8。2,给,排、水8 2、4 硅集成电路芯片生产工艺复杂.加工精度高.大多数工序都要使用超纯水清洗硅片。水资源消耗量较高,虽然城市自来水作为芯片工厂水源已经很安全,为了保证用水更安全,很多企业都加大了水回用的力度、同时在可能的情况下还自备水源、如地下水、所以无论回用水还是自备水源水质是否优于城市自来水水质、均不得用管道直接连接在城市自来水管上 即使加装倒流防止器也不允许,这也是国际上通行的规定。本条为强制性条文.必须严格执行 8.2,8。由于管道法兰处容易泄漏,所以输送有毒.有害、腐蚀性介质的管道,不得在人行通道和机泵上方设置法兰、以免法兰渗漏时介质落于人体上而发生工伤事故、如果在管道与法兰连接的设备,阀门。特殊管件连接处必须采用法兰连接时,连接法兰处应采取有效的防护措施,8 2 10,8。2,11 硅集成电路芯片厂房根据生产需要、通常使用较多的化学药品。这些化学药品性质各不相同 分别表现为可燃、易燃,自燃、有毒 腐蚀或氧化性.针对不同化学特性 这些化学品通常都应分门别类储存,同时不得和禁忌物品混合储存、作为贮存和配送化学药剂的房间,必须要有可靠的排水措施将泄漏的化学药剂和消防排水有组织收集并临时贮存。避免因为化学药剂和被化学药剂污染的消防排水因无组织四处漫流而导致人员伤害和环境污染,就地通过地沟等设施贮存泄漏的化学药剂和消防排水是一种常见的简单易行的技术措施,
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