅炉宜独立设置烟囱.烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定,7,0。10、锅炉房排放的大气污染物,应符合现行国家标准,锅炉大气污染物排放标准,GB、13271和,大气污染物综合排放标准,GB。16297的规定,以及所在地区有关大气污染物排放的规定