10.5,工艺循环冷却水10.5，1 工艺循环冷却水系统是硅集成电路芯片生产的重要生产支持系统.工艺循环冷却水系统循环水量大、运行能耗高,如何根据工艺生产设备需求合理设计工艺循环冷却水系统是该系统能否正常运行的关键、所以工艺循环冷却水系统的设计应充分考虑工艺生产设备对水温,水压和水质的需求。经技术经济比较后合理设置 10 5 2、工艺循环冷却水系统的实际使用负荷往往随着生产设备的实际运行而变化波动 为了满足水压。水量的要求、工艺循环冷却水系统的加压水泵通常都按变频恒压变流量的模式运行，设置备用泵是考虑工艺循环冷却水系统的运行安全,10。5、4、10 5。5。工艺循环冷却水系统过滤器和换热器设置备用是根据工艺循环冷却水系统的重要性和运行安全考虑.10.5，7 本条规定了工艺循环冷却水系统输送管路设置的常规要求 10 5 8、水质对工艺循环冷却水系统非常重要，它不仅关系到系统本身的运行安全和稳定,也直接关系到与冷却水直接接触的工艺生产设备的运行安全和稳定。因此水质稳定装置的合理选择和设置必须充分考虑工艺循环冷却水系统的形式.系统中各设备和管道材料的材质以及工艺生产设备过水部分的材质。并结合防腐。阻垢和灭菌的需要，