7、冷.热。源7.0,1、硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候.能源结构，技术经济指标及环保规定,并应符合下列要求,1。宜采用集中设置的冷热水机组和供热。换热设备.供应应连续可靠、2.应采用城市.区域供热和当地工厂余热,3。可采用燃气锅炉 燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷、供热，4、可采用燃煤锅炉.燃油锅炉供热.电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷，供热。7,0。2 在需要同时供冷和供热的工况下、冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组，并应采用自动控制的方式调节机组的供热量，7,0，3、冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择,并应保证设备在高.低负荷工况下均能安全、高效运行。冷热源设备不宜少于2台.7,0 4、过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时,可利用冷却塔作为冷源设备,7.0,5，冷水机组的冷冻水供 回水温差不应小于5,在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下.应加大冷冻水供 回水温差和提高冷水机组的出水温度 7。0,6,非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用 7、0,7 当冷负荷变化较大时.冷源系统设备宜采用变频调速控制。7.0，8、电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求、采用过渡制冷剂时,其使用年限应符合国家禁用时间,7 0，9 燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉。且每台锅炉宜独立设置烟囱,烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定，7、0.10 锅炉房排放的大气污染物.应符合现行国家标准.锅炉大气污染物排放标准 GB,13271和、大气污染物综合排放标准。GB、16297的规定,以及所在地区有关大气污染物排放的规定，